Die Rolle von Ionen und Radikalen bei der plasmagestützten Abscheidung amorpher wasserstoffhaltiger Kohlenstoffschichten:
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INHALTSVERZEICHNIS
1 EINLEITUNG ^
1.1
AMORPHE WASSERSTOFFHALTIGE KOHLENSTOFFSCHICHTEN.
1
1.2
BESCHICHTUNGSVERFAHREN .
3
1.3 IONEN UND RADIKALE IN NIEDERDRUCK-GASENTLADUNGEN.
4
2
GRUNDLAGEN ZUR GASENTLADUNG G
2.1
PHYSIKALISCHE GRUNDLAGEN DES PLASMAS. G
2.1.1 CHARAKTERISIERUNG UND KLASSIFIZIERUNG VON GASENTLADUNGEN . 8
2
.
1.2
DIE PLASMARANDSCHICHT.
10
2.2
GLEICHSPANNUNGS-GLIMMENTLADUNGEN. H
2
.
2.1
ERZEUGUNG UND CHARAKTERISTISCHE MERKMALE EINER DC-ENTLADUNG.
11
2
.
2.2
VERGLEICH MIT ANDEREN NIEDERDRUCK-ENTLADUNGSTYPEN. 16
2.2.3 TEILCHENENERGIE- UND WINKELVERTEILUNGEN AN DER KATHODE . 17
2.2.4 ION-MOLEKUEL-STOESSE IN DER RANDSCHICHT VON METHAN-ENTLADUNGEN.
22
3 DEPOSITIONSMODELLE
30
3.1 PROZESSE IM ENTLADUNGSVOLUMEN.
31
3.1.1
ELEKTRONENSTOSS-INDUZIERTE PROZESSE.
31
3.1.2 PLASMACHEMIE.
32
3.J.3 TEILCHENEINSCHLUSSZEITEN .
34
3.2 OBERFLAECHENPROZESSE.
34
3.2.1 WECHSELWIRKUNG ENERGIEREICHER TEILCHEN MIT DER SCHICHT.
35
3.2.2 ADSORPTION NEUTRALER SPEZIES. 40
3.2.3 CHEMIE AN DER OBERFLAECHE.
42
3.3 DEPOSITIONSMODELLIERUNG.
45
3.3.1 PHYSISORPTIONS-OBERFLAECHENMODELLIERUNG.
45
3.3.2 OBERFLAECHENMODELLIERUNG AUF DER GRUNDLAGE DIREKTER CHEMISORPTION
.
49
4 EXPERIMENTBESCHREIBUNG
51
4.1 EXPERIMENTELLE ANORDNUNG .
51
4.1.1 BESCHREIBUNG DES GESAMTSYSTEMS.
51
4.1.2 ENERGIE-/MASSE- ANALYSATOREN.
53
4.1.3 DER GEGENFELDANALYSATOR.
57
4.2 PRINZIP UND DURCHFUEHRUNG DER MESSUNGEN.
59
1
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
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11
INHALTSVERZEICHNIS
4.2.1 ENTLADUNGSPARAMETER DER METHAN-GLIMMENTLADUNGEN. 59
4.2.2 IONENFLUSSMESSUNGEN. 60
4.2.3 MASSENSPEKTROMETRIE MIT DEM HAL-ANALYSATOR. 64
4.2.4 KONVENTIONELLE MASSENSPEKTROMETRIE. 65
4.2.5 IONISATIONSSCHWELLEN-MASSENSPEKTROMETRIE. 77
4.2.6 MASSENSPEKTROMETRISCHER NACHWEIS SCHNELLER NEUTRALER. 86
4.2.7 SCHICHTCHARAKTERISIERUNG UND DEPOSITIONSRATEN. 89
5 MESSERGEBNISSE UND DISKUSSION 95
5.1 IONENFLUESSE AUF DAS SUBSTRAT. 95
5.1.1 ZUSAMMENSETZUNG DER IONENFLUESSE . 95
5.1.2 FORM DER IONENENERGIEVERTEILUNGEN.101
5.2 FLUESSE ENERGIEREICHER NEUTRALTEILCHEN.102
5.3 QUASITHERMISCHE NEUTRALTEILCHEN .105
5.4 SCHICHTEIGENSCHAFTEN.107
5.5 DEPOSITIONSRATENBESTIMMENDE TEILCHENFLUESSE.110
6 ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK 112
LITERATURVERZEICHNIS 116
ABBILDUNGSVERZEICHNIS
132 |
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