Sensor 95: Kongreßband
Gespeichert in:
Format: | Tagungsbericht Buch |
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Sprache: | Undetermined |
Veröffentlicht: |
Wunstorf-Steinhude
ACS Organisations-GmbH
1995
|
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
Beschreibung: | 948 S. Ill., graph. Darst. |
Internformat
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QMTIH SSESSSESS* 5SSSKSAE EINE VERANSTALTUNG DES FACHVERBANDES FUER
SENSORIK E.V. INHALTSVERZEICHNIS / INDEX A01 DRUCK I / PRESSURE I A01.1
DRUCKSENSOREN MIT INTERFEROMETRISCHER ABTASTUNG UND ANALOGER/DIGITALER
CMOS-SIGNALAUFBEREITUNG 15 AUF SILIZIUM A PRESSURE SENSOR WITH
INTERFEROMETRIC READ-OUT AND ANALOGUE/DIGITAL SIGNAL PROCESSING ON
SILICON J. MUELLER, U. HILLERINGMANN, K. GOSER, UNIVERSITAET DORTMUND (D)
A01.2 SURFACE-MICROMACHINED PIEZORESISTIVE PRESSURE SENSOR 21 T. LISEC,
H. STAUCH, B. WAGNER, FRAUNHOFER-INSTITUT FUER SILIZIUMTECHNOLOGIE,
BERLIN (D) A01.3 RESONANT FORCE AND PRESSURE MICROSENSORS 27 S.
BUETTGENBACH, TU BRAUNSCHWEIG; TH. FABULA, B. SCHMIDT, H.-J. WAGNER,
INSTITUT FUER MIKRO- UND INFORMATIONSTECHNIK DER
HAHN-SCHICKARD-GESELLSCHAFT, VILLINGEN-SCHWENNINGEN (D) A01.4 ROBUSTER,
MODULARER INTEGRIERTER DRUCKSENSOR 33 ROBUST, MODULAR INTEGRATED
PRESSURE SENSOR W. CZARNOCKI, J. P. SCHUSTER, MOTOROLA INC., NORTHBROOK
(USA) A01.5 NEW GENERATION OF DISPOSABLE BLOOD PRESSURE TRANSDUCERS 39
D. GEE, J. BRYZEK, LUCAS NOVASENSOR, FREMONT (USA) A02 DRUCK II /
PRESSURE II A02.1 EVOLUTION OF SMART TRANSDUCER TECHNOLOGY , 45 J.
BRYZEK, LUCAS NOVASENSOR, FREMONT (USA) A02.2 VERBESSERUNG KERAMISCHER
DRUCKMESSZELLEN DURCH VERTIKALE DICKSCHICHTSTRUKTURIERUNG 51 IMPROVEMENT
OF CERAMIC PRESSURE SENSOR ELEMENTS WITH VERTICAL THICKFILM STRUCTURES
R. EISELE, VEGA GRIESHABER KG, SCHILTACH (D) A02.3 MINIATURMESSUMFORMER
FUER ABSOLUTDRUCK 57 SMALL SIZE ABSOLUTE PRESSURE MEASURING TRANSMITTERS
W. EWDOKIMOW, A. W. BELOGLAZOV, E. B. KOTLJAREWSKAJA, O. P. KOSCHEWOJ,
W. KHASIKOW, STATE RESEARCH INSTITUTE FOR HEAT POWER ENGINEERING
INSTRUMENT MAKING, MOSCOW (RUS) A02.4 DRUCKSENSOR DER LICHTLEITFASER DER
OPTISCH GELIEFERTEN LEISTUNG VON ERWEITERTEM SILIZIUM 63 AN
OPTICALLY-POWERED OPTICA! FIBRE PRESSURE SENSOR OF DIFFUSED SILICON W.
YUTIAN, H. YUDONG, S. JINSHAN, Z. XIAOQUN, YANSHAN UNIVERSITY,
QINHUANGDAO (CHINA) A03 KRAFT/DEHNUNG / FORCE A03.1 STATIC FORCE
MEASUREMENT USING PVDF 67 L. NGALAMOU, P. BENECH, E. CHAMBEROD,
UNIVERSITE JOSEPH FOURIER, GRENOBLE (F) A03.2 FUENFKOMPONENTEN
KRAFTAUFNEHMER ZUR MESSUNG DER RADKRAEFTE UND -MOMENTE IN EINEM
MESSANHAENGER 73 FIVE COMPONENT FORCE TRANSDUCER FOR THE MEASUREMENT OF
TIRE-FORCES IN A TEST-TRAILER K. HUFNAGEL, T. BACHMANN, S. EMESTI,
TECHNISCHE HOCHSCHULE DARMSTADT (D) A03.3 FUNKABFRAGBARE
OFW-VERZOEGERUNGSLEITUNG ZUR DEHNUNGSMESSUNG 79 REMOTE STRAIN
MEASUREMENTS BY SAW SENSORS T. SACHS, TU MUENCHEN (D) A04 DURCHFLUSS /
FLOW MEASUREMENTS A04.1 CLAMP-ON-DURCHFLUSSMESSER 85 CLAMP-ON-FLOWMETER
B. FUNCK, UNIVERSITAET ROSTOCK (D) A04.2 HOCHAUFLOESENDER
ULTRASCHALLDURCHFLUSSSENSOR ZUR ATEMSTROEMUNGSMESSUNG 91 HIGH-RESOLUTION
ULTRASONIC FLOW METER FOR MEASURING HUMAN RESPIRATION A. VON JENA, V.
MAEGORI, SIEMENS AG, MUENCHEN (D) 3 A04.3 EINE NEUE METHODE FUER DAS MESSEN
VON SEHR KLEINEN FLUESSIGKEITSDURCHFLUESSEN 97 A NEW APPROACH FOR
MEASURING (VERY) SMALL LIQUID FLOWS H. J. BOER, BRONKHORST HIGH-TECH BV,
RUURLO (NL) A04.4 VERBESSERTE MENGENDURCHFLUSSMESSUNG VON GASEN MIT
CORIOLIS MESSSYSTEMEN 103 IMPROVED MASS FLOWRATE MEASUREMENTS OF GASES
USING CORIOLIS MASS FLOWMETERS G. E. PAWLAS, T. PANKRATZ, MICRO MOTION
INC., BOULDER (USA) A04.5 A NEW NON CONTACT FIBRE OPTIC PROBE FOR BUBBLE
SHAPE DETECTION AND DIAMETER MEASUREMENTS IN TWO PHASE FLOW G. ROSSI, O.
MASSI, UNIVERSITA DI ANCONA (I) - MANUSKRIPT LAG BEI DRUCKLEGUNG NICHT
VOR - A05 STRAHLUNG / RADIATION A05.1 NIR - SENSOR ZUR SCHNELLEN
IDENTIFIZIERUNG VON VERPACKUNGSKUNSTSTOFFEN 109 NIR - REMOTE SENSING FOR
RAPID IDENTIFICATION OF POST CONSUMER PLASTICS T. KANTIMM, T.
HUTH-FEHRE, R. FELDHOFF, L. QUICK, F. WINTER, K. CAMMANN, INSTITUT FUER
CHEMO- UND BIOSENSORIK E. V., MUENSTER (D); W. VAN DEN BROEK, D. WIENKE,
W. MELSSEN, L. BUYDENS, CATHOLIC UNIVERSITY NIJMEGEN (NL) A05.2
ATOMLAGENTHERMOSAEULE - EIN NEUARTIGER SENSOR FUER LASER 113
ATOMIC-LAYER-THERMOPILE - A NEW SENSOR FOR LASER J. BETZ, FORTECH HTS
GMBH, REGENSBURG (D) A05.3 EIN FASEROPTISCHES HYDROFON ZUR DETEKTION VON
ULTRASCHALL IN FLUESSIGKEITEN 119 A FIBRE-OPTIC HYDROPHONE FOR ULTRASONIC
PRESSURE DETECTION IN LIQUIDS S. SCHRAEBLER, C. OSTER, B. CRAMER, R.
LERCH, TECHNISCHE HOCHSCHULE DARMSTADT (D) A05.4
SZINTILLATOR-LICHTLEITFASER-MESSSYSTEM ALS DOSIMETER IN DER
ROENTGENDIAGNOSTIK 125 FIBRE OPTIC COUPLED SCINTILATOR FOR DOSIMETRY IN
DIAGNOSTIC RADIOLOGY B. STOEBER, H. LENZEN, P, E. PETERS,
UNIVERSITAETSKLINIK MUENSTER; U. STOEBER, FACHHOCHSCHULE JENA (D) A06
ANWENDUNGEN I / APPLICATIONS I A06.1 ORTSFILTER - GESCHWINDIGKEITSSENSOR
FUER INDUSTRIELLE ANWENDUNGEN 129 SPATIALFILTER - VELOCITY SENSOR FOR
INDUSTRIAL APPLICATIONS O. FIEDLER, A. RICHTER, UNIVERSITAET ROSTOCK; K.
CHRISTOFORI, ANGEWANDTE SENSORTECHNIK GMBH, ROSTOCK (D) A06.2
KONTAKTLOSE MESSUNG VON SCHALLEMISSIONEN SOWIE ANALYSE UND
KLASSIFIKATION IM FREQUENZBEREICH 135 ZUR BEOBACHTUNG DES
SCHLEIFPROZESSES CONTACTIESS SENSING, FREQUENCY DOMAIN ANALYSIS AND
CLASSIFICATION OFACOUSTIC EMISSION FOR GRINDING MONITORING W. HUNDT, F.
KUESTER, F. REHSTEINER, ETH ZUERICH (CH); S. BRANCI, ECOLE DES MFNES
D ALES, NIMES (F) A06.3 EIN PREISWERTES FASEROPTISCHES GYROSKOP FUER
ROBOTERTECHNISCHE ANWENDUNGEN 141 A LOW-COST FIBRE OPTIC GYROSCOPE FOR
ROBOTIC APPLICATIONS B. BURY, J. C. HOPE, UNIVERSITY OF SALFORD (UK)
A06.4 A DEAD RECKONING NAVIGATION SYSTEM WITH FIBRE OPTIC GYRO FOR FREE
RANGING OF AUTOMATIC GUIDED VEHICIES 147 T. VIEREGGE, LITEF GMBH,
FREIBURG (D) A06.5 ANWENDUNGEN VON 3-D AKTIVER SICHT FUER
QUALITAETSPRUEFUNG UND KONTROLLE 153 APPLICATIONS OF 3-D ACTIVE VISION IN
INSPECTION AND QUALITY CONTROL J.-P. BOILLOT, J.-C. FONTAINE, J.-L.
COETE, X. YU, SERVO-ROBOT INC., BOUCHERVILLE, QUEBEC (CAN) A07
ANWENDUNGEN II/APPLICATIONS II A07.1 A HOT FILM SENSOR FOR DRY OPERATIVE
TEMPERATURE MEASUREMENT 159 C. A. MALVICINO, C. CANTA, M. CISTEMINO, F.
DE CRISTOFARO, M. PALAZZETTI, F. RISSONE, CENTRO RICERCHE FIAT,
ORBASSANO (I) A07.2 AN INTELLIGENT 2-WIRE PYROMETER HEAD 165 S. WARNKE,
V. SCHMIDT, RAYTEK GMBH, BERLIN (D) A07.3 DUAL WAVELENGTH THERMOMETRY
APPLIED TO ALUMINIUM HOT ROLLING AND STEEL GALVANNEALING 171 S.
METCALFE, A. TUNE, LAND INFRARED, SHEFFIELD (UK) A07.4 EIN NEUES,
SCHNELLES PRAEZISES UND FLEXIBLES 3D-KAMERAKONZEPT MITTELS
HF-MODULIERTER, 177 INKOHAERENTER BELEUCHTUNG A NEW FAST, PRECISE AND
FLEXIBLE 3D-CAMERA CONCEPT USING RF-MODULATED AND INCOHERENT
ILLUMINATION R. SCHWARTE, H. HEINOL, Z. XU, UNIVERSITAET SIEGEN (D) 4 A08
BESCHLEUNIGUNG / ACCELERATION A08.1 SEHR NIEDRIGE
FREQUENZBESCHLEUNIGUNGSMESSUNGEN MIT PIEZOKERAMIK-SENSOREN 183 VERY LOW
FREQUENCY ACCELEROMETER MEASUREMENTS WITH PIEZOCERAMIC SENSORS R.
BARRETT, WILCOXON RESEARCH INC., GAITHERSBURG (USA) A08.2 LOW POWER
PRECISION MICROACCELEROMETER 189 T. SMITH, Y. DE COULON, F. RUDOLF, J.
HERMANN, CSEM, NEUCHAETEL (CH) A08.3 OELGEDAEMPFTER DICK-FILM ACCELEROMETER
FUER WAGEN-DYNAMIK 195 OIL-DAMPED THICK-FILM ACCELEROMETER FOR VEHICLE
DYNAMICS D. CRESCINI, D. MARIOLI, A. TARONI, UNIVERSITY OF BRESCIA (I)
A08.4 INNOVATIONS IN ACCELERATION SENSING USING SURFACE MICRO-MACHINING
201 J. DOSCHER, ANALOG DEVICES INC., WILMINGTON (USA) A08.5 SMART
SENSORS FOR ACCELERATION MEASUREMENT USING A TWO-CHIP APPROACH 207 D. DE
BRUIN, M. DUNBAR, IC SENSORS INC., MILPITAS (USA) A09 POSITION I /
POSITION I A09.1 EIN POSITIONSSENSOR, DER DIE OBERFLAECHENSTRUKTUR ALS
REFERENZ BENUTZT 213 POSITION SENSOR USING SURFACE RECOGNITION C.
DURING, ROYAL INSTITUTE OF TECHNOLOGY, STOCKHOLM (S) A09.2 DISTANCE
MEASUREMENT AGAINST NATURALLY DIFFRACTIVE SURFACES BY PHASE-SHIFT
EVALUATION INCORPORATING A NEW SIGNAL PROCESSING APPROACH R. MUELLER, H.
WOELFELSCHNEIDER, FRAUNHOFER-INSTITUT FUER PHYSIKALISCHE MESSTECHNIK,
FREIBURG (D) - MANUSKRIPT LAG BEI DRUCKLEGUNG NICHT VOR - A09.3 EIN
MILLIMETER-WELLEN INTERFEROMETER ZUR MESSUNG KLEINER VERSCHIEBUNGEN
UNTER VERWENDUNG EINES 219 FECTED-VCO A MILLIMETER-WAVE INTERFEROMETER
FOR MEASUREMENTS OF SMALL DISPLACEMENTS USING A FECTED-VCO C. DISKUS, A.
STELZER, A. L. SPRINGER, K. LUEBKE, H. W. THIM, UNIVERSITAET LINZ (A)
A09.4 LANGREICHWEITIGER TRIANGULATIONSSENSOR 225 WIDE RANGE
TRIANGULATION SENSOR O. TOEDTER, A. W. KOCH, UNIVERSITAET SAARBRUECKEN (D)
A10 POSITION II / POSITION II A10.1 TRENNUNG DES MESSABSTANDES VON DEN
MATERIALEIGENSCHAFTEN EINES MESSOBJEKTS MITTELS EINES 231
WIRBELSTROMSENSORS SEPARATION OF THE MEASURING DISTANCE AND OF THE
MATERIAL CHARACTERISTICS BY USING AN EDDY-CURRENT-SENSOR Y. WANG, W.
BECKER, UNIVERSITAET KASSEL (D) A10.2 EIN NEUES, LINEARES WEGMESSSYSTEM -
DAS VERSCHLEISSFREIE WIRBELSTROM-POTENTIOMETER 237 A NEW LINEAR POSITION
SENSOR - THE NONCONTACT POTENTIOMETER M. SEILEN, MICRO-EPSILON
MESSTECHNIK GMBH & CO. KG, ORTENBURG (D) A10.3 HOCHAUFLOESENDE MAGNETISCHE
DREH-UND LINEARGEBER 243 HIGH RESOLUTION MAGNETIC ROTARY AND LINEAR
ENCODERS A. NIMMRICHTER, C. VARELAS, VS SENSORIK GMBH, UNTERSCHLEISSHEIM
(D) A10.4 BERUEHRUNGSLOSE ON-LINE-DICKENMESSUNG MIT ZWEI KOMBINIERTEN
SENSOREN AUF EINEM MESSFLECK 249 NONCONTACT ON-LINE THICKNESS MEASUREMENT
WITH TWO COMBINED SENSORS USING THE SAME MEASURING SPOT A. SPANG, D.
WUESTENBERG, UNIVERSITAET KAISERSLAUTERN (D) A10.5 ENTWICKLUNGSPROZESS
EINES SCHALTHEBELSENSORS FUER KFZ-ANWENDUNGEN 255 DEVELOPMENT PROCESS OF
A GEAR LEVER SENSOR FOR AUTOMOTIVE APPLICATIONS A. THOMAE, I. FRANZ,
FICHTEL & SACHS AG, SCHWEINFURT; A. RECH, SIEGERT GMBH, CADOLZBURG (D) 5
B01 TEMPERATUR / TEMPERATURE B01.1 DUENNE SCHICHTEN MULTISENSOR FUER DIE
MESSUNG DER OBERFLAECHENTEMPERATUR 261 THIN FILM MULTISENSOR FOR SURFACE
TEMPERATURE MEASUREMENT M. HUBIN, S. CHADLI, S.G. LEE, INSA DE ROUEN,
MONT SAINT AIGNAN (F) B01.2 POSSIBILITIES AND LIMITATIONS FOR AN
ACCURACY ENHANCEMENT OF TRANSISTOR BASED 267 PTAT-TEMPERATURE SENSORS BY
MODELLING NONLINEARITIES R. HOLMER, UNIVERSITAET DER BUNDESWEHR MUENCHEN,
NEUBIBERG (D) B01.3 OBERFLAECHENTEMPERATURSENSOREN ZUR INSTATIONAEREN
WAERMESTROMMESSUNG 273 SURFACE TEMPERATURE SENSORS FOR INSTANTANEOUS HEAT
FLUX MEASUREMENTS A. WIMMER, TU GRAZ; J. KAMPER, TU WIEN (A) B01.4
TEMPERATURSCHWINGUNGSMESSVERFAHREN IN DER WAERMEUEBERTRAGUNG 279
TEMPERATURE OSCILLATION MEASUREMENT TECHNIQUES IN HEAT TRANSFER W.
CZARNETZKI, W. ROETZEL, M. WANDELT, UNIVERSITAET DER BUNDESWEHR HAMBURG
(D) B01.5 APPROXIMATION DER INTERNATIONALEN TEMPERATURSKALA VON 1990
(ITS-90) MIT EDELMETALLTHERMOELEMENTEN 285 TECHNIQUES FOR APPROXIMATING
THE INTERNATIONAL TEMPERATURE SCALE OF 1990 (ITS-90) BY NOBLE METAL
THERMOCOUPLES F. EDLER, H. MAAS, PHYSIKALISCH-TECHNISCHE BUNDESANSTALT,
BERLIN (D) B02 SIMULATION I / SIMULATION I B02.1 SIMULATION DES
ANISOTROPEN UND SELEKTIVEN AETZENS VON SILIZIUM MIT DEM PRINZIP DER
ZELLULAEREN AUTOMATEN 291 SIMULATION OF SELECTIVE AND ANISOTROPIE ETCHING
OF SILICON USING A CELLULAR AUTOMATA MODEL O. THAN, S. BUETTGENBACH, TU
BRAUNSCHWEIG (D) B02.2 PIEZOELEKTRISCHES CAD-SYSTEM 297 PIEZOELECTRIC
CAD-SYSTEM R. LERCH, M. KALTENBACHER, H. LANDES, F. LINDINGER,
UNIVERSITAET LINZ (A) B02.3 RECHNERGESTUETZTE ENTWICKLUNG MAGNETISCHER
SENSOREN 303 COMPUTER-AIDED DEVELOPMENT OF MAGNETIC SENSORS R. DIETZ, E.
ZABLER, ROBERT BOSCH GMBH, STUTTGART (D) B02.4 DER EINSATZ OFFENER
CAE-UMGEBUNGEN ZUM INTERDISZIPLINAEREN ENTWURF MECHATRONISCHER SYSTEME
309 THE USE OF OPEN CAE ENVIRONMENTS FOR AN INTERDISCIPLINARY DESIGN OF
MECHATRONIC SYSTEMS U. LEFARTH, UNIVERSITAET PADERBORN (D) B03 SIMULATION
II / SIMULATION II B03.1 MODELLVERSUCH FLACHER SPULEN DURCH IMPULS -
WIRBELSTROMVERFAHREN 315 SIMULATION OF FIAT COILS USED IN PULSED
EDDY-CURRENT TECHNIQUES. OPTIMISATION OF THE EMITTED PULSE DURATION FOR
NON-DESTRUCTIVE TESTING J.-C. BOUR, E. ZUBIRI, P. VASSEUR, A. BILLAT,
UNIVERSITE DE REIMS (F) B03.2 ADVANCED DESIGN AND SIMULATION TOOLS FOR
INTELLIGENT IMAGING SYSTEMS 321 H. KELLER, H. FISCHER, M. BOEHM, S.
BENTHIEN, T. LULE, S. OSTERTAG, M. SOMMER, UNIVERSITAET SIEGEN (D) B03.3
NEW GENERATION OF SMART INDUSTRIAL PRESSURE TRANSMITTER FOR HARSH
ENVIRONMENTS 327 K. SIDHU, M. CIMINELLI, LUCAS CONTROL SYSTEMS PRODUCTS,
HAMPTON (USA) B04 BIOSENSOREN / BIOSENSORS B04.1 BIOSENSOREN - KONZEPTE
- TECHNOLOGIEN - MAERKTE 333 BIOSENSORS - CONCEPTS - TECHNOLOGIES -
COMMERCIALIZATION F. SCHELLER, UNIVERSITAET POTSDAM, BERLIN (D) B04.2
BIO-AKTIVITAETS-SENSORIK (BAS) 337 BIO-ACTIVITY-SENSORS (BAS) T. HERTEL,
M. LEIFHEIT, S. ROTHE, K. PUHLMANN, UNIVERSITAET MERSEBURG (D) B04.3
ENTWICKLUNG VON INTEGRIERTEN BIOSENSORARRAYS IMPLEMENTIERT IN EINEM
MIKRO-FLUSSSYSTEM 343 DEVELOPMENT OF INTEGRATED BIOSENSORARRAYS
IMPLEMENTED INTO A MICROFLOWSYSTEM G. URBAN, G. JOBST, P. SVASEK, TU
WIEN; Z. TRAJANOSKI, P. WACH, UNIVERSITAET GRAZ; P. KOTANKO, F. SKRABAL,
KRANKENHAUS DER BARMHERZIGEN BRUEDER, GRAZ (A) 6 B04.4 DER FASEROPTISCHE
OBERFLAECHENPLASMONEN-RESONANZ-SENSOR, EIN VIELVERSPRECHENDER 349
TRANSDUCER FUER CHEMO- UND BIOSENSOREN / THE FIBRE OPTICAL SURFACE
PLASMON RESONANCE SENSOR, A PROMISING TRANSDUCER FOR CHEMICAL AND
BIOCHEMICAL SENSORS A. KATERKAMP, P. BOLSMANN, U. KUNZ, M. NIGGEMANN, M.
PELLMANN, K. CAMMANN, INSTITUT FUER CHEMO- UND BIOSENSORIK, MUENSTER (D)
B04.5 ANWENDUNG DER REFLEKTOMETRISCHEN INTERFERENZSPEKTROSKOPIE BEI
CHEMO- UND BIOSENSOREN 355 APPLICATION OF REFLECTOMETRIC INTERFERENCE
SPECTROSCOPY TO CHEMICAL AND BIOCHEMICAL SENSING G. GAUGLITZ, G. KRAUS,
G. LANG, A. BRECHT, J. PIEHLER, J. SEEMANN, UNIVERSITAET TUEBINGEN (D) B05
SIGNALVERARBEITUNG BEI GASSENSOREN / SIGNAL PROCESSING AT GAS SENSORS
B05.1 INTELLIGENTES SENSORSYSTEM ZUR GERUCHSSTOFFERKENNUNG 361
INTELLIGENT SENSOR SYSTEM FOR MEASUREMENT OF ODOUR QUALITY G. HOMER, HKR
SENSORSYSTEME GMBH, MUENCHEN (D) B05.2 COMPARATIVE QUALITY ASSURANCE OF
ESSENTIAL OILS BY MULTI-GAS SENSORS ARRAY AND GAS CHROMATO- 367 GRAPHY
USING PATTERN RECOGNITION TECHNIQUES: APPLICATION TO LAVENDER/LAVENDIN
DIFFERENTIATION T. TALOU, B. BOURROUNET, A. GASET, ECOLE NATIONALE
SUPERIEURE DE CHIMIE DE TOULOUSE (F) B05.3 GAS-DETEKTOREN-ARRAY FUER
CHEMIEUNFAELLE UND BRAENDE 369 GAS-SENSOR-ARRAY FOR CHEMICAL ACCIDENTS AND
FIRES T. HUNTE, G. MATZ, T. ALBRECHT, TU HAMBURG-HARBURG (D) B05.4
MODELL ZUR SIGNALVERARBEITUNG BEI GASSENSOREN 375 A MODEL FOR SIGNAL
PROCESSING TO APPLY TO GAS SENSORS M. HOERN, H.-R. TRAENKLER, UNIVERSITAET
DER BUNDESWEHR, NEUBIBERG (D) B06 FORUM MICROSYSTEMS TECHNOLOGY:
ACCELERATION AND PRESSURE SENSORS I B06.1 ELECTRONIC PRESSURE REGULATORS
USING MICROMACHINED SILICON PRESSURE SENSORS AND SILICON MICROVALVES 381
M. DUNBAR, H. JERMAN, IC SENSORS, MILPITAS (USA) B06.2 SMART LOW-POWER
MICROSYSTEMS FOR AUTOMOTIVE APPLICATIONS 387 J. SIDDONS, A. DERBYSHIRE,
OTTER CONTROLS LTD., DERBYSHIRE (UK) (EU PROJECT: ESPRIT 3 #9011,
SLOPSYS) B06.3 INTELLIGENTE SENSOR-SYSTEME 393 SMART SENSOR SYSTEMS -
KINETIC MICRO SENSORS S. SELIGER, ELMOS GMBH, DORTMUND (D) (EU PROJECT:
ESPRIT 3 #6505, AMIS) B06.4 ACCELEROMETERS FOR AUTOMOTIVE APPLICATIONS
399 W. RIETHMUELLER, FRAUNHOFER-INSTITUT FUER SILIZIUMTECHNOLOGIE ISIT,
BERLIN (D) (EU PROJECT: ESPRIT 3 #6416, MAXIMA) B07 FORUM MICROSYSTEMS
TECHNOLOGY: ACCELERATION AND PRESSURE SENSORS II B07.1 MIKROSYSTEME IN
DER NAVIGATION 403 MICROSYSTEMS FOR NAVIGATION M. HAFEN, E. HANDRICH, M.
KEMMLER, G. SPAHLINGER, W. TSCHANUN, LITEF GMBH, FREIBURG (D) B07.2
HOCHGENAUE KINETISCHE SI-SENSOREN 409 HIGH PRECISION ACCELERATION SENSOR
IN SILICON T. GESSNER, M. WIEMER, K. HILLER, TU CHEMNITZ-ZWICKAU (D)
B07.3 MIKROSTRUKTURIERUNG VON GLASSCHEIBEN FUER KINETISCHE SENSOREN 415
MICROSTRUCTURING OF GLASS WAFERS FOR KINETIC SENSORS D. HUELSENBERG, A.
HARNISCH, H.-J. HORST, M. MAY, K. SCHMIDT, B. STRAUBE, TU ILMENAU (D)
B08 CHEMISCHE SENSOREN I / CHEMICAL SENSORS I B08.1 CO OXIDIERUNG
ABHAENGIG VON DER VOLTSPANNUNG AN CUO/ZNO HETEROKONTAKTEN UND APPLIKATION
421 ZU CO GAS-SENSOREN APPLIED VOLTAGE DEPENDENT CO OXIDATION AT CUO/ZNO
HETEROCONTACT AND APPLICATION TO CO GAS SENSOR Y. NAKAMURA, K. WATANABE,
N. MOTOHIRA, A. KISHIMOTO, H. YANAGIDA, Y. ARIGA, UNIVERSITY OF TOKYO
(JAPAN) 7 B08.2 DICKSCNICHT-C0 2 -SENSOR BASIEREND AUF
LEITFAEHIGKEITSAENDERUNGEN EINES SPEZIELLEN METALLOXIDGEMISCHES 427 A
THICK FILM CONDUCTIVE-TYPE C0 2 SENSOR BASED ON METAL OXIDES A.
HAEUSLER, J.-U. MEYER, FRAUNHOFER-INSTITUT FUER BIOMEDIZINISCHE TECHNIK,
ST. INGBERT (D) B08.3 VERBESSERTE MESSUNG VON CO IM MAK-BEREICH BEI
VARIIERENDER FEUCHTE DURCH ZWEI-PUNKT-SAMPLING 433 DES
RELAXATIONSVERHALTENS EINES SN0 2 /PD-SENSORS IMPROVED ACCURACY OF CO
MEASUREMENTS NEAR THE MAK LEVEL (30 PPM) IN SURROUNDINGS OF VARYING
HUMIDITY BY AN SNO/PD SENSOR WITH TWO-POINT SAMPLING OF THE RELAXATION
BEHAVIOUR M. VORNEHM, J. KELLETER, D. KOHL, UNIVERSITAET GIESSEN (D) B08.4
THE USE OF SELECTED MATERIALS TO PROVIDE SENSORS WITH GOOD SENSITIVITY
TO POLLUTANT GASES IN 439 THE ENVIRONMENT P. MOSELEY, P. MCGEEHIN,
CAPTEUR SENSORS & ANALYSERS LTD., ABINGDON; D. E. WILLIAMS, UNIVERSITY
COLLEGE LONDON (UK) B08.5 DEVELOPMENT OF C0 2 SENSOR USING LANTHANUM
DOPED TIN-DIOXIDE SEMICONDUCTOR GAS SENSOR 445 M. HANADA, H. KODA, K.
ONAGA, FIS INC., OSAKA; T. ONOUCHI, MATSUSHITA SEIKO CO. LTD., KANAGAWA
(JAPAN) B09 CHEMISCHE SENSOREN II / CHEMICAL SENSORS II B09.1
INTEGRIERTE MEMBRAN-/SENSOR-MIKROSYSTEME ZUR ERHOEHUNG DER SELEKTIVITAET
VON DUENNSCHICHT- 451 HALBLEITERGASSENSOREN INTEGRATED MEMBRANE/SENSOR
MICROSYSTEMS FOR THIN FILM SEMICONDUCTOR GASSENSOR SELECTIVITY
ENHANCEMENT S. NEHLSEN, O. GOERBIG, F. KRAUS, J. MUELLER, TU
HAMBURG-HARBURG (D) B09.2 MICRO- AND MACROSCOPIC DESIGN RULES FOR
THIN-FILM SN0 2 GAS SENSORS 457 A. KRAUSS, W. GOEPEL, U. WEIMAR,
UNIVERSITAET TUEBINGEN; K. STEINER, E. WAGNER, U. HOEFER,
FRAUNHOFER-INSTITUT FUER PHYSIKALISCHE MESSTECHNIK, FREIBURG (D) B09.3
ULTRAMIKROELEKTRODEN ZUR BESTIMMUNG VON SCHWERMETALLEN UND ORGANISCHEN
SCHADSTOFFEN IN WASSER 461 ULTRAMICROELECTRODES FOR HIGH SENSITIVE
DETECTION OF TRACE METALS AND ORGANIC POLLUTANTS IN WATER R. HINTSCHE,
M. PAESCHKE, A. UHLIG, FRAUNHOFER-INSTITUT FUER SILIZIUMTECHNOLOGIE,
BERLIN (D) B09.4 EIN MASSENSPEKTROMETER ALS MIKROSYSTEM 465 A MICRO MASS
SPECTROMETER A. FEUSTEL, V. RELLING, J. MUELLER, J. SCHROEDER, TU
HAMBURG-HARBURG (D) B09.5 NEUE MATERIALIEN FUER
HOCHTEMPERATUR-GASSENSOREN 471 NEW MATERIALS FOR HIGH-TEMPERATURE GAS
SENSORS M. FLEISCHER, H. MEIXNER, SIEMENS MUENCHEN; K. BERNHARDT, SIEMENS
MATSUSHITA COMPONENTS, MUENCHEN (D) B10 CHEMISCHE SENSOREN III/CHEMICAL
SENSORS IM B10.1 C0 2 SENSOR WITH IMPROVED STABILITY 477 J. GORDON
WHITNEY, M. V. WADSWORTH, G. H. WESTPHAL, TEXAS INSTRUMENTS INC.,
VERSAILLES (USA) B10.2 ANISENTROPE SCHALLAUSBREITUNG ALS MESSEFFEKT FUER
GASSENSOREN 483 ANISENTROPIC SOUND PROPAGATION FOR GAS SENSORS F.
WAECHTER, L. ZIPSER, FH FUER TECHNIK UND WIRTSCHAFT, DRESDEN (D) B10.3
DESIGN UND REALISIERUNG EINES DIREKT BEHEIZTEN SENSORELEMENTS FUER DEN
EINSATZ IN DER GASDETEKTION 489 DESIGN AND REALISATION OF A DIRECTLY
HEATED SENSOR DEVICE FOR GAS DETECTION D. MUTSCHALL, E. OBERMEIER, TU
BERLIN (D) B10.4 INTEGRIERT-OPTISCHES VIERFACHINTERFEROMETER ZUR
KONZENTRATIONS- BZW. BRECHZAHLBESTIMMUNG 493 VON FLUESSIGKEITEN
INTEGRATED OPTICAL QUADRUPLE INTERFEROMETER TO DESTINATE THE
CONCENTRATION OR THE REFRACTIVE INDEX OF LIQUIDS N. HAASE, W. PUFE, T.
SCHUBERT, R. GOTTFRIED-GOTTFRIED, FRAUNHOFER-INSTITUT FUER
MIKROELEKTRONISCHE SCHALTUNGEN UND SYSTEME, DRESDEN (D) B10.5
STAUBSENSOR NACH DEM STREULICHTPRINZIP MIT ELEKTRONISCHER
VERSCHMUTZUNGSKOMPENSATION 499 DUST SENSOR BASED ON THE LIGHT-SCATTERING
PRINCIPLE WITH ELECTRONIC COMPENSATION OF INTERFERENCES DUE TO POLLUTION
R. CHABICOVSKY, G. KRENN, TU WIEN (A) C01 SIGNALVERARBEITUNG / SIGNAL
PROCESSING C01.1 EIN ULTRASCHALL-SENSORSYSTEM ZUR LOKALISATION,
VERMESSUNG UND IDENTIFIKATION KLEINER WERKSTUECKE 505 AN ULTRASONIC
SENSOR SYSTEM FOR LOCATION GAUGING AND RECOGNITION OF SMALL WORKPIECES
M. VOSSIEK, V. MAEGORI, SIEMENS AG, MUENCHEN; H. ERMERT, UNIVERSITAET
BOCHUM (D) 8 C01.2 ERWEITERTE FUZZY-SYSTEME MIT DATENANALYSETECHNIKEN
UND NEURONALEN NETZEN 511 ENHANCED FUZZY SYSTEMS USING DATA ANALYSIS
TECHNIQUES AND NEURAL NETWORKS C. VON ALTROCK, INFORM GMBH, AACHEN (D)
C01.3 BILDGEFUEHRTE FLAMMENREGELUNG 515 VISION-GUIDED FLAME CONTROL H.
BURKHARDT, L. OEST, W. TAO, TU HAMBURG-HARBURG (D) C01.4
GENAUIGKEITSGRENZEN DER GESCHWINDIGKEITSMESSUNG UEBER GRUND MIT
MIKROWELLEN-DOPPLER AUS 521 THEORETISCHER UND PRAKTISCHER SICHT / ERROR
LIMITS OF SPEED MEASUREMENT USING ON-BOARD DOPPLER RADAR SYSTEMS FROM A
THEORETICAL AND PRACTICAL VIEWPOINT R. SCHUBERT, M. JOPPICH, V. MAEGORI,
SIEMENS AG, MUENCHEN (D) C01.5 WALSH-TRANSFORMATION: MERKMALSAUSWAHL FUER
DIE FUZZY-PATTERN-KLASSIFIKATION 527 WALSH-TRANSFORM: FEATURE EXTRACTION
FOR FUZZY PATTERN CLASSIFICATION N. BITTERLICH, R. TOTZAUER, TU
CHEMNITZ-ZWICKAU (D) C02 IDENTIFIKATION / IDENTIFICATION C02.1 REMOTE
CONTROLLED FULLY INTEGRABLE SURFACE ACOUSTIC WAVE SENSOR 533 J.
ENDERLEIN, E. CHILLA, H.-J. FROEHLICH, J. SCHOENBERG, PAUL-DRUDE-INSTITUT,
BERLIN (D) C02.2 FUNKABFRAGESYSTEM FUER OFW-SENSOREN MIT KOHAERENTER
DEMODULATION 539 VERSATILE SYSTEM FOR REMOTE SAW SENSOR APPLICATIONS F.
SCHMIDT, O. SCZESNY, L. REINDL, V. MAEGORI, SIEMENS AG, MUENCHEN (D) C02.3
VERKEHRSERKENNUNG MIT MAGNETORESISTIVEN SENSOREN 545 TRAFFIC DETECTION
WITH MAGNETORESISTIVE SENSORS P. SCHINTAG, A. PETERSEN, M. MUTH, PHILIPS
GMBH, HAMBURG (D) C02.4 MINIATURISIERTER BAUSTEIN FUER TELEMETRIE UND
IDENTIFIKATION 551 MINIATURIZED DEVICE FOR TELEMETRY AND IDENTIFICATION
P. PEITSCH, MICRO-SENSYS GMBH, ERFURT (D) C03 BUSSYSTEME / BUS SYSTEMS
C03.1 SERIELLES SENSOR-/AKTORBUSINTERFACE AUF ZWEIDRAHTBASIS 557 SERIAL
SENSOR ACTUATOR INTERFACE OF TWO-WIRE BASE H. BEIKIRCH, HOCHSCHULE
WISMAR (D) C03.2 ICS WITH AN INTEGRATED COMMUNICATION PROTOCOL 563 R.
FRANK, MOTOROLA SEMICONDUCTOR PRODUCTS, PHOENIX (USA); C. CORDONNIER,
MOTOROLA EUROPE, GENEVA (CH) C03.3 HART - AN OPEN PROTOCOL FOR
DISTRIBUTED SENSOR APPLICATIONS 569 J. WARRIOR, ROSEMOUNT INC., EDEN
PRAIRIE (USA) C04 FORUM MICROSYSTEMS TECHNOLOGY: MICROSYSTEMS
APPLICATIONS I C04.2 SOLID POLYMER ELECTROLYTE BASED AMPEROMETRIC CARBON
MONOXIDE SENSORS 575 N. F. DE ROOIJ, P. VAN DER WAL, M. KOUDELKA-HEP,
UNIVERSITE DE NEUCHAETEL (CH) (EU PROJECT: ESPRIT 3 #6374,M 3 .GAS) C04.3
MONOLITHISCH-INTEGRIERTE SENSORSYSTEME HERGESTELLT IN CMOS-TECHNOLOGIE
581 MONOLITHICALLY INTEGRATED SENSOR SYSTEMS FABRICATED IN
CMOS-TECHNOLOGY R. GOTTFRIED-GOTTFRIED, FRAUNHOFER-INSTITUT IMSZ,
DRESDEN (D) C04.4 PROJEKTE DES FORSCHUNGSVERBUNDES FORMIKROSYS AUS DEN
BEREICHEN MEDIZINTECHNIK, 587 FERTIGUNGSAUTOMATISIERUNG UND
KRAFTFAHRZEUGTECHNIK PROJECTS OFTHE RESEARCH COOPERATIVE MICROSYSTEM
TECHNIQUE (FORMIKROSYS) IN THE FIELDS OF MEDICINE TECHNIQUE,
MANUFACTURING AUTOMATION AND MOTOR VEHICLE TECHNIQUE K. KIRSCH, M.
FUNTSCH, K. ZUERL, UNIVERSITAET ERLANGEN; G. TEMMEL, FRAUNHOFER-INSTITUT
ERLANGEN; B. FOLKMER, FRAUNHOFER-INSTITUT, MUENCHEN; I. EDERER, U. ZECH,
UNIVERSITAET MUENCHEN (D) C04.5 MICROSENSORS AND ACTUATORS BASED ON
FERROELECTRIC THIN FILMS 593 N. SETTER, P. MURALT, A. BELL, ECOLE
POLYTECHNIQUE FEDERALE DE LAUSANNE (CH) (EU PROJECT: ESPRIT 3 #6137,
FELMAS) 9 C05 FORUM MICROSYSTEMS TECHNOLOGY: MICROSYSTEMS APPLICATIONS
II C05.1 A SMART MICROSENSOR FOR THE REAL TIME COMPUTATION OF MOTION
PARAMETERS 599 G. CREANZA, TECNOPOLIS, VALENZANO (I) (EU PROJECT: ESPRIT
3 #8867, VISTA) C05.2 MINIATURISIERTES LASER-DOPPLER-VELOCIMETER FUER DIE
WEG- UND GESCHWINDIGKEITSMESSUNG AN 601 FESTEN OBERFLAECHEN MINIATURIZED
LASER-DOPPLER-VELOCIMETER FOR SPEED MEASUREMENTS OF SOLID STATE SURFACES
W. STORK, J. DRESCHER, A. KUEHNLE, T. MATTHAE, K. MUELLER-GLASER,
UNIVERSITAET KARLSRUHE; A. WAGNER, VISIONET GMBH, KARLSRUHE (D) C05.3 EIN
VOLLSTAENDIGES MIKROSYSTEM AM BEISPIEL EINES MONOLITHISCHEN
TINTENDRUCKKOPFES AUF DER 607 BASIS VON BUBBLE-JET-TECHNOLOGIE / A
MONOLITHIC INK JET PRINT HEAD ON THE BASIS OF BUBBLE JET TECHNOLOGY AS
AN EXAMPLE FOR A COMPREHENSIVE MICROSYSTEM B. BAYAT, SIEMENS AG, MUENCHEN
(D) C05.4 LOW-COST THERMOPILE INFRARED SENSOR-MODULES FOR NON-CONFACT
TEMPERATURE MEASUREMENT 613 J. SCHIEFERDECKER, M. SCHULZE, R. QUAD, A.
BEUDT, HEIMANN OPTOELECTRONICS GMBH, WIESBADEN (D) C06 FORUM
MICROSYSTEMS TECHNOLOGY: FABRICATION TECHNOLOGY C06.1 FABRICATION
TECHNOLOGY FOR MEMBRANES 619 A. TURNER, J. NEWMAN, S. WHITE; CRANFIELD
UNIVERSITY (UK) (EU PROJECTS: BIOMED BMH1-CT92-0015, MAT1-CT 94-00)
C06.2 FABRIKATIONSTECHNOLOGIEN FUER DUENNE UND DICKE SN0 2 FILMSENSOREN
625 FABRICATION TECHNOLOGIES FOR THIN AND THICK FILM SN0 2 SENSORS C.
PIJOLAT, R. LALAUZE, ECOLE NATIONALE SUPERIEURE DES MINES DE
SAINT-ETIENNE (F); J. ROGGEN, G. HUYBERECHTS, IMEC, LEUVEN (B) (EU
PROJECT: BRITE-EURAM #0193, DEMOST) C06.3 MESSTECHNISCHE ANFORDERUNGEN
BEI DER HERSTELLUNG VON SILIZIUM-MIKROSPIEGELN 631 MEASUREMENT
REQUIREMENTS FOR THE FABRICATION OF SILICON MICROMIRRORS H.-U. LOEWE, CMS
MIKROSYSTEME GMBH, CHEMNITZ; W. DOETZEL, T. GESSNER, CH. KAUFMANN, J.
MARKEN, UNIVERSITAET CHEMNITZ-ZWICKAU (D) C06.4 OPTISCHE MESSMETHODEN FUER
INTEGRIERTE SENSOREN 637 OPTICAL MEASURING METHODS FOR INTEGRATED
SENSORS V. GROSSER, FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT (IZM) BERLIN (D) C07 FORUM
MICROSYSTEMS TECHNOLOGY: DESIGN AND SIMULATION C07.1 WISSENSBASIERTES
ENTWURFSSYSTEM FUER MIKROSYSTEME 643 INTEGRATED KNOWLEDGE BASED
ENGINEERING TOOL FOR MICROSYSTEMS A. LAHRMANN, TU BERLIN (D) (EU
PROJECT: ESPRIT 3 #6874, MASS) C07.2 DESIGN UND TECHNOLOGIE METHODIK FUER
ASIS 649 DESIGN AND TECHNOLOGY METHOD FOR APPLICATION SPECIFIC
INTEGRATED SYSTEMS J. BAUSELLS, CENTRO NACIONAL DE MICROELECTRONICA,
BELLATERRA (E) (EU PROJECT: ESPRIT 3 #8756, DEMAC) C07.3 ASPEKTE DER
SIMULATION UND MODELLIERUNG MAGNETISCHER SENSORELEMENTE MIT HILFE VON
ENTWURFSUMGEBUNG 655 ASPECTS OF SIMULATION AND MODELLING OF MAGNETIC
SENSORELEMENTS WITH THE HELP OF DESIGNSOFTWARE U. HAMM, PROFI
ENGINEERING SYSTEMS GMBH, DARMSTADT (D) C08 MATERIALIEN / MATERIALS
C08.1 EINSATZ PIEZOELEKTRISCHER COMPOSITE-MATERIALIEN FUER DEN AUFBAU
LEISTUNGSFAEHIGER ULTRASCHALLSENSOREN 661 APPLICATION OF PIEZOELECTRIC
COMPOSITE MATERIALS FOR THE DESIGN OF HIGH-PERFORMANCE ULTRASONIC
SENSORS W. GEBHARDT, M. SCHNEIDER, FRAUNHOFER-INSTITUT FUER
ZERSTOERUNGSFREIE PRUEFVERFAHREN, SAARBRUECKEN (D) C08.2
GROSSSIGNALMESSUNGEN ZUR CHARAKTERISIERUNG UND OPTIMIERUNG VON
PIEZOELEKTRISCHEN HOCH- 667 UND NIEDERVOLTAKTOREN LARGE SIGNAL
MEASUREMENTS FOR THE CHARACTERIZATION OF PIEZOELECTRIC HIGH- AND
LOW-VOLTAGE ACTUATORS D. J. JENDRITZA, P. STEPHAN, P. SCHEER,
UNIVERSITAET SAARBRUECKEN (D) C08.3 FERRITE POLYMER COMPOSITES (FPC): EINE
NEUE MATERIALKLASSE FUER INDUKTIVE SENSOREN FERRITE POLYMER COMPOSITES
(FPC): A NEW MATERIAL CLASS FOR INDUCTIVE SENSORS M. ESGUERRA, SIEMENS
MATSUSHITA COMPONENTS, MUENCHEN (D) - MANUSKRIPT LAG BEI DRUCKLEGUNG
NICHT VOR - 10 C08.4 DIE CHEMISCHE EMPFINDLICHKEIT VON
ULTRA-DUENNOXIDFILMEN, HERGESTELLT MIT DER ATOMSCHICHTEPITAXIE 673
CHEMICAL SENSITIVITY OF ATOMIC LAYER EPITAXY GROWN ULTRATHIN OXIDE FILMS
Y. TARANTOV, P. BOBROV, V. DROZD, ST. PETERSBURG UNIVERSITY (GUS); J.
AARIK, TARTU UNIVERSITY (EST) C08.5 USE OF RAYLEIGH WAVES IN
NON-PIEZOELECTRIC MEDIA GENERATED WITH P(VF2-VF3) FILM, TO PRESSURE 679
VARIATION DETECTION M. DALI-ALI, P. BENECH, J. PERRIER, UNIVERSITE
JOSEPH FOURIER, GRENOBLE (F) C09 MONTAGE UND GEHAEUSUNG / ASSEMBLY AND
PACKAGING C09.1 PACKAGING TECHNOLOGY FOR LOW-COST MEDIA ISOLATED
PRESSURE SENSORS 685 K. RYAN, J. BRYZEK, LUCAS NOVASENSOR, FREMONT (USA)
C09.2 NEUE VERGUSSMASSEN UND SCHUTZLACKE FUER DIE SENSORIK 691 NEW CASTING
COMPOUNDS AND CONFORMAL COATINGS FOR SENSOR TECHNOLOGY A. KAHNERT,
LACKWERKE PETERS GMBH, KEMPEN (D) C09.3 HOCHAUTOMATISIERTE MONTAGE VON
SENSOREN IM 4-SEKUNDEN-TAKT 697 HIGHLY AUTOMATED ASSEMBLY OF SENSORS IN
A 4-SECOND TACT TIME U. RENZ, ROTH-TECHNIK GMBH, GAGGENAU (D) C09.4
GLASDURCHFUEHRUNGEN FUER SENSOREN 703 GLASS TO METAL SEALS FOR SENSOR
APPLICATIONS H. WOLF, ELECTROVAC GMBH, KLOSTERNEUBURG (A) C10 AKTUATOREN
/ ACTUATORS C10.1 THE EFFECT OF CERAMIC MICROSTRUCTURE ON THE PROPERTIES
AND DURABILITY OF MULTILAYER ACTUATORS 709 B. ANDERSEN, E. RINGGARD,
FERROPERM A/S, KVISTGARD (DK) C10.2 A NEW MICROMACHINED DISC TYPE MOTOR
715 D. TAGHEZOUT, ETA SA., GRENCHEN (CH) C10.3 STROEMUNGSUNTERSUCHUNGEN
VON MIKROPUMPEN 721 FLOW INVESTIGATIONS OF MICROPUMPS H. DUETSCH, A.
MELLING, M. WECLAS, UNIVERSITAET ERLANGEN (D) C10.4 EINE BIDIREKTIONAL
ARBEITENDE MIKROPUMPE AUS SILIZIUM 727 A BIDIRECTIONAL SILICON MICROPUMP
R. ZENGERLE, S. KLUGE, M. RICHTER, A. RICHTER, FRAUNHOFER-INSTITUT FUER
FESTKOERPERTECHNOLOGIE, MUENCHEN (D) C10.5 LECKAGEDIAGNOSEPUMPE - EINE
INTELLIGENTE KOMBINATION VON EINFACHEN KOMPONENTEN FUEHRT 733 ZU EINEM
SENSITIVEN MESSINSTRUMENT FUER LECKAGE IN TANKSYSTEMEN LEAK DETECTION PUMP
- AN INTELLIGENT COMBINATION OF SIMPLE COMPONENTS LEADS TO A SENSITIVE
MEASUREMENT OF LEAKAGES IN TANKSYSTEMS M. CONSTIEN, SIEMENS AG,
REGENSBURG (D) D MARKETING D01.1 INTELLIGENT SENSORS AND THE TREND
TOWARDS MICROSYSTEMS: A COMPARISON OF EUROPEAN INDUSTRIAL 739 STRUCTURES
AND MARKETS U. BRASCHE, O. PFIRRMANN, VDI/VDE-IT TELTOW (D); H. RAVE,
CME, VEENENDAAL (NL) D01.2 MODERNISATION THROUGH SENSORS, ACTUATORS AND
MICROSYSTEMS: PUBLIC PROGRAMMES AND INDUSTRIAL 743 INNOVATION IN GERMANY
O. PFIRRMANN, P. SONNTAG, R. ESCHENBACH, VDI/VDE-IT TELTOW (D) P1
PHYSIKALISCHE SENSOREN / PHYSICAL SENSORS P1.01 MASSENDURCHFLUSS-SENSOR
FUER LUFTGEFOERDERTE GRANULATE 749 MASS FLOW SENSOR FOR GRANULES IN AIR
CONVEYORS M. SENNING, HELBING TECHNIK, WIL (CH) P1.02 DURCHFLUSSSENSOR
FUER KLEINSTE FLUESSIGKEITSMENGEN BASIEREND AUF EINER DRUCKMESSUNG 753
FLOWSENSOR FOR SMALL LIQUID FLOW RATES BASED ON A PRESSURE MEASUREMENT
G. SCHNELL, TECHNISCHE HOCHSCHULE DARMSTADT (D) 11 P1.03
LASERTRIANGULATIONSSENSOREN IN DER AUTOMATISIERTEN QUALITAETSUEBERWACHUNG
- MOEGLICHKEITEN UND GRENZEN 757 APPLICATION OF
LASER-TRIANGULATION-SENSORS IN THE AUTOMATICAL QUALITY CONTROL 0.
SCHWAB, H. LORSCHEIDER, FACHHOCHSCHULE MUENCHEN (D); Z.-Y. FANG,
TSING-HUA UNIVERSITAET, BEIJING (CHINA) P1.04 DOPPLER GLOBAL VELOCIMETRY
METHODS AND APPLICATIONS 761 C. CASPERSEN, DANTEC MEASUREMENT TECHNOLOGY
A/S, SKOVLUNDE (DK) P1.05 SELBSTKALIBRIERENDE THERMOELEMENTE FUER
INDUSTRIELLE ANWENDUNGEN 763 SELFCALIBRATING THERMOCOUPLES FOR
INDUSTRIAL APPLICATIONS H. LEHMANN, F. BERNHARD, TU ILMENAU (D) P1.06
TIEFTEMPERATUR-RIE FUER DIE MIKROSTRUKTURIERUNG VON ORGANISCHEN UND
ANORGANISCHEN 767 DUENNEN SCHICHTEN FUER SENSORANWENDUNGEN LOW TEMPERATURE
HIE FOR MICROFABHCATION OF ORGANIC AND INORGANIC THIN FILMS FOR SENSOR
APPLICATIONS R. PECHMANN, W. MORGENROTH, W. BRODKORB, J. M. KOEHLER,
INSTITUT FUER PHYSIKALISCHE HOCHTECHNOLOGIE, JENA (D) P1.07 ERREICHBARE
MESSGENAUIGKEITEN MIT PIEZORESISTIVEN SENSOREN 771 ATTAINABLE ACCURACY OF
PIEZORESISTIVE SENSORS K. SAGER, G. GERLACH, A. NAKLADAL, A. SCHROTH, TU
DRESDEN (D) P1.08 PIEZOELEKTRISCHE QUARZ-RESONATOREN FUER EINEN OPTISCHEN
SPANNUNGSSENSOR 775 PIEZOELECTRIC QUARTZ RESONATORS FOR AN OPTICAL
VOLTAGE SENSOR P. BAUERSCHMIDT, SIEMENS AG, ERLANGEN (D); R. LERCH,
UNIVERSITAET LINZ (A) P1.09 STRUKTURIERUNG VON OBERFLAECHEN DURCH
EXCIMERLASER-MIKROBEARBEITUNG 779 MICROSTRUCTURING OF SURFACES BY
EXCIMER LASER MACHINING K. ZIMMER, F. BIGL, INSTITUT FUER
OBERFLAECHENMODIFIZIERUNG E.V., LEIPZIG (D) P1.10 DIE
RASTER-THERMOSPANNUNGSSONDE - EINE METHODE ZUR ZERSTOERUNGSFREIEN
BESTIMMUNG 783 VON KONZENTRATIONSVERTEILUNGEN IN HALBLEITERN UND
METALLEN SCANNING THERMO-PROBE TECHNIQUE AS A NON-DESTRUCTIVE MEASURING
METHOD FOR THE DETERMINATION OF CONCENTRATION DISTRIBUTIONS IN
SEMICONDUCTORS AND METALS P. REINSHAUS, H. SUESSMANN, A. SCHUCK, T.
DIETRICH, MARTIN-LUTHER-UNIVERSITAET, HALLE (D) P1.11 LOW POWER SENSING
SYSTEMS 787 J. P. BARDYN, CENTRE SUISSE D ELECTRONIQUE ET DE
MICROTECHNIQUE S.A., NEUCHAETEL (CH) P1.12 NEIGUNGSMESSMODUL 791
DECLINATION MEASURING MODUL 1. NIKOLOV, D. DITSCHEV, TU GABROVO (BG)
P1.13 BESTIMMUNG VON WERKSTUECKPARAMETERN MIT HILFE VEKTORIELL
ANGEORDNETER BASISSENSOREN 795 DETERMINATION OF WORKPIECE PARAMETERS
WITH VECTORIAL PLACED BASE SENSORS U. SCHOENHERR, J. ZELLER, UNIVERSITAET
ERLANGEN (D) P1.14 VISKOSITAETS-DICHTE-SENSOR AUF DER BASIS DER
QUARZMIKROWAAGE 799 VISCOSITY-DENSITY-SENSOR BASED ON QUARTZMICROBALANCE
A. KNEZEVIC, W. RUMPIER, H.-D. LIESS, UNIVERSITAET DER BUNDESWEHR MUENCHEN
(D) P1.15 ROHRNAHTORIENTIERUNGSGERAET RONOG/4 - DIE AUTOMATISIERUNG DER
ORIENTIERUNG VON 803 ROHRSCHWEISSNAEHTEN VOR KRITISCHEN
BEARBEITUNGSSCHRITTEN RONOG/4 - A DEVICE FOR THE AUTOMATIC DETECTION OF
TUBE SEAMS PRIOR TO CRITICAL STEPS IN MANUFACTURING R. RUSS,
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT STUTTGART (D) P2 CHEMISCHE UND BIOLOGISCHE
SENSOREN / CHEMICAL AND BIOLOGICAL SENSORS P2.01 DIE MIKROPLASMAZELLE -
EIN NEUER GASDETEKTOR FUER EINEN INTEGRIERTEN GASCHROMATOGRAPHEN 805 A
MICRO-PLASMA-CELL - A NEW GAS DETECTOR FOR AN INTEGRATED GAS
CHROMATOGRAPH V. RELLING, T. WILKENING, J. MUELLER, TU HAMBURG-HARBURG
(D) P2.02 NACHWEIS VON PESTIZIDRUECKSTAENDEN IN TABAK MIT NICHT MARKIERTEN
PESTIZIDEN MITTELS ANTIKOERPER-BIOSENSOREN 809 THE DETECTION OF PESTICIDE
RESIDUES IN TOBACCO BY LABEL-FREE ANTIBODY-BASED BIOSENSORS V. WAGNER,
G. BINDLER, F. GADANI, PHILIP MORRIS EUROPE S.A., NEUCHAETEL (CH) P2.03
DETEKTION VON ORGANISCHEN LOESUNGSMITTELN MIT SUPRAMOLEKULAREN SENSOREN -
VERBESSERUNG 813 DER SELEKTIVITAET MITTELS MUSTERERKENNUNG UND SPEZIELLER
WIRT-GEOMETRIEN DETECTION OF ORGANIC SOLVENTS WITH SUPRAMOLECULAR
SENSORS - ENHANCEMENT OF SELECTIVITY WITH THE AID OF PATTERN RECOGNITION
AND EXTENDED HOST GEOMETRIES F. DICKEN, M. KEPPLER, H. REIF, M. REIF, S.
THIERER, UNIVERSITAET WIEN (A); W. BULST, G. FISCHERAUER, U. KNAUER,
SIEMENS AG, MUENCHEN (D) P2.04 UNTERSUCHUNGEN ZU MEHR-PARAMETER-SENSOREN
IN ELEKTROLYTISCHEN LOESUNGEN NACH IMPEDANZ- 817 SPEKTROSKOPISCHER
METHODE INVESTIGATIONS TO MULTI-PARAMETER SENSORS IN ELECTROLYTIC
SOLUTIONS BY IMPEDANCE SPECTROSCOPIC METHODS T. KNUTZ, UNIVERSITAET KIEL
(D) 12 P2.05 DESIGN VON DREIDIMENSIONALEN INTERDIGITALELEKTRODEN FUER DIE
FLUESSIGKEITSANALYSE AUF BASIS EINER 821 KAPAZITAETS- UND LEITWERTSMESSUNG
DESIGN OF THREE-DIMENSIONAL INTERDIGITATED ELECTRODES FOR LIQUID
ANALYSIS BY MEASURING CAPACITANCE AND CONDUC- TANCE T. HOFMANN, K.
SCHROEDER, J. ZACHEJA, J. BINDER, UNIVERSITAET BREMEN (D) P2.06 AUFBAU
EINES HYDROCHINON- UND PHENOLSENSORS AUF DER BASIS EINER
AMPEROMETRISCHEN 825 SAUERSTOFFELEKTRODE UND AZOTOBACTER SPECIES /
CONSTRUCTION OF A HYDROQUINONE AND PHENOL SENSOR BASING ON AN
AMPEROMETRIC OXYGEN ELECTRODE AND AZOTOBACTER SPECIES M. REISS, J.
METZGER, W. HARTMEIER, RWTH AACHEN (D) P2.07 QUEREMPFINDLICHKEITEN
ELEKTROCHEMISCHER GASSENSOREN - METHODEN ZUR VERRINGERUNG UND
ELIMINIERUNG 829 CROSS-SENSITIVITIES OF ELECTROCHEMICAL GAS SENSORS -
METHODS OF REDUCTION AND ELIMINATION S. VAIHINGER, W. BYTYN, ENDRESS +
HAUSER GASTEC GMBH, GERUNGEN (D) P2.08 ZRO -RAUCHGASSONDE ZUR
VERBRENNUNGSKONTROLLE IN HAUSFEUERUNGEN 833 ZRO-FLUE GAS SENSOR FOR
COMBUSTION CONTROL IN DOMESTIC BURNER SYSTEMS A. VOGEL, G. BAIER, ASEA
BROWN BOVERI AG, HEIDELBERG; A. GAERTNER, D. WAGNER, LANDESUMWELTAMT NRW,
ESSEN (D) P2.09 VERBESSERUNG DER REPRODUZIERBARKEIT DES SIGNALS VON SN0
2 GASSENSOREN DURCH KALIBRIERUNG 837 IMPROVEMENT OF REPRODUCIBILITY OF
SNOFIAS SENSORS RESPONSE BY CALIBRATION B. HIVERT, D. HAUDEN, C.N.R.S.
BESANCON; P. MIELLE, G. MAUVAIS, I.N.R.A., DIJON; J. HENRIOUD,
E.N.S.M.M., BESANCON (F) P2.10 INDIUM OXIDE COATED SURFACE ACOUSTIC WAVE
SENSOR FOR OZONE MONITORING W. WLODARSKI, P. A. BANDA, ROYAL MELBOURNE
INSTITUTE OF TECHNOLOGY, MELBOURNE (AUS) - MANUSKRIPT LAG BEI
DRUCKLEGUNG NICHT VOR - P2.11 ALKYLGUANIDINE ALS BASIS FUER
NITRATSENSOREN 841 ALKYLGUANIDINES AS A BASE FOR NITRATE ION SENSORS R.
HAYESSEN. V. MIRSKY, K. HECKMANN, UNIVERSITAET REGENSBURG (D) P2.12
FORTSCHRITTE DER CHEMISCHEN SENSORIK MIT ZR0 2 - FESTELEKTROLYTEN DURCH
THERMODYNAMISCH 845 FUNDIERTE RECHENTECHNISCHE SIGNALAUSWERTEVERFAHREN
PROGRESS IN CHEMICAL SENSORICS WITH ZROE 2 SOLID ELECTROLYTES BY
THERMODYNAMICAL FOUNDED COMPUTER SUPPORTED METHODS OF SIGNAL ANALYSIS H.
MOEBIUS, ERNST-MORITZ-ARNDT-UNIVERSITAET, GREIFSWALD; W. KLINGNER, ZIROX
GMBH, GREIFSWALD; E. HARTMANN, GO-MESSTECHNIK, GREIFSWALD (D) P2.13
BIOSENSOREN FUER GLUCOSE - ANWENDUNG IN VIVO 941 BIOSENSORS FOR GLUCOSE -
APPLICATION IN VIVO P. ABEL, T. VON WOEDTKE, E. J. FREYSE, A. SCHWOCK,
K. SCHROEDER, K. ASSMUS, U. FISCHER, INSTITUT FUER DIABETES DER UNIVERSITAET
GREIFSWALD (D) P2.14 DEVELOPMENT OF CO AND METHANE SENSOR IN A SINGLE
ELEMENT WITH LOW POWER CONSUMPTION 849 K. TANAKA, T. MATSUMOTO, M. ITO,
FIS INC., OSAKA (JAPAN) P2.15 PULSOXYMETER ZUR BESTIMMUNG DER
HAEMOGLOBIN-DERIVATE 853 MEASUREMENT OF HEMOGLOBIN DERIVATES BY MEANS OF
ENHANCED PULSE OXYMETRY K. ZUERL, B. MANZKE, F. ZOBEL. J. SCHWIDER, N.
LUTTER, K. ENGELHARDT, UNIVERSITAET ERLANGEN (D) P2.16 WORK-OUT OF A
FIBRE OPTIC FLUORSENSOR FOR DETERMINATION OF OXYGEN IN SEAWATER 857
J.-F. GOUIN, F. BAROS, J. C. ANDRE, CNRS, NANCY; D. BIROT, IFREMER
CENTRE DE BREST, PLOUZANE (F) P2.17 INTELLIGENTE
SILIZIUM-TAUPUNKTSENSOREN ALS KOSTENGUENSTIGES BEISPIEL FUER
SILIZIUMINTEGRIERTE 861 SENSORIK IN CMOS-LSI-TECHNOLOGIEN A. STEINKE, D.
HOFMANN, B. MARCH, CIS ERFURT; D. HEINZE, TU ILMENAU; H. HANSCH, IL
METRONIC SENSORTECHNIK GMBH, ILMENAU (D) P2.18 EINFLUSS DER LUFTFEUCHTE
AUF DAS NIR-TRANSMISSIONSSPEKTRUM VON HCS-LICHTWELLENLEITERN 865
INFLUENCE OF HUMIDITY ON THE NEAR-INFRARED TRANSMITTANCE OF OPTICAL
HCS-FIBRES R. EBERL, J. WILKE, FACHHOCHSCHULE ANHALT, KOETHEN (D) P2.19
THE PHYSIOCONTROL-MICROSYSTEM: DEVELOPMENT AND CHARACTERIZATION OF
CELLULAR BIOSENSORS 869 E. WAGNER, G. SULZ, FRAUNHOFER-INSTITUT FUER
PHYSIKALISCHE MESSTECHNIK, FREIBURG; B. WOLF, W. BAUMANN, M. BRISCHWEIN,
R. EHRET, UNIVERSITAET FREIBURG; P. SEIDEL, PTS FREIBURG; W. OELSSNER,
FORSCHUNGSINSTITUT KURT SCHWABE , MEINSBERG; U. SIEBEN, ITT INDUSTRIES
CORP. FREIBURG (D) P3 SIGNALVERARBEITUNG UND SIMULATION / SIGNAL
PROCESSING AND SIMULATION P3.01 GENERAL ERROR FUNCTION OF
SYNTHETIC-HETERODYNE SIGNAL PROCESSING OF INTERFEROMETRIC FIBRE OPTIC
SENSORS 873 A. B. LOBO RIBEIRO, INESC CENTRO DE OPTOELECTROENICA, PORTO;
J. L. SANTOS, UNIVERSITAET PORTO (P); R. F. CALEYA, UNIVERSITAET
POLITECNICA MADRID (E) 13 P3.02 PARAMETRISCHE IDENTIFIZIERUNG DES
SENSOREN, DER DEM PT-100 RESISTIVEN TEMPERATURKONVERTER ENTSPRICHT 877
PARAMETER IDENTIFICATION OF SENSOR CORRESPONDING TO RESISTANCE
TEMPERATURE DETECTOR PT-100 N. DAMEAN, TU LASI (RO) P3.03 VERFAHREN ZUR
VERBESSERUNG DES SIGNAL-RAUSCH-ABSTANDES AKUSTISCHER SENSOREN 881 METHOD
FOR IMPROVING SIGNAL-NOISE RATIO OF ULTRASONIC SENSORS H. ENGE, W.
MANTHEY, TECHNISCHE UNIVERSITAET CHEMNITZ-ZWICKAU (D) P3.04 FOSSIL - EIN
INTELLIGENTER FASEROPTISCHER STREULICHTSENSOR MIT INTEGRIERTER
LASERLICHTQUELLE 885 FOSSIL - AN INTELLIGENT FIBER OPTIC STRAY LIGHT
SENSOR SYSTEM WITH INTEGRATED LASER SOURCE H. ROTHE, A. KASPER,
UNIVERSITAET DER BUNDESWEHR HAMBURG (D) P3.05 KOMPENSATION VON LINEAREN
UND NICHTIINEAREN SENSORVERZERRUNGEN DURCH DIGITALE NACHBEARBEITUNG 889
COMPENSATION OF LINEAR AND NONLINEAR SENSOR DISTORTIONS BY DIGITAL POST
PROCESSING W. FRANK, UNIVERSITAET DER BUNDESWEHR MUENCHEN (D) P3.06
ANWENDUNG DER MEHRKANALPYROMETRIE ZUR BESTIMMUNG DYNAMISCHER
TEMPERATURVERTEILUNGEN IM 893 GLASVOLUMEN UND ZUR TEMPERATURMESSUNG BEIM
ALUMINIUMSTRANGPRESSEN APPLICATION OF MULTI-WAVELENGTH PYROMETRY FOR
MEASUREMENT OF THE DYNAMIC TEMPERATURE DISTRIBUTION IN GLASS AND FOR
TEMPERATURE MEASUREMENT IN ALUMINIUM EXTRUDERS CH. SCHIEWE, ULTRAKUST
INFRA SENSOR GMBH, MAGDEBURG (D) P3.07 PROCESS MEASUREMENT BASED ON
LOCAL INTEGRAL SAMPLING 897 M. VAN DER LAAN, UNIVERSITY OF GRONINGEN
(NL); W. A. HALANG, FERN-UNIVERSITAET HAGEN (D) P3.08 MODELLING OF
OPTO-ELECTRONIC MICROSYSTEMS FOR SYSTEM SIMULATION 901 S. WUENSCHE, P.
SCHWARZ, P. SCHNEIDER, FRAUNHOFER-INSTITUT FUER INTEGRIERTE SCHALTUNGEN
(IIS), DRESDEN (D) P3.09 ONLINE DATENERFASSUNG UND AUSWERTUNG MIT
SENSORSYSTEMEN FUER MECHANISCHE GROESSEN 905 ON-LINE DATA ACQUISITION AND
ANALYSIS WITH SENSOR SYSTEMS FOR MECHANICAL QUANTITIES M. WAGNER,
HOTTINGER BALDWIN MESSTECHNIK GMBH, DARMSTADT (D) P3.10 ISIBUS - EINE
WIRKSAME NEUE PHYSIKALISCHE SCHICHTE FUER FIELDBUS 909 ISIBUS - A
POWERFUL NEW PHYSICAL LAYER FOR FIELDBUS H. LANDET, FIELDBUS
INTERNATIONAL AS, OSLO; B. RAAD, SINTEF, OSLO (N) P3.11 MICROMACHINED
LIQUID FLOW METER BASED ON THE KINETIC PRESSURE 913 H.-J. SCHMIDT, M.
GEBHARD, D. BAUER, M, WIESELER, W. BENECKE, UNIVERSITAET BREMEN (D) P3.12
LERNFAEHIGES MULTISENSORSYSTEM ZUR ZUSTANDSANALYSE MIT TRENDERKENNUNG 917
LEARNING MULTI-SENSOR-SYSTEM AND TREND RECOGNITION FOR STATE ANALYSIS M.
WINTERSTEIN, B. ADLER, BUNA GMBH, MERSEBURG; G. BRUECKNER, PH ERFURT (D)
P3.13 SCHNELLE 3D-STRUKTURESTIMATION AUS BILDFOLGEN EINER CCD-KAMERA 921
FAST 3-D STRUCTURE ESTIMATION USING IMAGE SEQUENCES OF A CCD CAMERA R.
OTTERBACH, S. OSTERTAG, UNIVERSITAET-GH-SIEGEN (D) P3.14 IM WERKZEUG
INTEGRIERTER ACOUSTIC EMISSION SENSOR ZUR IN-PROZESS-MESSUNG BEIM
ZERSPANEN 925 IM MHZ-BEREICH IN-TOOL ACOUSTIC EMISSION SENSOR AS CUTTING
MONITOR IN THE MHZ-RANGE A. KIRCHHEIM, C. CAVALLONI, KISTLER INSTRUMENTE
AG, WINTERTHUR; C. SCHEER, W. HUNDT, ETH ZUERICH (CH) P3.15
WIRBELSTROMPRUEFUNG AN STAHLBETON MIT BILDVERARBEITUNG 929 EDDY CURRENT
TESTING OF REINFORCED CONCRET BY IMAGE PROCESSING W. RICKEN, W.-J.
BECKER, G. MEHLHORN, UNIVERSITAET KASSEL (D) P3.16 NUMERICAL MODELLING OF
ELECTRO-THERMO-MECHANICAL ACTUATORS 933 H. SCHWARZENBACH, N. SPINIELLO,
NUMERICAL MODELLING GMBH, THALWIL; M. ROOS, E. ANDERHEGGEN, ETH SWISS
FEDERAL INSTITUTE OF TECHNOLOGY; R. NAEF, TWI TECHNIKUM WINTERTHUR (CH)
P3.17 BESTIMMUNG VON VERBRENNUNGSGASEN DURCH EINE SENSORANORDNUNG UNTER
ZUHILFENAHME 937 VON EINEM DDC ALGORITHMUS DETECTION OF EXHAUST
EMISSIONS BY AN ARRAY OF SENSORS IN COMBINATION WITH THE DDC ALGORITHM
P. VAN GELOVEN, HERAEUS ELECTRO-NITE, HOUTHALEN (B) 14 *
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Inhaltsverzeichnis
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