Präparation und Eigenschaften der p-seitigen Grenzflächen in Solarzellen aus amorphem Silizium:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
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1995
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1
INHALTSVERZEICHNIS
1 EINLEITUNG 5
2 GRUNDLAGEN 7
2.1 TRANSPARENTE KONTAKTSCHICHTEN. 7
2.1.1 EIGENSCHAFTEN UND HERSTELLUNG VON TRANSPARENTEN LEITFAEHIGEN
OXIDEN. 7
2.1.2 EINSATZ VON TCOS IN SOLARZELLEN. 9
2.2 AMORPHES SILIZIUM UND DUENNSCHICHTSOLARZELLEN. 12
2.2.1 AMORPHE HALBLEITER.12
2.2.2 SOLARZELLEN.16
2.3 DER TCO-P-KONTAKT . . . .18
2.3.1 DIE MODELLE VON SCHOTTKY UND BARDEEN.19
2.3.2 SCHOTTKYKONTAKTE MIT AMORPHEN HALBLEITERN.25
3 EXPERIMENTELLES 27
3.1 HERSTELLUNG UND PRAEPARATION.27
3.1.1 TCO-SCHICHTEN UND SPUTTERN.27
3.1.2 PLASMA-CVD VON AMORPHEM SILIZIUM UND VERWANDTEN MATE
RIALIEN .32
3.2 CHARAKTERISIERUNG.37
3.2.1 EINZELSCHICHTEN.37
3.2.2 DUENNE SCHICHTEN UND GRENZFLAECHEN.39
3.2.3 KONTAKTSCHICHTEN UND SOLARZELLEN.42
4 ERGEBNISSE UND DISKUSSION 47
4.1 SPUTTERDEPOSITION VON ZNO-SCHICHTEN.47
4.1.1 ABHAENGIGKEIT DER ZNO-SCHICHTEIGENSCHAFTEN VON DEN SPUTTER-
PARAMETERN.47
4.1.2 BESCHICHTUNG VON SN02 MIT GESPUTTERTEM ZNO (YYCOATING") . . 48
4.2 PLASMABEHANDLUNGEN DES TCO UND DIE GRENZFLAECHE ZUR P-SCHICHT . . 50
4.2.1 PLASMABEHANDLUNGEN DER TCO-OBERFLAECHE.50
4.2.2 DIE TCO/P-GRENZFLAECHE.57
4.3 DIE TCO/P-GRENZFLAECHE IN SOLARZELLEN.65
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
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2
INHALTSVERZEI CHNIS
4.3.1 ELEKTRISCHE CHARAKTERISIERUNG DER GRENZFLAECHE.65
4.3.2 EINFLUSS DES TCO-MATERIALS AUF DIE EIGENSCHAFTEN DER SOLARZELLEN 67
4.3.3 PLASMAVORBEHANDLUNGEN DER TCO-OBERFLAECHE.72
4.3.4 VARIATION DER P-DEPOSITIONSPARAMETER.74
4.3.5 EINFLUSS VERSCHIEDENER P-SCHICHTEN.76
4.4 MODELL DER TCO/P-GRENZFLAECHE UND DISKUSSION .85
4.4.1 DAS EINFACHE TCO/P-MODELL.85
4.4.2 ERWEITERTES SN02:F/P-MODELL UND DISKUSSION .86
4.4.3 ERWEITERTES ZNO/P-MODELL UND DISKUSSION.87
5 ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK 93
LITERATURVERZEICHNIS 97
DANKSAGUNG 105 |
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