LPCVD-Polysilizium in der Mikromechanik: Bestimmung der elastischen Eigenschaften
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Düsseldorf
VDI-Verl.
1995
|
| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschrittberichte VDI / 18]
183 |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | XII, 116 S. Ill., graph. Darst. |
| ISBN: | 3183183188 |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV010530287 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20160217 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 951218s1995 ad|| mm|| 00||| gerod | ||
| 016 | 7 | |a 946232946 |2 DE-101 | |
| 020 | |a 3183183188 |9 3-18-318318-8 | ||
| 035 | |a (OCoLC)75675032 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV010530287 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-91G |a DE-210 |a DE-83 |a DE-706 | ||
| 084 | |a UF 3000 |0 (DE-625)145570: |2 rvk | ||
| 084 | |a FER 882d |2 stub | ||
| 084 | |a FER 792d |2 stub | ||
| 084 | |a WER 320d |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Maier-Schneider, Dieter |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a LPCVD-Polysilizium in der Mikromechanik |b Bestimmung der elastischen Eigenschaften |c Dieter Maier-Schneider |
| 250 | |a Als Ms. gedr. | ||
| 264 | 1 | |a Düsseldorf |b VDI-Verl. |c 1995 | |
| 300 | |a XII, 116 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschrittberichte VDI / 18] |v 183 | |
| 502 | |a Zugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss., 1994 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Eigenspannung |0 (DE-588)4013788-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a LPCVD-Verfahren |0 (DE-588)4277965-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Elastizitätsmodul |0 (DE-588)4151691-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Polykristall |0 (DE-588)4188261-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a LPCVD-Verfahren |0 (DE-588)4277965-0 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Polykristall |0 (DE-588)4188261-1 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Elastizitätsmodul |0 (DE-588)4151691-6 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 689 | 1 | 0 | |a LPCVD-Verfahren |0 (DE-588)4277965-0 |D s |
| 689 | 1 | 1 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |D s |
| 689 | 1 | 2 | |a Polykristall |0 (DE-588)4188261-1 |D s |
| 689 | 1 | 3 | |a Eigenspannung |0 (DE-588)4013788-0 |D s |
| 689 | 1 | |5 DE-604 | |
| 810 | 2 | |a 18] |t Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschrittberichte VDI |v 183 |w (DE-604)BV001902156 |9 183 | |
| 856 | 4 | 2 | |m HBZ Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007019149&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007019149 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804124998518964224 |
|---|---|
| adam_text | Titel: LPCVD-Polysilizium in der Mikromechanik
Autor: Maier-Schneider, Dieter
Jahr: 1995
Inhaltsverzeichnis V Inhaltsverzeichnis Symbole und Abkürzungen VIII Zusammenfassung X 1 Einleitung 1 2 Meßmethoden zur Bestimmung elastischer Eigenschaften 3 2.1 Überblick über die wichtigsten Meßmethoden................................................3 2.2 Meßverfahren für mikromechanische Strukturen.............................................5 3 Theoretische Vorbetrachtungen 10 3.1 Elastizitätsmodul polykristalliner Filme........................................................10 3.1.1 Voraussetzungen.........................................................................................10 3.1.2 Berechnung des effektiven Elastizitätsmoduls...........................................11 3.2 Theorie der Membrandurchbiegung...............................................................15 3.2.1 Lösung nach dem Prinzip der virtuellen Arbeit.........................................15 3.2.2 Membranen aus mehreren Schichten..........................................................21 3.2.3 Verifikation der Lösung..............................................................................23 4 Meßapparatur und Teststrukturen 27 4.1 Meßapparatur..................................................................................................27 4.2 Meßvorgang....................................................................................................28 4.3 Teststrukturen.................................................................................................33 5 Genauigkeit der Meßmethode 36 5.1 F ehlerquellen...................................................................................................36 5.2 Gesamtfehler...................................................................................................41 5.2.1 Siliziumnitrid..............................................................................................41 5.2.2
Polysilizium................................................................................................43 5.3 Zusammenfassung...........................................................................................48
VI Inhaltsverzeichnis 6 Experimentelle Ergebnisse für LPCVD-Polysilizium 49 6.1 Schichteigenschaften nach der Abscheidung.................................................49 6.1.1 Schichtstruktur............................................................................................49 6.1.2 Innere Spannungen.....................................................................................50 6.1.3 Elastizitätsmodul.........................................................................................53 6.1.4 Massendichte...............................................................................................55 6.1.5 Brechungsindex..........................................................................................55 6.2 Einfluß der Schichtdicke.................................................................................55 6.2.1 Elastizitätsmodul.........................................................................................56 6.2.2 Innere Spannungen.....................................................................................57 6.2.3 Schichtstruktur............................................................................................57 6.2.4 Zusammenfassung......................................................................................61 6.3 Einfluß einer Temperung................................................................................63 6.3.1 Elastizitätsmodul.........................................................................................63 6.3.2 Innere Spannungen.....................................................................................66 6.3.3 Schichtstruktur............................................................................................68 6.3.4 Massendichte...............................................................................................70 6.3.5
Brechungsindex..........................................................................................70 6.3.6 Schichtdicke................................................................................................72 6.3.7 Zusammenfassung......................................................................................75 6.4 Einfluß einer Dotierung durch Ionenimplantation.........................................78 6.4.1 Elastizitätsmodul.........................................................................................79 6.4.2 Innere Spannungen.....................................................................................81 6.4.3 Schichtstruktur............................................................................................83 6.4.4 Zusammenfassung......................................................................................85
Inhaltsverzeichnis VII 7 Experimentelle Ergebnisse für LPCVD-Siliziumnitrid 88 7.1 Einfluß des Gasflußverhältnisses....................................................................89 7.1.1 Innere Spannungen.....................................................................................89 7.1.2 Elastizitätsmodul.........................................................................................90 7.2 Einfluß einer Temperung................................................................................91 7.2.1 Innere Spannungen.....................................................................................92 7.2.2 Elastizitätsmodul.........................................................................................96 7.3 Zusammenfassung...........................................................................................97 8 Diskussion und Ausblick 98 8.1 Mikrostruktur als Ursache für die inneren Spannungen................................98 8.2 Elastizitätsmodul von Polysilizium..............................................................100 8.3 Siliziumnitrid................................................................................................102 8.4 Meßapparatur................................................................................................102 8.5 Ausblick........................................................................................................103 9 Anhang 105 9.1 Voigt-Reuss-Hill-Methode...........................................................................105 9.2 Berechnung der mittleren elastischen Moduln und Konstanten für beliebige Texturen...................................................................................106 10 Literaturverzeichnis 111
|
| any_adam_object | 1 |
| author | Maier-Schneider, Dieter |
| author_facet | Maier-Schneider, Dieter |
| author_role | aut |
| author_sort | Maier-Schneider, Dieter |
| author_variant | d m s dms |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV010530287 |
| classification_rvk | UF 3000 |
| classification_tum | FER 882d FER 792d WER 320d |
| ctrlnum | (OCoLC)75675032 (DE-599)BVBBV010530287 |
| discipline | Physik Werkstoffwissenschaften Fertigungstechnik |
| edition | Als Ms. gedr. |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>02333nam a2200565 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV010530287</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20160217 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">951218s1995 ad|| mm|| 00||| gerod</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">946232946</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">3183183188</subfield><subfield code="9">3-18-318318-8</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)75675032</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV010530287</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91G</subfield><subfield code="a">DE-210</subfield><subfield code="a">DE-83</subfield><subfield code="a">DE-706</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">UF 3000</subfield><subfield code="0">(DE-625)145570:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">FER 882d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">FER 792d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">WER 320d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Maier-Schneider, Dieter</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">LPCVD-Polysilizium in der Mikromechanik</subfield><subfield code="b">Bestimmung der elastischen Eigenschaften</subfield><subfield code="c">Dieter Maier-Schneider</subfield></datafield><datafield tag="250" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Als Ms. gedr.</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Düsseldorf</subfield><subfield code="b">VDI-Verl.</subfield><subfield code="c">1995</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">XII, 116 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschrittberichte VDI / 18]</subfield><subfield code="v">183</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss., 1994</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Eigenspannung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4013788-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">LPCVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4277965-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Elastizitätsmodul</subfield><subfield code="0">(DE-588)4151691-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Polykristall</subfield><subfield code="0">(DE-588)4188261-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">LPCVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4277965-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Polykristall</subfield><subfield code="0">(DE-588)4188261-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Elastizitätsmodul</subfield><subfield code="0">(DE-588)4151691-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">LPCVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4277965-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="2"><subfield code="a">Polykristall</subfield><subfield code="0">(DE-588)4188261-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="3"><subfield code="a">Eigenspannung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4013788-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="810" ind1="2" ind2=" "><subfield code="a">18]</subfield><subfield code="t">Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschrittberichte VDI</subfield><subfield code="v">183</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV001902156</subfield><subfield code="9">183</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">HBZ Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007019149&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007019149</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV010530287 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T17:54:34Z |
| institution | BVB |
| isbn | 3183183188 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007019149 |
| oclc_num | 75675032 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91G DE-BY-TUM DE-210 DE-83 DE-706 |
| owner_facet | DE-91G DE-BY-TUM DE-210 DE-83 DE-706 |
| physical | XII, 116 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1995 |
| publishDateSearch | 1995 |
| publishDateSort | 1995 |
| publisher | VDI-Verl. |
| record_format | marc |
| series2 | Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschrittberichte VDI / 18] |
| spelling | Maier-Schneider, Dieter Verfasser aut LPCVD-Polysilizium in der Mikromechanik Bestimmung der elastischen Eigenschaften Dieter Maier-Schneider Als Ms. gedr. Düsseldorf VDI-Verl. 1995 XII, 116 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschrittberichte VDI / 18] 183 Zugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss., 1994 Eigenspannung (DE-588)4013788-0 gnd rswk-swf Silicium (DE-588)4077445-4 gnd rswk-swf LPCVD-Verfahren (DE-588)4277965-0 gnd rswk-swf Elastizitätsmodul (DE-588)4151691-6 gnd rswk-swf Polykristall (DE-588)4188261-1 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content LPCVD-Verfahren (DE-588)4277965-0 s Silicium (DE-588)4077445-4 s Polykristall (DE-588)4188261-1 s Elastizitätsmodul (DE-588)4151691-6 s DE-604 Eigenspannung (DE-588)4013788-0 s 18] Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschrittberichte VDI 183 (DE-604)BV001902156 183 HBZ Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007019149&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Maier-Schneider, Dieter LPCVD-Polysilizium in der Mikromechanik Bestimmung der elastischen Eigenschaften Eigenspannung (DE-588)4013788-0 gnd Silicium (DE-588)4077445-4 gnd LPCVD-Verfahren (DE-588)4277965-0 gnd Elastizitätsmodul (DE-588)4151691-6 gnd Polykristall (DE-588)4188261-1 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4013788-0 (DE-588)4077445-4 (DE-588)4277965-0 (DE-588)4151691-6 (DE-588)4188261-1 (DE-588)4113937-9 |
| title | LPCVD-Polysilizium in der Mikromechanik Bestimmung der elastischen Eigenschaften |
| title_auth | LPCVD-Polysilizium in der Mikromechanik Bestimmung der elastischen Eigenschaften |
| title_exact_search | LPCVD-Polysilizium in der Mikromechanik Bestimmung der elastischen Eigenschaften |
| title_full | LPCVD-Polysilizium in der Mikromechanik Bestimmung der elastischen Eigenschaften Dieter Maier-Schneider |
| title_fullStr | LPCVD-Polysilizium in der Mikromechanik Bestimmung der elastischen Eigenschaften Dieter Maier-Schneider |
| title_full_unstemmed | LPCVD-Polysilizium in der Mikromechanik Bestimmung der elastischen Eigenschaften Dieter Maier-Schneider |
| title_short | LPCVD-Polysilizium in der Mikromechanik |
| title_sort | lpcvd polysilizium in der mikromechanik bestimmung der elastischen eigenschaften |
| title_sub | Bestimmung der elastischen Eigenschaften |
| topic | Eigenspannung (DE-588)4013788-0 gnd Silicium (DE-588)4077445-4 gnd LPCVD-Verfahren (DE-588)4277965-0 gnd Elastizitätsmodul (DE-588)4151691-6 gnd Polykristall (DE-588)4188261-1 gnd |
| topic_facet | Eigenspannung Silicium LPCVD-Verfahren Elastizitätsmodul Polykristall Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007019149&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| volume_link | (DE-604)BV001902156 |
| work_keys_str_mv | AT maierschneiderdieter lpcvdpolysiliziumindermikromechanikbestimmungderelastischeneigenschaften |