Die Rolle von Ionen und Radikalen bei der plasmagestützten Abscheidung amorpher wasserstoffhaltiger Kohlenstoffschichten:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1995
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | II, 133 S. graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV010497148 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 19960219 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 951127s1995 d||| m||| 00||| gerod | ||
| 016 | 7 | |a 946183147 |2 DE-101 | |
| 035 | |a (OCoLC)164868692 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV010497148 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-91 |a DE-12 |a DE-29T |a DE-706 |a DE-11 |a DE-188 | ||
| 084 | |a PHY 572d |2 stub | ||
| 084 | |a PHY 115d |2 stub | ||
| 084 | |a PHY 803d |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Lange, Klaus |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Die Rolle von Ionen und Radikalen bei der plasmagestützten Abscheidung amorpher wasserstoffhaltiger Kohlenstoffschichten |c Klaus Lange |
| 264 | 1 | |c 1995 | |
| 300 | |a II, 133 S. |b graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 502 | |a München, Techn. Univ., Diss., 1995 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Amorpher Zustand |0 (DE-588)4306087-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Radikal |g Chemie |0 (DE-588)4076475-8 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Ion |0 (DE-588)4027597-8 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Kohlenstoff |0 (DE-588)4164538-8 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Massenspektrometrie |0 (DE-588)4037882-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Wasserstoff |0 (DE-588)4064784-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a PECVD-Verfahren |0 (DE-588)4267316-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Kohlenstoff |0 (DE-588)4164538-8 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Wasserstoff |0 (DE-588)4064784-5 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a PECVD-Verfahren |0 (DE-588)4267316-1 |D s |
| 689 | 0 | 4 | |a Ion |0 (DE-588)4027597-8 |D s |
| 689 | 0 | 5 | |a Radikal |g Chemie |0 (DE-588)4076475-8 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 689 | 1 | 0 | |a Kohlenstoff |0 (DE-588)4164538-8 |D s |
| 689 | 1 | 1 | |a Amorpher Zustand |0 (DE-588)4306087-0 |D s |
| 689 | 1 | 2 | |a Wasserstoff |0 (DE-588)4064784-5 |D s |
| 689 | 1 | 3 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |D s |
| 689 | 1 | 4 | |a PECVD-Verfahren |0 (DE-588)4267316-1 |D s |
| 689 | 1 | 5 | |a Massenspektrometrie |0 (DE-588)4037882-2 |D s |
| 689 | 1 | |5 DE-604 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006994600&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006994600 | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1812453646468644864 |
|---|---|
| adam_text |
INHALTSVERZEICHNIS
1 EINLEITUNG ^
1.1
AMORPHE WASSERSTOFFHALTIGE KOHLENSTOFFSCHICHTEN.
1
1.2
BESCHICHTUNGSVERFAHREN .
3
1.3 IONEN UND RADIKALE IN NIEDERDRUCK-GASENTLADUNGEN.
4
2
GRUNDLAGEN ZUR GASENTLADUNG G
2.1
PHYSIKALISCHE GRUNDLAGEN DES PLASMAS. G
2.1.1 CHARAKTERISIERUNG UND KLASSIFIZIERUNG VON GASENTLADUNGEN . 8
2
.
1.2
DIE PLASMARANDSCHICHT.
10
2.2
GLEICHSPANNUNGS-GLIMMENTLADUNGEN. H
2
.
2.1
ERZEUGUNG UND CHARAKTERISTISCHE MERKMALE EINER DC-ENTLADUNG.
11
2
.
2.2
VERGLEICH MIT ANDEREN NIEDERDRUCK-ENTLADUNGSTYPEN. 16
2.2.3 TEILCHENENERGIE- UND WINKELVERTEILUNGEN AN DER KATHODE . 17
2.2.4 ION-MOLEKUEL-STOESSE IN DER RANDSCHICHT VON METHAN-ENTLADUNGEN.
22
3 DEPOSITIONSMODELLE
30
3.1 PROZESSE IM ENTLADUNGSVOLUMEN.
31
3.1.1
ELEKTRONENSTOSS-INDUZIERTE PROZESSE.
31
3.1.2 PLASMACHEMIE.
32
3.J.3 TEILCHENEINSCHLUSSZEITEN .
34
3.2 OBERFLAECHENPROZESSE.
34
3.2.1 WECHSELWIRKUNG ENERGIEREICHER TEILCHEN MIT DER SCHICHT.
35
3.2.2 ADSORPTION NEUTRALER SPEZIES. 40
3.2.3 CHEMIE AN DER OBERFLAECHE.
42
3.3 DEPOSITIONSMODELLIERUNG.
45
3.3.1 PHYSISORPTIONS-OBERFLAECHENMODELLIERUNG.
45
3.3.2 OBERFLAECHENMODELLIERUNG AUF DER GRUNDLAGE DIREKTER CHEMISORPTION
.
49
4 EXPERIMENTBESCHREIBUNG
51
4.1 EXPERIMENTELLE ANORDNUNG .
51
4.1.1 BESCHREIBUNG DES GESAMTSYSTEMS.
51
4.1.2 ENERGIE-/MASSE- ANALYSATOREN.
53
4.1.3 DER GEGENFELDANALYSATOR.
57
4.2 PRINZIP UND DURCHFUEHRUNG DER MESSUNGEN.
59
1
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
HTTP://D-NB.INFO/946183147
11
INHALTSVERZEICHNIS
4.2.1 ENTLADUNGSPARAMETER DER METHAN-GLIMMENTLADUNGEN. 59
4.2.2 IONENFLUSSMESSUNGEN. 60
4.2.3 MASSENSPEKTROMETRIE MIT DEM HAL-ANALYSATOR. 64
4.2.4 KONVENTIONELLE MASSENSPEKTROMETRIE. 65
4.2.5 IONISATIONSSCHWELLEN-MASSENSPEKTROMETRIE. 77
4.2.6 MASSENSPEKTROMETRISCHER NACHWEIS SCHNELLER NEUTRALER. 86
4.2.7 SCHICHTCHARAKTERISIERUNG UND DEPOSITIONSRATEN. 89
5 MESSERGEBNISSE UND DISKUSSION 95
5.1 IONENFLUESSE AUF DAS SUBSTRAT. 95
5.1.1 ZUSAMMENSETZUNG DER IONENFLUESSE . 95
5.1.2 FORM DER IONENENERGIEVERTEILUNGEN.101
5.2 FLUESSE ENERGIEREICHER NEUTRALTEILCHEN.102
5.3 QUASITHERMISCHE NEUTRALTEILCHEN .105
5.4 SCHICHTEIGENSCHAFTEN.107
5.5 DEPOSITIONSRATENBESTIMMENDE TEILCHENFLUESSE.110
6 ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK 112
LITERATURVERZEICHNIS 116
ABBILDUNGSVERZEICHNIS
132 |
| any_adam_object | 1 |
| author | Lange, Klaus |
| author_facet | Lange, Klaus |
| author_role | aut |
| author_sort | Lange, Klaus |
| author_variant | k l kl |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV010497148 |
| classification_tum | PHY 572d PHY 115d PHY 803d |
| ctrlnum | (OCoLC)164868692 (DE-599)BVBBV010497148 |
| discipline | Physik |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV010497148</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">19960219</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">951127s1995 d||| m||| 00||| gerod</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">946183147</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)164868692</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV010497148</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-12</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-706</subfield><subfield code="a">DE-11</subfield><subfield code="a">DE-188</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">PHY 572d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">PHY 115d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">PHY 803d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Lange, Klaus</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Die Rolle von Ionen und Radikalen bei der plasmagestützten Abscheidung amorpher wasserstoffhaltiger Kohlenstoffschichten</subfield><subfield code="c">Klaus Lange</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1995</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">II, 133 S.</subfield><subfield code="b">graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">München, Techn. Univ., Diss., 1995</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Amorpher Zustand</subfield><subfield code="0">(DE-588)4306087-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Radikal</subfield><subfield code="g">Chemie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4076475-8</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Ion</subfield><subfield code="0">(DE-588)4027597-8</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Kohlenstoff</subfield><subfield code="0">(DE-588)4164538-8</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Massenspektrometrie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4037882-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Wasserstoff</subfield><subfield code="0">(DE-588)4064784-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">PECVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4267316-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Kohlenstoff</subfield><subfield code="0">(DE-588)4164538-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Wasserstoff</subfield><subfield code="0">(DE-588)4064784-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">PECVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4267316-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="4"><subfield code="a">Ion</subfield><subfield code="0">(DE-588)4027597-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="5"><subfield code="a">Radikal</subfield><subfield code="g">Chemie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4076475-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Kohlenstoff</subfield><subfield code="0">(DE-588)4164538-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">Amorpher Zustand</subfield><subfield code="0">(DE-588)4306087-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="2"><subfield code="a">Wasserstoff</subfield><subfield code="0">(DE-588)4064784-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="3"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="4"><subfield code="a">PECVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4267316-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="5"><subfield code="a">Massenspektrometrie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4037882-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006994600&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006994600</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV010497148 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-10-09T16:14:51Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006994600 |
| oclc_num | 164868692 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM DE-12 DE-29T DE-706 DE-11 DE-188 |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM DE-12 DE-29T DE-706 DE-11 DE-188 |
| physical | II, 133 S. graph. Darst. |
| publishDate | 1995 |
| publishDateSearch | 1995 |
| publishDateSort | 1995 |
| record_format | marc |
| spelling | Lange, Klaus Verfasser aut Die Rolle von Ionen und Radikalen bei der plasmagestützten Abscheidung amorpher wasserstoffhaltiger Kohlenstoffschichten Klaus Lange 1995 II, 133 S. graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier München, Techn. Univ., Diss., 1995 Amorpher Zustand (DE-588)4306087-0 gnd rswk-swf Radikal Chemie (DE-588)4076475-8 gnd rswk-swf Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd rswk-swf Ion (DE-588)4027597-8 gnd rswk-swf Kohlenstoff (DE-588)4164538-8 gnd rswk-swf Massenspektrometrie (DE-588)4037882-2 gnd rswk-swf Wasserstoff (DE-588)4064784-5 gnd rswk-swf PECVD-Verfahren (DE-588)4267316-1 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Kohlenstoff (DE-588)4164538-8 s Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 s Wasserstoff (DE-588)4064784-5 s PECVD-Verfahren (DE-588)4267316-1 s Ion (DE-588)4027597-8 s Radikal Chemie (DE-588)4076475-8 s DE-604 Amorpher Zustand (DE-588)4306087-0 s Massenspektrometrie (DE-588)4037882-2 s DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006994600&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Lange, Klaus Die Rolle von Ionen und Radikalen bei der plasmagestützten Abscheidung amorpher wasserstoffhaltiger Kohlenstoffschichten Amorpher Zustand (DE-588)4306087-0 gnd Radikal Chemie (DE-588)4076475-8 gnd Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd Ion (DE-588)4027597-8 gnd Kohlenstoff (DE-588)4164538-8 gnd Massenspektrometrie (DE-588)4037882-2 gnd Wasserstoff (DE-588)4064784-5 gnd PECVD-Verfahren (DE-588)4267316-1 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4306087-0 (DE-588)4076475-8 (DE-588)4136925-7 (DE-588)4027597-8 (DE-588)4164538-8 (DE-588)4037882-2 (DE-588)4064784-5 (DE-588)4267316-1 (DE-588)4113937-9 |
| title | Die Rolle von Ionen und Radikalen bei der plasmagestützten Abscheidung amorpher wasserstoffhaltiger Kohlenstoffschichten |
| title_auth | Die Rolle von Ionen und Radikalen bei der plasmagestützten Abscheidung amorpher wasserstoffhaltiger Kohlenstoffschichten |
| title_exact_search | Die Rolle von Ionen und Radikalen bei der plasmagestützten Abscheidung amorpher wasserstoffhaltiger Kohlenstoffschichten |
| title_full | Die Rolle von Ionen und Radikalen bei der plasmagestützten Abscheidung amorpher wasserstoffhaltiger Kohlenstoffschichten Klaus Lange |
| title_fullStr | Die Rolle von Ionen und Radikalen bei der plasmagestützten Abscheidung amorpher wasserstoffhaltiger Kohlenstoffschichten Klaus Lange |
| title_full_unstemmed | Die Rolle von Ionen und Radikalen bei der plasmagestützten Abscheidung amorpher wasserstoffhaltiger Kohlenstoffschichten Klaus Lange |
| title_short | Die Rolle von Ionen und Radikalen bei der plasmagestützten Abscheidung amorpher wasserstoffhaltiger Kohlenstoffschichten |
| title_sort | die rolle von ionen und radikalen bei der plasmagestutzten abscheidung amorpher wasserstoffhaltiger kohlenstoffschichten |
| topic | Amorpher Zustand (DE-588)4306087-0 gnd Radikal Chemie (DE-588)4076475-8 gnd Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd Ion (DE-588)4027597-8 gnd Kohlenstoff (DE-588)4164538-8 gnd Massenspektrometrie (DE-588)4037882-2 gnd Wasserstoff (DE-588)4064784-5 gnd PECVD-Verfahren (DE-588)4267316-1 gnd |
| topic_facet | Amorpher Zustand Radikal Chemie Dünne Schicht Ion Kohlenstoff Massenspektrometrie Wasserstoff PECVD-Verfahren Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006994600&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT langeklaus dierollevonionenundradikalenbeiderplasmagestutztenabscheidungamorpherwasserstoffhaltigerkohlenstoffschichten |