Maier-Schneider, D. (1995). LPCVD-Polysilizium in der Mikromechanik: Bestimmung der elastischen Eigenschaften (Als Ms. gedr.). VDI-Verl.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Maier-Schneider, Dieter. LPCVD-Polysilizium in Der Mikromechanik: Bestimmung Der Elastischen Eigenschaften. Als Ms. gedr. Düsseldorf: VDI-Verl, 1995.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Maier-Schneider, Dieter. LPCVD-Polysilizium in Der Mikromechanik: Bestimmung Der Elastischen Eigenschaften. Als Ms. gedr. VDI-Verl, 1995.
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