APA (7th ed.) Citation

Maier-Schneider, D. (1995). LPCVD-Polysilizium in der Mikromechanik: Bestimmung der elastischen Eigenschaften (Als Ms. gedr.). VDI-Verl.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Maier-Schneider, Dieter. LPCVD-Polysilizium in Der Mikromechanik: Bestimmung Der Elastischen Eigenschaften. Als Ms. gedr. Düsseldorf: VDI-Verl, 1995.

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Maier-Schneider, Dieter. LPCVD-Polysilizium in Der Mikromechanik: Bestimmung Der Elastischen Eigenschaften. Als Ms. gedr. VDI-Verl, 1995.