Die Rolle von Ionen und Radikalen bei der plasmagestützten Abscheidung amorpher wasserstoffhaltiger Kohlenstoffschichten: = The role of ions and radicals in plasma enhanced deposition of amorphous hydrogenated carbon films
Gespeichert in:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Garching bei München
Max-Planck-Inst. für Plasmaphysik
1995
|
| Schriftenreihe: | Max-Planck-Institut für Plasmaphysik <Garching, München>: [IPP-Bericht / 9]
106 |
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INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
1
1.1
AMORPHE
WASSERSTOFFHALTIGE
KOHLENSTOFFSCHICHTEN
.
1
1.2
BESCHICHTUNGSVERFAHREN
.
3
1.3
IONEN
UND
RADIKALE
IN
NIEDERDRUCK-GASENTLADUNGEN
.
4
2
GRUNDLAGEN
ZUR
GASENTLADUNG
8
2.1
PHYSIKALISCHE
GRUNDLAGEN
DES
PLASMAS
.
8
2.1.1
CHARAKTERISIERUNG
UND
KLASSIFIZIERUNG
VON
GASENTLADUNGEN
.
8
2.1.2
DIE
PLASMARANDSCHICHT
.
10
2.2
GLEICHSPANNUNGS-GLIMMENTLADUNGEN
.
11
2.2.1
ERZEUGUNG
UND
CHARAKTERISTISCHE
MERKMALE
EINER
DC-ENTLADUNG
.
11
2.2.2
VERGLEICH
MIT
ANDEREN
NIEDERDRUCK-ENTLADUNGSTYPEN
.
16
2.2.3
TEILCHENENERGIE
UND
WINKELVERTEILUNGEN
AN
DER
KATHODE
.
17
2.2.4
LON-MOLEKUEL-STOESSE
IN
DER
RANDSCHICHT
VON
METHAN-ENTLADUNGEN
.
22
3
DEPOSITIONSMODELLE
30
3.1
PROZESSE
IM
ENTLADUNGSVOLUMEN
.
31
3.1.1
ELEKTRONENSTOSS-INDUZIERTE
PROZESSE
.
31
3.1.2
PLASMACHEMIE
.
32
3.1.3
TEILCHENEINSCHLUSSZEITEN
.
34
3.2
OBERFLAECHENPROZESSE
.
34
3.2.1
WECHSELWIRKUNG
ENERGIEREICHER
TEILCHEN
MIT
DER
SCHICHT
.
35
3.2.2
ADSORPTION
NEUTRALER
SPEZIES
.
40
3.2.3
CHEMIE
AN
DER
OBERFLAECHE
.
42
3.3
DEPOSITIONSMODELLIERUNG
.
45
3.3.1
PHYSISORPTIONS-OBERFLAECHENMODELLIERUNG
.
45
3.3.2
OBERFLAECHENMODELLIERUNG
AUF
DER
GRUNDLAGE
DIREKTER
CHEMISORPTION
.
49
4
EXPERIMENTBESCHREIBUNG
51
4.1
EXPERIMENTELLE
ANORDNUNG
.
51
4.1.1
BESCHREIBUNG
DES
GESAMTSYSTEMS
.
51
4.1.2
ENERGIE-/MASSE-ANALYSATOREN
.
53
4.1.3
DER
GEGENFELDANALYSATOR
.
57
4.2
PRINZIP
UND
DURCHFUEHRUNG
DER
MESSUNGEN
.
59
II
INHALTSVERZEICHNIS
4.2.1
ENTLADUNGSPARAMETER
DER
METHAN-GLIMMENTLADUNGEN
.
59
4.2.2
LONENFLUSSMESSUNGEN
.
60
4.2.3
MASSENSPEKTROMETRIE
MIT
DEM
HAL-ANALYSATOR
.
64
4.2.4
KONVENTIONELLE
MASSENSPEKTROMETRIE
.
65
4.2.5
LONISATIONSSCHWELLEN-MASSENSPEKTROMETRIE
.
77
4.2.6
MASSENSPEKTROMETRISCHER
NACHWEIS
SCHNELLER
NEUTRALER
.
86
4.2.7
SCHICHTCHARAKTERISIERUNG
UND
DEPOSITIONSRATEN
.
89
5
MESSERGEBNISSE
UND
DISKUSSION
95
5.1
LONENFLUESSE
AUF
DAS
SUBSTRAT
.
95
5.1.1
ZUSAMMENSETZUNG
DER
LONENFLUESSE
.
95
5.1.2
FORM
DER
LONENENERGIEVERTEILUNGEN
.
101
5.2
FLUESSE
ENERGIEREICHER
NEUTRALTEILCHEN
.
102
5.3
QUASITHERMISCHE
NEUTRALTEILCHEN
.
105
5.4
SCHICHTEIGENSCHAFTEN
.
107
5.5
DEPOSITIONSRATENBESTIMMENDE
TEILCHENFLUESSE
.
110
6
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
112
LITERATURVERZEICHNIS
116
ABBILDUNGSVERZEICHNIS
132 |
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| spelling | Lange, Klaus Verfasser aut Die Rolle von Ionen und Radikalen bei der plasmagestützten Abscheidung amorpher wasserstoffhaltiger Kohlenstoffschichten = The role of ions and radicals in plasma enhanced deposition of amorphous hydrogenated carbon films Klaus Lange The role of ions and radicals in plasma enhanced deposition of amorphous hydrogenated carbon films Garching bei München Max-Planck-Inst. für Plasmaphysik 1995 133 S. graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Max-Planck-Institut für Plasmaphysik <Garching, München>: [IPP-Bericht / 9] 106 Zugl.: München, Univ., Diss., 1995 Amorpher Zustand (DE-588)4306087-0 gnd rswk-swf Radikal Chemie (DE-588)4076475-8 gnd rswk-swf Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd rswk-swf Ion (DE-588)4027597-8 gnd rswk-swf Kohlenstoff (DE-588)4164538-8 gnd rswk-swf Massenspektrometrie (DE-588)4037882-2 gnd rswk-swf Wasserstoff (DE-588)4064784-5 gnd rswk-swf PECVD-Verfahren (DE-588)4267316-1 gnd rswk-swf 1\p (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Kohlenstoff (DE-588)4164538-8 s Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 s Wasserstoff (DE-588)4064784-5 s PECVD-Verfahren (DE-588)4267316-1 s Ion (DE-588)4027597-8 s Radikal Chemie (DE-588)4076475-8 s 2\p DE-604 Amorpher Zustand (DE-588)4306087-0 s Massenspektrometrie (DE-588)4037882-2 s 3\p DE-604 9] Max-Planck-Institut für Plasmaphysik <Garching, München>: [IPP-Bericht 106 (DE-604)BV000012837 106 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006967853&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis 1\p cgwrk 20201028 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk 2\p cgwrk 20201028 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk 3\p cgwrk 20201028 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk |
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