Elektronenenergieverteilungsfunktionen in einer kapazitiv und einer induktiv gekoppelten Hochfrequenzentladung:
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| Published: |
1995
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INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
1
2
DIE
PLASMADIAGNOSTIK
5
2.1
DIE
ELEKTRONENVERTEILUNGSFUNKTION
.
6
2.2
DIE
SONDENDIAGNOSTIK
.
9
2.2.1
DAS
PRINZIP
DER
SONDENDIAGNOSTIK
.
9
2.2.2
DIE
MESSUNG
DER
ZWEITEN
ABLEITUNG
.
12
2.2.3
SONDENMESSUNGEN
IN
DER
PRAXIS
.
17
2.2.4
DIE
KOMPENSATION
DER
HOCHFREQUENZ
.
21
2.3
SONSTIGE
DIAGNOSTIKEN
.
28
2.3.1
DIE
ELEKTRISCHEN
MESSUNGEN
.
28
3
DIE
INDUKTIV
GEKOPPELTE
HF-ENTLADUNG
34
3.1
DER
EXPERIMENTELLE
AUFBAU
.
35
3.2
VERTEILUNGSFUNKTIONEN
IM
ZENTRUM
DER
ENTLADUNG
.
40
3.3
DIE
RAEUMLICHE
VARIATION
DER
EEVF
.
44
3.4
DAS
NICHTLOKALE
MODELL
.
47
II
INHALTSVERZEICHNIS
3.5
EINE
EINDIMENSIONALE
BESCHREIBUNG
DER
ENTLADUNG
.
48
3.6
DAS
ZWEIDIMENSIONALE
MODELL
.
57
4
DIE
KAPAZITIV
GEKOPPELTE
HF-ENTLADUNG
77
4.1
DIE
HEIZMECHANISMEN
BEI
DER
KAPAZITIV
GEKOPPELTEN
PARALLELPLATTEN
ENTLADUNG
.
79
4.1.1
DIE
JOULSCHE
HEIZUNG
.
80
4.1.2
DIE
SEKUNDAERELEKTRONENHEIZUNG
.
81
4.1.3
DIE
SCHICHTHEIZUNG
.
82
4.2
DER
EXPERIMENTELLE
AUFBAU
.
84
4.3
DIE
AXIALE
VARIATION
DER
EEVF
.
90
4.4
DER
UEBERGANG
ZWISCHEN
VERSCHIEDENEN
HEIZMECHANISMEN
.
95
5
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
114
A
DIE
OBERFLAECHENWELLENENTLADUNG:
EIN
BEISPIEL
FUER
EINE
AKTIVE
HF-
KOMPENSATION
117
B
VEROEFFENTLICHUNGEN
IM
ZUSAMMENHANG
MIT
DIESER
ARBEIT
123
LITERATURVERZEICHNIS
125 |
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