Bestimmung von Konzentrationsprofilen mit der Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzanalyse:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1995
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | 104 S. Ill., graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV010496387 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 19981204 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 951121s1995 gw ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 945777671 |2 DE-101 | |
| 035 | |a (OCoLC)476239069 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV010496387 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-91 |a DE-29T |a DE-706 |a DE-634 |a DE-83 |a DE-11 |a DE-188 | ||
| 084 | |a WER 770d |2 stub | ||
| 084 | |a PHY 606d |2 stub | ||
| 084 | |a PHY 803d |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Wiener, Guido |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Bestimmung von Konzentrationsprofilen mit der Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzanalyse |c von Guido Wiener |
| 264 | 1 | |c 1995 | |
| 300 | |a 104 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 502 | |a Hamburg-Harburg, Techn. Univ., Diss., 1995 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Sputtern |0 (DE-588)4182614-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Röntgenfluoreszenzspektroskopie |0 (DE-588)4135992-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Tiefenprofilmessung |0 (DE-588)4185422-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Sputtern |0 (DE-588)4182614-0 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Tiefenprofilmessung |0 (DE-588)4185422-6 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Röntgenfluoreszenzspektroskopie |0 (DE-588)4135992-6 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006993930&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006993930 | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1812453681004544000 |
|---|---|
| adam_text |
INHALTSVERZEICHNIS
1 EINLEITUNG 7
2 THEORETISCHE GRUNDLAGEN 12
2.1 IONENZERSTMUBUNGSTECHNIK 12
2.1.1 IONENZERSTAEUBUNG MIT EINER KAUFMANNIONENQUELLE 12
2.1.2 SPUTTERRATE UND AUSBEUTE 14
2.1.3 UNERWUENSCHTE EINFLUESSE DES SPUTTEMS AUF DAS TARGET 15
2.2 ROENTGENFLUORESZENZANALYSE 18
2.2.1 WECHSELWIRKUNG VON ROENTGENSTRAHLUNG MIT MATERIE 19
2.2.2 ROENTGENOPTIK UND TOTALREFLEXIONS-ROENTGENFLUORESZENZANALYSE 20
2.2.3 BERECHNUNG DER FLUORESZENZINTENSITAETEN 24
3 EXPERIMENTELLE METHODEN UND AUSWERTUNGSVERFAHREN 28
3.1 HERSTELLUNG UND PRAEPARATION DER PROBEN 28
3.1.1 PROBENHERSTELLUNG 28
3.1.2 KEILFOERMIGES ABTRAGEN VON PROBEN DURCH IONENSTRAHLSPUTTEM 29
3.2 TOTALREFLEXIONS-ROENTGENFLUORESZENZSPEKTROMETRIE 32
3.2.1 KALIBRIERUNG DES SPEKTROMETERS 33
3.2.2 DURCHFUEHRUNG UND QUANTIFIZIERUNG VON TRFA-MESSUNGEN 35
3.2.3 WINKSLAUFGELOESTE MESSUNG UND ZERSTOERUNGSFREIE
PROBENCHARAKTERISIERUNG 37
3.2.4 POSITIONSAUFGELOESTE MESSUNGEN UND OBERFLAECHENCHARAKTERISIERUNG 40
3.2.5 TIEFENKALIBRIERUNG MIT DER TRFA 41
3.3 KONZENTRATIONSTIEFENPROFILANALYSE 44
3.3.1 DEFINITION UND BESTIMMUNG DER TIEFENAUFLOESUNG 44
3.3.2 KORREKTUR DES KONZENTRATIONSVERLAUFS DURCH BERUECKSICHTIGUNG DER
INFOERMATIONSTIEFE 46
3.4 ZUSAMMENFASSUNG DER EXPERIMENTELLEN METHODEN
49
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
HTTP://D-NB.INFO/945777671
4 ERGEBNISSE UND DISKUSSION
51
4
.1
TIEFENPROFILANALYSE EINES TI/AL-MODELLSYSTEMS 51
4.1.1 CHARAKTERISIERUNG DES AUSGANGSZUSTANDES 52
4.1.2 AUFLOESUNG DER GRENZFLAECHE NACH DEM KEILAETZEN UND BESTIMMUNG DER
TIEFENAUFLOESUNG
55
4.1.3 UEBERPRUEFUNG DES TIEFENPROFILS
61
4.1.4 DISKUSSION DER ERGEBNISSE AN DEM TI/AL-MODELLSYSTEM 62
4.2 TIEFENPROFILANALYSE EINES THERMISCH AUSGELAGERTEN DIFFIISIONSPAARES
64
4.2.1 CHARAKTERISIERUNG DES AUSGANGSZUSTANDES 64
4.2.2 KEILAETZEN UND BESTIMMUNG DES KONZENTRATIONS-TIEFENPROFILS
66
4.2.3 UEBERPRUEFUNG DES TIEFENPROFILS
68
4.2.4 DISKUSSION DER ERGEBNISSE AN DEM THERMISCH AUSGELAGERTEN
DIFFUSIONSPAAR 70
4.3 TIEFENPROFILANALYSE EINER TITAN-EISEN MEHRFACHSCHICHTPROBE
74
4.3.1 CHARAKTERISIERUNG DES AUSGANGSZUSTANDES
75
4.3.2 KEILAETZEN UND BESTIMMUNG DES KONZENTRATIONS-TIEFENPROFILS 76
4.3.3 UEBERPRUEFUNG DES TIEFENPROFILS
79
4.3.4 DISKUSSION DER ERGEBNISSE AN DER TI/FE MEHRFACHSCHICHT 80
5 TIEFENPROFILANALYSEN VON TI/AL-SCHICHTEN MIT ALTERNATIVEN METHODEN 84
5.1 TIEFENPROFILANALYSE MIT RUTHERFORD-RUECKSTREU-SPEKTROSKOPIE 84
5.2 TIEFENPROFILANALYSE MIT SBKUNDAER-NEUTRALTEILCHEN-MASSENSPEKTROSKOPIE
86
5.3 TIEFENPROFILANALYSE MIT ROENTGEN-PHOTOELEKTRONEN-SPEKTROSKOPIE 87
6 VERGLEICH DER KEILFITZTECHNIK MIT ETABLIERTEN METHODEN 90
7 ZUSAMMENFASSUNG 94
8 LITERATURVERZEICHNIS
100
9 DANKSAGUNG
103 |
| any_adam_object | 1 |
| author | Wiener, Guido |
| author_facet | Wiener, Guido |
| author_role | aut |
| author_sort | Wiener, Guido |
| author_variant | g w gw |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV010496387 |
| classification_tum | WER 770d PHY 606d PHY 803d |
| ctrlnum | (OCoLC)476239069 (DE-599)BVBBV010496387 |
| discipline | Physik Werkstoffwissenschaften |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV010496387</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">19981204</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">951121s1995 gw ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">945777671</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)476239069</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV010496387</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-706</subfield><subfield code="a">DE-634</subfield><subfield code="a">DE-83</subfield><subfield code="a">DE-11</subfield><subfield code="a">DE-188</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">WER 770d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">PHY 606d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">PHY 803d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Wiener, Guido</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Bestimmung von Konzentrationsprofilen mit der Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzanalyse</subfield><subfield code="c">von Guido Wiener</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1995</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">104 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Hamburg-Harburg, Techn. Univ., Diss., 1995</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Sputtern</subfield><subfield code="0">(DE-588)4182614-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Röntgenfluoreszenzspektroskopie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4135992-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Tiefenprofilmessung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4185422-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Sputtern</subfield><subfield code="0">(DE-588)4182614-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Tiefenprofilmessung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4185422-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Röntgenfluoreszenzspektroskopie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4135992-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006993930&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006993930</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV010496387 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-10-09T16:15:23Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006993930 |
| oclc_num | 476239069 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM DE-29T DE-706 DE-634 DE-83 DE-11 DE-188 |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM DE-29T DE-706 DE-634 DE-83 DE-11 DE-188 |
| physical | 104 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1995 |
| publishDateSearch | 1995 |
| publishDateSort | 1995 |
| record_format | marc |
| spelling | Wiener, Guido Verfasser aut Bestimmung von Konzentrationsprofilen mit der Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzanalyse von Guido Wiener 1995 104 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Hamburg-Harburg, Techn. Univ., Diss., 1995 Sputtern (DE-588)4182614-0 gnd rswk-swf Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd rswk-swf Röntgenfluoreszenzspektroskopie (DE-588)4135992-6 gnd rswk-swf Tiefenprofilmessung (DE-588)4185422-6 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 s Sputtern (DE-588)4182614-0 s Tiefenprofilmessung (DE-588)4185422-6 s Röntgenfluoreszenzspektroskopie (DE-588)4135992-6 s DE-604 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006993930&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Wiener, Guido Bestimmung von Konzentrationsprofilen mit der Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzanalyse Sputtern (DE-588)4182614-0 gnd Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd Röntgenfluoreszenzspektroskopie (DE-588)4135992-6 gnd Tiefenprofilmessung (DE-588)4185422-6 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4182614-0 (DE-588)4136925-7 (DE-588)4135992-6 (DE-588)4185422-6 (DE-588)4113937-9 |
| title | Bestimmung von Konzentrationsprofilen mit der Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzanalyse |
| title_auth | Bestimmung von Konzentrationsprofilen mit der Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzanalyse |
| title_exact_search | Bestimmung von Konzentrationsprofilen mit der Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzanalyse |
| title_full | Bestimmung von Konzentrationsprofilen mit der Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzanalyse von Guido Wiener |
| title_fullStr | Bestimmung von Konzentrationsprofilen mit der Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzanalyse von Guido Wiener |
| title_full_unstemmed | Bestimmung von Konzentrationsprofilen mit der Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzanalyse von Guido Wiener |
| title_short | Bestimmung von Konzentrationsprofilen mit der Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzanalyse |
| title_sort | bestimmung von konzentrationsprofilen mit der totalreflexions rontgenfluoreszenzanalyse |
| topic | Sputtern (DE-588)4182614-0 gnd Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd Röntgenfluoreszenzspektroskopie (DE-588)4135992-6 gnd Tiefenprofilmessung (DE-588)4185422-6 gnd |
| topic_facet | Sputtern Dünne Schicht Röntgenfluoreszenzspektroskopie Tiefenprofilmessung Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006993930&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT wienerguido bestimmungvonkonzentrationsprofilenmitdertotalreflexionsrontgenfluoreszenzanalyse |