Dotierte homoepitaktische Diamantschichten:
Gespeichert in:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1995
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INHALTSVERZEICHNIS
ZUSAMMENFASSUNG
1
0.
EINLEITUNG
3
1.
THEORIE:
DIAMANT
ALS
HALBLEITER
7
1.1
ELEKTRONISCHE
ZUSTAENDE
UND
IHRE
BESETZUNG
.
7
1.1.1
BANDSTRUKTUR
.
7
1.1.2
FREIE
LADUNGSTRAEGER
IM
THERMODYNAMISCHEN
GLEICHGEWICHT
.
10
1.2
LEITUNGSMECHANISMEN
.
16
1.2.1
STOERSTELLENLEITUNG
.
16
1.2.2
STOERBANDLEITUNG
.
19
1.2.3
HOPPINGLEITUNG
.
20
1.3
HALLEFFEKT
.
21
1.3.1
KLASSISCHER
HALLEFFEKT
BEI
EINER
LADUNGSTRAEGERART
.
22
1.3.2
HALLEFFEKT BEI
MEHREREN
LADUNGSTRAEGERARTEN
.
22
2.
WEITERE
EIGENSCHAFTEN
VON
DIAMANT
25
2.1
KRISTALLOGRAPHISCHE
EIGENSCHAFTEN
.
25
2.2
THERMISCHE UND MECHANISCHE
EIGENSCHAFTEN
.
27
2.3
OPTISCHE
EIGENSCHAFTEN
.
28
3.
SUBSTRATE
UND
DOTIERTE
HOMOEPITAXIESCHICHTEN:
HERSTELLUNG
UND
CHARAKTERISIERUNG
29
3.1
DIE
DIAMANTSYNTHESE
.
29
3.1.1
VERSCHIEDENE
METHODEN
DER
DIAMANTSYNTHESE
.
29
3.1.2
GRUNDLAGEN
DER
CVD
-
DIAMANTSYNTHESE
.
31
3.1.3
DIE
MIKROWELLENPLASMA
CVD
-
ANLAGE
.
34
3.1.4
SUBSTRATVORBEHANDLUNG
.
38
3.1.5
DOTIERUNG
.
41
3.2
DIE
SCHICHTCHARAKTERISIERUNG
.
46
3.2.1
ALLGEMEINE
CHARAKTERISIERUNGSMETHODEN
.
46
3.2.2
SEKUNDAERIONEN
MASSENSPEKTROSKOPIE
.
54
3.2.3
WIDERSTANDSMESSPLATZ
.
59
3.2.4
HALL
MESSAPPARATUR
.
61
4.
EXPERIMENTELLE
ERGEBNISSE
UND
IHRE
DISKUSSION
65
4.1
ELEKTRISCHE
CHARAKTERISIERUNG
DER
DIAMANTSUBSTRATE
.
65
4.1.1
ISOLIERENDE
SUBSTRATE
.
65
4.1.2
BORDOTIERTE
SUBSTRATE
.
67
4.2
ART
UND
CHARAKTERISIERUNG
DER
DIAMANTSCHICHTEN
.
68
4.2.1
BORDOTIERTE
DIAMANTSCHICHTEN
.
:
.
69
4.2.2
LI
NA
P
-
DOTIERTE
DIAMANTSCHICHTEN
.
70
4.2.3
UNDOTIERTE
DIAMANTSCHICHTEN
.
73
4.3
HALLMESSUNGEN
.
74
4.3.1
BESTIMMUNG
DER
EFFEKTIVEN
MASSE
.
75
4.3.2
ERGEBNISSE
DER
HALLMESSUNGEN
.
76
4.4
UNTERSUCHUNGEN
AN
DIODEN
.
93
4.4.1
PN-DIODEN
.
93
4.4.2
SCHOTTKY
-
DIODEN
.
98
4.5
LUMINESZENZERSCHEINUNGEN
.
100
4.5.1
VERSCHIEDENE
LUMINESZENZARTEN
BEI
DIAMANT
.
100
4.5.2
ELEKTROLUMINESZENZ
AN
PN
-
UEBERGAENGEN
.
102
AUSBLICK
105
LITERATURVERZEICHNIS
106 |
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