Interferenzspektroskopische Methode zur kinetischen Untersuchung von Photoresisten und photochromen Systemen:
Gespeichert in:
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|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Kusterdingen, Lustnauerstr. 56/2
<<J.>> Nagel
1995
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INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
.
1
1.1
EINFUEHRUNG
.
1
1.2
MOTIVATION
.
1
1.3
AUFGABENSTELLUNG
.
3
2
THEORIE
.
4
2.1
PHOTORESISTE
.
4
2.1.1
EIGENSCHAFT
UND
VERWENDUNG
.
4
2.1.2
CHEMIE
DER
PHOTORESISTE
.
5
2.2
PHOTOKINETIK
.
6
2.2.1
DIFFERENTIALGLEICHUNG
EINER
EINFACHEN
PHOTOREAKTION
.
6
2.2.2
LOESUNG
DER
DIFFERENTIALGLEICHUNG
EINER
PHOTOREAKTION
.
7
2.3
OPTIK
.
8
2.3.1
NORMALE
DISPERSION
.
9
2.3.2
ANOMALE
DISPERSION
.
10
2.3.3
REGULAERE REFLEXION
AN
NICHTABSORBIERENDEN
MEDIEN
.
12
2.3.3.1
REFLEXION
AN
DER
PHASENGRENZE
NICHTABSORBIERENDER
MEDIEN
.
12
2.3.3.2
REFLEXION
AN
DER
PHASENGRENZE
NICHTABSORBIERENDES/ABSORBIERENDES
MEDIUM
.
16
2.3.3.3
REFLEXION
AN
ZWEI
PHASENGRENZEN
ZWISCHEN
NICHTABSORBIERENDEN
MEDIEN
(EINFACHSCHICHT)
.
20
2.3.3.4
REFLEXION
AN
EINER SCHWACH
ABSORBIERENDEN,
DURCHLAESSIGEN
EINFACHSCHICHT
.
23
2.3.4
LITERATURUEBERBLICK
UEBER
DIE
BESTIMMUNG
OPTISCHEN
PARAMETER
.
25
2.3.4.1
KRAMERS-KRONIG-DISPERSIONSRELATION
.
26
2.3.4.2
BESTIMMUNG
DER
OPTISCHEN
KONSTANTEN
AUS
INTERFERENZSPEKTREN
.
29
2.3.5
AUSWERTUNG
VON
INTERFERENZSPEKTREN
.
31
2.3.5.1
KORREKTUR
VON
REFLEXIONSSPEKTREN
.
31
2
3.5.2
ENTFALTUNG
DER
INTERFERENZSPEKTREN
.
32
23.5.3
BESTIMMUNG
DER
EXTREMWERTE
.
34
23.5.4
BESTIMMUNG
DER
OPTISCHEN
SCHICHTDICKE
EINER
ABSORPTIONSFREIEN
EINFACHSCHICHT
.
36
23.5.5
BESTIMMUNG
DER
EINHUELLENDEN
UND
DES
MITTELWERTS
.
38
23.5.6
BESTIMMUNG
DES
BRECHUNGSINDEX
DER
SCHICHT
AUS
DEM
REFLEXIONSGRAD
.
39
23.5.7
BESTIMMUNG
DER
ABSORPTIONSKONSTANTEN
AUS
DEN
EINHUELLENDEN
DER
EXTREMWERTE
.
41
3
EXPERIMENTELLER
TEIL
.
43
3.1
MESSAUFBAU
.
43
3.1.1
AUFBAU
ZUR
BESTIMMUNG
DES
REFLEXIONSGRADS
.
43
3.1.2
MESSAUFBAU
ZUR
BESTIMMUNG
DER
SPALTFUNKTION
.
46
3.2
XE-BLITZENTLADUNGSLAMPE
ALS
MESSLICHTQUELLE
.
48
3.3
SUBSTRATPRAEPERATION
.
53
3.4
VERWENDETE
FILMSYSTEME
MIT
ABSORBIERENDER
KOMPONENTE
.
56
3.4.1
FILMSYSTEM
ZUR
VERIFIZIERUNG
DER
AUSWERTEMETHODE
.
56
3.4.2
PHOTOCHEMISCHES
MODELLSYSTEM
.
57
3.4.2.1
ABERCHROME
540
.
57
3.4.2.2
BESTIMMUNG
DER
EXTINKTIONSKOEFFIZIENTEN
DES
FULGIDS
IN
POLYSTYROL
.
58
3.4.3
PHOTORESIST
.
59
3.4.4
AKTINOMETRIE
.
61
3.5
MESS-UND
AUSWERTEHILFSMITTEL
.
63
4
ERGEBNISSE
UND
DISKUSSION
.
65
4.1
WAHL
DER
REFERENZ
ZUR
BESTIMMUNG
DES
REFLEXIONSGRADS
.
65
4.1.1
SILICIUM-WAFER
ALS
REFERENZ
.
65
4.1.2
WG345-UND
BK7-GLAS
ALS
REFERENZ
.
68
4.2
REPRODUZIERBARKEIT
DES
PROBENWECHSEL
.
69
4.3
LAMPENSTABILITAET
.
70
4.4
BESTIMMUNG
DER
DISPERSION
UND
DER
ABSOLUTEN
SCHICHTDICKE
.
71
4.5
BESTIMMUNG
DER
DISPERSION
UND
DER
ABSORPTIONSKONSTANTEN
VON
ABSORBIERENDEN
SCHICHTEN
.
76
4.6
KALIBRIERUNG
DER
AUSWERTEMETHODE
.
81
4.7
BESTIMMUNG
DER
DISPERSION EINER
SCHICHT
BEI
EINEM
KOMPLEX
AUFGEBAUTEN
TRAEGERMATERIAL
.
84
4.7.1
SILICIUM-WAFER
ALS
TRAEGERMATERIAL
.
84
4.7.2
KUPFER
ALS
TRAEGERMATERIAL
.
85
4.8
FULGID-ISOMERISIERUNG
ALS
MODELL-PHOTOREAKTION
.
87
4.8.1
INTERPRETATIONDESINTERFERENZ-REAKTIONSPEKTRUMS
.
87
4.8.2
REAKTIONSSPEKTRUM
.
89
4.8.3
BESTIMMUNG
DER
QUANTENAUSBEUTE
.
91
4.9
KINETISCHE
UNTERSUCHUNG
EINES
PHOTORESISTEN
.
93
4.9.1
INTERPRETATION
DES
INTERFERENZ-REAKTIONSPEKTRUMS
.
93
4.9.2
ENDPUNKTBESTIMMUNG
DER
PHOTOREAKTION
.
98
5
ZUSAMMENFASSUNG
.
101
6
ANHANG
.
104
6.1
LITERATURVERZEICHNIS
.
104 |
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