Sensoren zur berührungslosen Messung der elektrischen Leitfähigkeit dünner Schichten:
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1995
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UEBERSICHT
1.
EINLEITUNG:
1.1
ANWENDUNGEN UND
EIGENSCHAFTEN
DUENNER
SCHICHTEN
1.2
ZUR
ENTWICKLUNG
DER
DUENNSCHICHT-MESSTECHNIK
1.3
DIE
AUFGABENSTELLUNG
2.
DER
INDUKTIVE
SENSOR
ALS
MESSWERTGEBER
FUER
DIE
LEITFAEHIGKEIT
DUENNER
SCHICHTEN
2.1.
THEORETISCHE
GRUNDLAGEN
2.1.1
DIE
ELEKTRISCH
LEITFAEHIGE
MATERIE
IM
HOCHFREQUENTEN
ELEKTROMAGNETISCHEN
FELD
2.1.2
DIE
MESSUNG
DER
LEITFAEHIGKEIT
EINER
SEHR
DUENNEN
SCHICHT
DURCH
DIE
MESSUNG
DER
ZUSATZ-VERLUSTE
IN
DER
FELDERZEUGENDEN
SPULE
2.2
DIE ANPASSUNG
DES
MESSVERFAHRENS
AN
DIE
AUFGABENSTELLUNG
2.2.1
DER
GABELAUFNEHMER
2.2.2
DIE
FELDVERHAELTNISSE
DER
SENSORANORDNUNG
2.2.3
DIE
LEISTUNGSVERTEILUNG
IM
MESSOBJEKT
2.3
DER
ABLAUF
DES
MESSVORGANGES
2.3.1
DER
MESSVORGANG
AN
DISKRETEN
OBJEKTEN
2.3.2
DER
MESSVORGANG
IN
BANDBESCHICHTUNGSANLAGEN
3.
DIE
TECHNISCHE
REALISIERUNG
DER
MESSGERAETE
3.1.1
DIE
GERAETEAUSFUEHRUNG
FUER
SCHICHTEN
IM
MILLI-OHM
BEREICH
ZUR
MESSUNG
VON
EINZELOBJEKTEN
3.1.2
ZUR
AUSLEGUNG
DES
GERAETES
3.1.3
MESSERGEBNISSE
DES
GERAETES
3.2.1
DIE
GERAETEAUSFUEHRUNG
ZUR
MESSUNG
VON
SCHICHTEN
IM
OHM-BEREICH
FUER
DEN
EINSATZ
IN
BANDBESCHICHTUNGS
ANLAGEN
3.2.2
AUFBAU
UND
BESONDERHEITEN
BEI
DER
AUSLEGUNG
DES
MESSGERAETES
3.2.3
MESSERGEBNISSE
DER
SCHALTUNGSANORDNUNG
3.3
SONDERPROBLEME
DER
EINFLUSS
DER
GESCHWINDIGKEIT
DES
MESSOBJEKTES
IM
HOCHFREQUENTEN
MAGNETFELD
AUF
DIE
MESSUNG
4.
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
5.
ANHANG
5.1
SCHALTUNGSBESCHREIBUNG
(
PLATINE
OSZ
01
)
5.2
SCHALTUNGSBESCHREIBUNG
(
PLATINE
SDM
01
)
5.3
VERWENDETE
FORMELZEICHEN
UND
ABKUERZUNGEN
5.4
LITERATURANGABEN
5.5
LEBENSLAUF |
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