Herstellung passivierter Au-Leiterbahnen und Charakterisierung ihres mechanischen Spannungzustandes:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Jülich
Forschungszentrum, Zentralbibliothek
1995
|
| Schriftenreihe: | Forschungszentrum <Jülich>: Berichte des Forschungszentrums Jülich
3091 |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1995 |
| Beschreibung: | 98 S. graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV010485203 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 19990128 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 951113s1995 gw d||| tm|| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 945903979 |2 DE-101 | |
| 035 | |a (OCoLC)75650373 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV010485203 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-91 | ||
| 084 | |a ELT 275d |2 stub | ||
| 084 | |a ELT 069d |2 stub | ||
| 088 | |a Jül 3091 | ||
| 100 | 1 | |a Pollak, Reinhard |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Herstellung passivierter Au-Leiterbahnen und Charakterisierung ihres mechanischen Spannungzustandes |c Reinhard Pollak |
| 246 | 1 | 3 | |a Jül 3091 |
| 264 | 1 | |a Jülich |b Forschungszentrum, Zentralbibliothek |c 1995 | |
| 300 | |a 98 S. |b graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Forschungszentrum <Jülich>: Berichte des Forschungszentrums Jülich |v 3091 | |
| 500 | |a Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1995 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Mechanische Spannung |0 (DE-588)4134428-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Passivierung |0 (DE-588)4173500-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Leiterbahn |0 (DE-588)4167320-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Gold |0 (DE-588)4157819-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Leiterbahn |0 (DE-588)4167320-7 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Gold |0 (DE-588)4157819-3 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Passivierung |0 (DE-588)4173500-6 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Mechanische Spannung |0 (DE-588)4134428-5 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 830 | 0 | |a Forschungszentrum <Jülich>: Berichte des Forschungszentrums Jülich |v 3091 |w (DE-604)BV004194732 |9 3091 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006987333&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006987333 | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1808227960779440128 |
|---|---|
| adam_text |
1.
EINLEITUNG
.3
2.
PROBEN
.
5
2.1.
SCHICHTABSCHEIDUNG
.
5
2.1.1.
SUBSTRATE
.
5
2.1.2.
AUFDAMPF-APPARATUR
.
6
2.1.3.
HAFTVERMITTLER
.
7
2.1.4.
AU-FILME
.
9
2.1.5.
LONENUNTERSTUETZT
AUFGEDAMPFTE
SCHICHTEN
.
10
2.2.
STRUKTURIERUNG
.
11
2.2.1.
PRBBENGEOMETRIE
.
11
2.2.2.
LITHOGRAPHIE
.
12
2.3.
PASSIVIERUNG
.
15
2.4.
ZUSAMMENFASSUNG
DER
HERSTELLUNGSPARAMETER
.
18
2.5.
PROBENCHARAKTERISIERUNG
.
19
2.5.1.
KORNGROESSE
.
19
2.5.2.
TEXTUR
.
20
2.5.3.
EDELGASGEHALT
.
20
2.5.4.
WIDERSTAND,
RESTWIDERSTAND
.
20
2.5.5.
TEM
.
21
2.5.6.
ELEKTROMIGRATIONSTESTS
.
28
3.
ROENTGENKLEINWINKELSTREUUNG
(SAXS)
.
29
3.1.
GRUNDLAGEN
.
29
3.2.
EXPERIMENTE
UND
ERGEBNISSE
.32
3.2.1.
STRUKTURIERTE
SCHICHTEN
.
32
3.2.2.
IBAD-SCHICHTEN
.
34
4.
ROENTGENOGRAPHISCHE
SPANNUNGSERMITTLUNG
(RSE)
.
41
4.1.
MESSMETHODE
.
41
4.1.1.
APPARATIVER
AUFBAU
.
41
4.1.2.
BESTIMMUNG
DER
BRAGG-WINKEL
AUS
DEN
REFLEXLAGEN
.
44
4.2.
ALLGEMEINE
GRUNDLAGEN
DER
SPANNUNGSERMITTLUNG
.
47
4.2.1.
VOLLFILM
.
48
4.2.2.
STRUKTURIERTE,
UNPASSIVIERTE
FILME
.
49
4.2.3.
STRUKTURIERTE,
PASSIVIERTE
FILME
.
50
4.3.
ELASTISCHES
VERHALTEN
EINGEBETTETER
LEITERBAHNEN
.52
4.4.
ERGEBNISSE
.
56
4.4.1.
VOLLFILM
.
56
4.4.2.
PASSIVIERTE
LEITEIBAHNEN
.
65
4.4.2.I.
TYP"A"
.
65
4.4.2.2.
TYP
"B"
.
81
4.4.2.3.
VERGLEICH
DER
BEIDEN
PROBENTYPEN
.
91
5.
ZUSAMMENFASSUNG
.
94
6.
LITERATURVERZEICHNIS
.
96
2 |
| any_adam_object | 1 |
| author | Pollak, Reinhard |
| author_facet | Pollak, Reinhard |
| author_role | aut |
| author_sort | Pollak, Reinhard |
| author_variant | r p rp |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV010485203 |
| classification_tum | ELT 275d ELT 069d |
| ctrlnum | (OCoLC)75650373 (DE-599)BVBBV010485203 |
| discipline | Elektrotechnik |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV010485203</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">19990128</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">951113s1995 gw d||| tm|| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">945903979</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)75650373</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV010485203</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ELT 275d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ELT 069d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="088" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Jül 3091</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Pollak, Reinhard</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Herstellung passivierter Au-Leiterbahnen und Charakterisierung ihres mechanischen Spannungzustandes</subfield><subfield code="c">Reinhard Pollak</subfield></datafield><datafield tag="246" ind1="1" ind2="3"><subfield code="a">Jül 3091</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Jülich</subfield><subfield code="b">Forschungszentrum, Zentralbibliothek</subfield><subfield code="c">1995</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">98 S.</subfield><subfield code="b">graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Forschungszentrum <Jülich>: Berichte des Forschungszentrums Jülich</subfield><subfield code="v">3091</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1995</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mechanische Spannung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4134428-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Passivierung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4173500-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Leiterbahn</subfield><subfield code="0">(DE-588)4167320-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Gold</subfield><subfield code="0">(DE-588)4157819-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Leiterbahn</subfield><subfield code="0">(DE-588)4167320-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Gold</subfield><subfield code="0">(DE-588)4157819-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Passivierung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4173500-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Mechanische Spannung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4134428-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="830" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">Forschungszentrum <Jülich>: Berichte des Forschungszentrums Jülich</subfield><subfield code="v">3091</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV004194732</subfield><subfield code="9">3091</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006987333&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006987333</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV010485203 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-08-24T00:49:22Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006987333 |
| oclc_num | 75650373 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM |
| physical | 98 S. graph. Darst. |
| publishDate | 1995 |
| publishDateSearch | 1995 |
| publishDateSort | 1995 |
| publisher | Forschungszentrum, Zentralbibliothek |
| record_format | marc |
| series | Forschungszentrum <Jülich>: Berichte des Forschungszentrums Jülich |
| series2 | Forschungszentrum <Jülich>: Berichte des Forschungszentrums Jülich |
| spelling | Pollak, Reinhard Verfasser aut Herstellung passivierter Au-Leiterbahnen und Charakterisierung ihres mechanischen Spannungzustandes Reinhard Pollak Jül 3091 Jülich Forschungszentrum, Zentralbibliothek 1995 98 S. graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Forschungszentrum <Jülich>: Berichte des Forschungszentrums Jülich 3091 Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1995 Mechanische Spannung (DE-588)4134428-5 gnd rswk-swf Passivierung (DE-588)4173500-6 gnd rswk-swf Leiterbahn (DE-588)4167320-7 gnd rswk-swf Gold (DE-588)4157819-3 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Leiterbahn (DE-588)4167320-7 s Gold (DE-588)4157819-3 s Passivierung (DE-588)4173500-6 s Mechanische Spannung (DE-588)4134428-5 s DE-604 Forschungszentrum <Jülich>: Berichte des Forschungszentrums Jülich 3091 (DE-604)BV004194732 3091 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006987333&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Pollak, Reinhard Herstellung passivierter Au-Leiterbahnen und Charakterisierung ihres mechanischen Spannungzustandes Forschungszentrum <Jülich>: Berichte des Forschungszentrums Jülich Mechanische Spannung (DE-588)4134428-5 gnd Passivierung (DE-588)4173500-6 gnd Leiterbahn (DE-588)4167320-7 gnd Gold (DE-588)4157819-3 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4134428-5 (DE-588)4173500-6 (DE-588)4167320-7 (DE-588)4157819-3 (DE-588)4113937-9 |
| title | Herstellung passivierter Au-Leiterbahnen und Charakterisierung ihres mechanischen Spannungzustandes |
| title_alt | Jül 3091 |
| title_auth | Herstellung passivierter Au-Leiterbahnen und Charakterisierung ihres mechanischen Spannungzustandes |
| title_exact_search | Herstellung passivierter Au-Leiterbahnen und Charakterisierung ihres mechanischen Spannungzustandes |
| title_full | Herstellung passivierter Au-Leiterbahnen und Charakterisierung ihres mechanischen Spannungzustandes Reinhard Pollak |
| title_fullStr | Herstellung passivierter Au-Leiterbahnen und Charakterisierung ihres mechanischen Spannungzustandes Reinhard Pollak |
| title_full_unstemmed | Herstellung passivierter Au-Leiterbahnen und Charakterisierung ihres mechanischen Spannungzustandes Reinhard Pollak |
| title_short | Herstellung passivierter Au-Leiterbahnen und Charakterisierung ihres mechanischen Spannungzustandes |
| title_sort | herstellung passivierter au leiterbahnen und charakterisierung ihres mechanischen spannungzustandes |
| topic | Mechanische Spannung (DE-588)4134428-5 gnd Passivierung (DE-588)4173500-6 gnd Leiterbahn (DE-588)4167320-7 gnd Gold (DE-588)4157819-3 gnd |
| topic_facet | Mechanische Spannung Passivierung Leiterbahn Gold Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006987333&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| volume_link | (DE-604)BV004194732 |
| work_keys_str_mv | AT pollakreinhard herstellungpassivierterauleiterbahnenundcharakterisierungihresmechanischenspannungzustandes AT pollakreinhard jul3091 |