Laserdiagnostische Untersuchungen an mikrowellenangeregten Prozessplasmen zur Schichtabscheidung und Reinigung:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1995
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | IV, 139, VIII S. Ill., graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV010566080 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 19960823 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 960104s1995 gw ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 945426933 |2 DE-101 | |
| 035 | |a (OCoLC)633929591 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV010566080 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-29T |a DE-91 |a DE-703 |a DE-11 |a DE-188 | ||
| 084 | |a FER 786d |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Schiffer, Christian Jakob |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Laserdiagnostische Untersuchungen an mikrowellenangeregten Prozessplasmen zur Schichtabscheidung und Reinigung |c vorgelegt von Christian Jakob Schiffer |
| 264 | 1 | |c 1995 | |
| 300 | |a IV, 139, VIII S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 502 | |a Düsseldorf, Univ., Diss., 1995 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a PECVD-Verfahren |0 (DE-588)4267316-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Plasmadiagnostik |0 (DE-588)4260997-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Laserinduzierte Fluoreszenz |0 (DE-588)4166806-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Sauerstoff |0 (DE-588)4051803-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Plasma |0 (DE-588)4046249-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Methan |0 (DE-588)4169678-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a FIR-Laser |0 (DE-588)4154453-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Argon |0 (DE-588)4142990-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Argon |0 (DE-588)4142990-4 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Methan |0 (DE-588)4169678-5 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Plasma |0 (DE-588)4046249-3 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a PECVD-Verfahren |0 (DE-588)4267316-1 |D s |
| 689 | 0 | 4 | |a Plasmadiagnostik |0 (DE-588)4260997-5 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 689 | 1 | 0 | |a Sauerstoff |0 (DE-588)4051803-6 |D s |
| 689 | 1 | 1 | |a Plasma |0 (DE-588)4046249-3 |D s |
| 689 | 1 | 2 | |a Plasmadiagnostik |0 (DE-588)4260997-5 |D s |
| 689 | 1 | |5 DE-604 | |
| 689 | 2 | 0 | |a Argon |0 (DE-588)4142990-4 |D s |
| 689 | 2 | 1 | |a Methan |0 (DE-588)4169678-5 |D s |
| 689 | 2 | 2 | |a Plasma |0 (DE-588)4046249-3 |D s |
| 689 | 2 | 3 | |a Laserinduzierte Fluoreszenz |0 (DE-588)4166806-6 |D s |
| 689 | 2 | 4 | |a FIR-Laser |0 (DE-588)4154453-5 |D s |
| 689 | 2 | 5 | |a Plasmadiagnostik |0 (DE-588)4260997-5 |D s |
| 689 | 2 | |5 DE-604 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007044594&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007044594 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804125036564447232 |
|---|---|
| any_adam_object | 1 |
| author | Schiffer, Christian Jakob |
| author_facet | Schiffer, Christian Jakob |
| author_role | aut |
| author_sort | Schiffer, Christian Jakob |
| author_variant | c j s cj cjs |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV010566080 |
| classification_tum | FER 786d |
| ctrlnum | (OCoLC)633929591 (DE-599)BVBBV010566080 |
| discipline | Fertigungstechnik |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>02502nam a2200613 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV010566080</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">19960823 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">960104s1995 gw ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">945426933</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)633929591</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV010566080</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-703</subfield><subfield code="a">DE-11</subfield><subfield code="a">DE-188</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">FER 786d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Schiffer, Christian Jakob</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Laserdiagnostische Untersuchungen an mikrowellenangeregten Prozessplasmen zur Schichtabscheidung und Reinigung</subfield><subfield code="c">vorgelegt von Christian Jakob Schiffer</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1995</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">IV, 139, VIII S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Düsseldorf, Univ., Diss., 1995</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">PECVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4267316-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Plasmadiagnostik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4260997-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Laserinduzierte Fluoreszenz</subfield><subfield code="0">(DE-588)4166806-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Sauerstoff</subfield><subfield code="0">(DE-588)4051803-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Plasma</subfield><subfield code="0">(DE-588)4046249-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Methan</subfield><subfield code="0">(DE-588)4169678-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">FIR-Laser</subfield><subfield code="0">(DE-588)4154453-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Argon</subfield><subfield code="0">(DE-588)4142990-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Argon</subfield><subfield code="0">(DE-588)4142990-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Methan</subfield><subfield code="0">(DE-588)4169678-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Plasma</subfield><subfield code="0">(DE-588)4046249-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">PECVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4267316-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="4"><subfield code="a">Plasmadiagnostik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4260997-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Sauerstoff</subfield><subfield code="0">(DE-588)4051803-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">Plasma</subfield><subfield code="0">(DE-588)4046249-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="2"><subfield code="a">Plasmadiagnostik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4260997-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2="0"><subfield code="a">Argon</subfield><subfield code="0">(DE-588)4142990-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2="1"><subfield code="a">Methan</subfield><subfield code="0">(DE-588)4169678-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2="2"><subfield code="a">Plasma</subfield><subfield code="0">(DE-588)4046249-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2="3"><subfield code="a">Laserinduzierte Fluoreszenz</subfield><subfield code="0">(DE-588)4166806-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2="4"><subfield code="a">FIR-Laser</subfield><subfield code="0">(DE-588)4154453-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2="5"><subfield code="a">Plasmadiagnostik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4260997-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007044594&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007044594</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV010566080 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T17:55:10Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007044594 |
| oclc_num | 633929591 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-29T DE-91 DE-BY-TUM DE-703 DE-11 DE-188 |
| owner_facet | DE-29T DE-91 DE-BY-TUM DE-703 DE-11 DE-188 |
| physical | IV, 139, VIII S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1995 |
| publishDateSearch | 1995 |
| publishDateSort | 1995 |
| record_format | marc |
| spelling | Schiffer, Christian Jakob Verfasser aut Laserdiagnostische Untersuchungen an mikrowellenangeregten Prozessplasmen zur Schichtabscheidung und Reinigung vorgelegt von Christian Jakob Schiffer 1995 IV, 139, VIII S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Düsseldorf, Univ., Diss., 1995 PECVD-Verfahren (DE-588)4267316-1 gnd rswk-swf Plasmadiagnostik (DE-588)4260997-5 gnd rswk-swf Laserinduzierte Fluoreszenz (DE-588)4166806-6 gnd rswk-swf Sauerstoff (DE-588)4051803-6 gnd rswk-swf Plasma (DE-588)4046249-3 gnd rswk-swf Methan (DE-588)4169678-5 gnd rswk-swf FIR-Laser (DE-588)4154453-5 gnd rswk-swf Argon (DE-588)4142990-4 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Argon (DE-588)4142990-4 s Methan (DE-588)4169678-5 s Plasma (DE-588)4046249-3 s PECVD-Verfahren (DE-588)4267316-1 s Plasmadiagnostik (DE-588)4260997-5 s DE-604 Sauerstoff (DE-588)4051803-6 s Laserinduzierte Fluoreszenz (DE-588)4166806-6 s FIR-Laser (DE-588)4154453-5 s DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007044594&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Schiffer, Christian Jakob Laserdiagnostische Untersuchungen an mikrowellenangeregten Prozessplasmen zur Schichtabscheidung und Reinigung PECVD-Verfahren (DE-588)4267316-1 gnd Plasmadiagnostik (DE-588)4260997-5 gnd Laserinduzierte Fluoreszenz (DE-588)4166806-6 gnd Sauerstoff (DE-588)4051803-6 gnd Plasma (DE-588)4046249-3 gnd Methan (DE-588)4169678-5 gnd FIR-Laser (DE-588)4154453-5 gnd Argon (DE-588)4142990-4 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4267316-1 (DE-588)4260997-5 (DE-588)4166806-6 (DE-588)4051803-6 (DE-588)4046249-3 (DE-588)4169678-5 (DE-588)4154453-5 (DE-588)4142990-4 (DE-588)4113937-9 |
| title | Laserdiagnostische Untersuchungen an mikrowellenangeregten Prozessplasmen zur Schichtabscheidung und Reinigung |
| title_auth | Laserdiagnostische Untersuchungen an mikrowellenangeregten Prozessplasmen zur Schichtabscheidung und Reinigung |
| title_exact_search | Laserdiagnostische Untersuchungen an mikrowellenangeregten Prozessplasmen zur Schichtabscheidung und Reinigung |
| title_full | Laserdiagnostische Untersuchungen an mikrowellenangeregten Prozessplasmen zur Schichtabscheidung und Reinigung vorgelegt von Christian Jakob Schiffer |
| title_fullStr | Laserdiagnostische Untersuchungen an mikrowellenangeregten Prozessplasmen zur Schichtabscheidung und Reinigung vorgelegt von Christian Jakob Schiffer |
| title_full_unstemmed | Laserdiagnostische Untersuchungen an mikrowellenangeregten Prozessplasmen zur Schichtabscheidung und Reinigung vorgelegt von Christian Jakob Schiffer |
| title_short | Laserdiagnostische Untersuchungen an mikrowellenangeregten Prozessplasmen zur Schichtabscheidung und Reinigung |
| title_sort | laserdiagnostische untersuchungen an mikrowellenangeregten prozessplasmen zur schichtabscheidung und reinigung |
| topic | PECVD-Verfahren (DE-588)4267316-1 gnd Plasmadiagnostik (DE-588)4260997-5 gnd Laserinduzierte Fluoreszenz (DE-588)4166806-6 gnd Sauerstoff (DE-588)4051803-6 gnd Plasma (DE-588)4046249-3 gnd Methan (DE-588)4169678-5 gnd FIR-Laser (DE-588)4154453-5 gnd Argon (DE-588)4142990-4 gnd |
| topic_facet | PECVD-Verfahren Plasmadiagnostik Laserinduzierte Fluoreszenz Sauerstoff Plasma Methan FIR-Laser Argon Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007044594&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT schifferchristianjakob laserdiagnostischeuntersuchungenanmikrowellenangeregtenprozessplasmenzurschichtabscheidungundreinigung |