InGaAs-Photodetektoren für die Integration mit wellenleitenden Polymersubstraten:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Düsseldorf
VDI-Verl.
1995
|
| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 9]
209 |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | Zugl.: Braunschweig, Techn. Univ., Diss. |
| Beschreibung: | VI, 112 S. Ill., graph. Darst. |
| ISBN: | 3183209098 |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV010455285 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 19960123 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 951023s1995 gw ad|| ma|| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 945405146 |2 DE-101 | |
| 020 | |a 3183209098 |c kart. (nicht im Sortimentsbuchh.) |9 3-18-320909-8 | ||
| 035 | |a (OCoLC)75624565 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV010455285 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-91 |a DE-210 |a DE-83 | ||
| 084 | |a ELT 334d |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Klockenbrink, Ralf |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a InGaAs-Photodetektoren für die Integration mit wellenleitenden Polymersubstraten |c Ralf Klockenbrink |
| 250 | |a Als Ms. gedr. | ||
| 264 | 1 | |a Düsseldorf |b VDI-Verl. |c 1995 | |
| 300 | |a VI, 112 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 9] |v 209 | |
| 500 | |a Zugl.: Braunschweig, Techn. Univ., Diss. | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Galliumarsenid |0 (DE-588)4019155-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Photodetektor |0 (DE-588)4136941-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Substrat |g Mikroelektronik |0 (DE-588)4229622-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Indiumarsenid |0 (DE-588)4249718-8 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Polymere |0 (DE-588)4046699-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Photodetektor |0 (DE-588)4136941-5 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Indiumarsenid |0 (DE-588)4249718-8 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Galliumarsenid |0 (DE-588)4019155-2 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Polymere |0 (DE-588)4046699-1 |D s |
| 689 | 0 | 4 | |a Substrat |g Mikroelektronik |0 (DE-588)4229622-5 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 810 | 2 | |a 9] |t Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI |v 209 |w (DE-604)BV047505631 |9 209 | |
| 856 | 4 | 2 | |m HBZ Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006967586&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006967586 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804124889106350080 |
|---|---|
| adam_text | Titel: InGaAs-Photodetektoren für die Integration mit wellenleitenden Polymersubstraten
Autor: Klockenbrink, Ralf
Jahr: 1995
V Inhaltsverzeichnis 1. Einleitung 1 2. Polymerkomponenten für optische Netzwerke 4 2.1. Justierkonzept............................................ 4 2.2. Detektorkonzept .......................................... 6 2.2.1. Anforderungen an einen Detektor ......................... 7 2.2.2. Detektorkonzepte .................................... 8 2.2.3. Frequenzverhalten .................................... 11 2.2.4. Quantenwirkungsgrad.................................. 13 2.2.5. Rauschen .......................................... 14 2.2.6. Konzeptauswahl...................................... 15 3. Anisotropes Ätzen von Justierstrukturen in InP 16 3.1. Anforderungen an Justierstrukturen ............................. 16 3.1.1. Justier-V-Nut........................................ 16 3.1.2. Sollbruchnut ........................................ 17 3.2. Auswahl der Ätzlösung ..................................... 18 3.3. Prozeßsimulation von Ätzvorgängen............................. 20 3.3.1. Modell zur Konstruktion von Nutprofilen .................... 21 3.3.2. Technologie der Ätzexperimente .......................... 23 3.3.3. Maskenmaterial Titan.................................. 24 3.3.4. Maskenmaterial 1^53080^8............................. 33 4. MSM-Photodetektoren 38 4.1. Barrierenerhöhende Schichten................................. 38 4.2. Technologische Realisierung.................................. 47 4.3. Charakterisierung der Detektoren............................... 49 4.3.1. Strom-Spannungs-Charakteristik........................... 49 4.3.2. Kapazität-Spannungs-Charakteristik ........................ 51 4.3.3. Frequenzverhalten .................................... 52 4.3.4. Empfindlichkeit...................................... 61 4.3.5. Temperaturstabilität ................................... 65 4.4. Literaturvergleich ......................................... 68 5. Laterale Diffusionsdioden 70 5.1.
Technologie der Diffusionsexperimente .......................... 70 5.2. Ganzflächige Diffusion...................................... 72
vi Inhaltsverzeichnis 5.3. Flächenselektive Diffusion ................................... 76 5.4. Realisierung in Interdigitalstruktur.............................. 80 5.5. Charakterisierung.......................................... 81 6. Vergleich der realisierten Detektorkonzepte 87 6.1. Technologie ............................................. 87 6.2. Detektorkenngrößen........................................ 88 7. Integrierte Photodetektoren 92 7.1. Herstellung des Detektorchips................................. 92 7.2. Integration ins Polymersubstrat ................................ 96 8. Zusammenfassung 99 9. Literatur 102
|
| any_adam_object | 1 |
| author | Klockenbrink, Ralf |
| author_facet | Klockenbrink, Ralf |
| author_role | aut |
| author_sort | Klockenbrink, Ralf |
| author_variant | r k rk |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV010455285 |
| classification_tum | ELT 334d |
| ctrlnum | (OCoLC)75624565 (DE-599)BVBBV010455285 |
| discipline | Elektrotechnik |
| edition | Als Ms. gedr. |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>02102nam a2200493 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV010455285</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">19960123 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">951023s1995 gw ad|| ma|| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">945405146</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">3183209098</subfield><subfield code="c">kart. (nicht im Sortimentsbuchh.)</subfield><subfield code="9">3-18-320909-8</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)75624565</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV010455285</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-210</subfield><subfield code="a">DE-83</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ELT 334d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Klockenbrink, Ralf</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">InGaAs-Photodetektoren für die Integration mit wellenleitenden Polymersubstraten</subfield><subfield code="c">Ralf Klockenbrink</subfield></datafield><datafield tag="250" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Als Ms. gedr.</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Düsseldorf</subfield><subfield code="b">VDI-Verl.</subfield><subfield code="c">1995</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">VI, 112 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 9]</subfield><subfield code="v">209</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Braunschweig, Techn. Univ., Diss.</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Galliumarsenid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4019155-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Photodetektor</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136941-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Substrat</subfield><subfield code="g">Mikroelektronik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4229622-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Indiumarsenid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4249718-8</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Polymere</subfield><subfield code="0">(DE-588)4046699-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Photodetektor</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136941-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Indiumarsenid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4249718-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Galliumarsenid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4019155-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Polymere</subfield><subfield code="0">(DE-588)4046699-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="4"><subfield code="a">Substrat</subfield><subfield code="g">Mikroelektronik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4229622-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="810" ind1="2" ind2=" "><subfield code="a">9]</subfield><subfield code="t">Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI</subfield><subfield code="v">209</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV047505631</subfield><subfield code="9">209</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">HBZ Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006967586&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006967586</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV010455285 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T17:52:50Z |
| institution | BVB |
| isbn | 3183209098 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006967586 |
| oclc_num | 75624565 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM DE-210 DE-83 |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM DE-210 DE-83 |
| physical | VI, 112 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1995 |
| publishDateSearch | 1995 |
| publishDateSort | 1995 |
| publisher | VDI-Verl. |
| record_format | marc |
| series2 | Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 9] |
| spelling | Klockenbrink, Ralf Verfasser aut InGaAs-Photodetektoren für die Integration mit wellenleitenden Polymersubstraten Ralf Klockenbrink Als Ms. gedr. Düsseldorf VDI-Verl. 1995 VI, 112 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 9] 209 Zugl.: Braunschweig, Techn. Univ., Diss. Galliumarsenid (DE-588)4019155-2 gnd rswk-swf Photodetektor (DE-588)4136941-5 gnd rswk-swf Substrat Mikroelektronik (DE-588)4229622-5 gnd rswk-swf Indiumarsenid (DE-588)4249718-8 gnd rswk-swf Polymere (DE-588)4046699-1 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Photodetektor (DE-588)4136941-5 s Indiumarsenid (DE-588)4249718-8 s Galliumarsenid (DE-588)4019155-2 s Polymere (DE-588)4046699-1 s Substrat Mikroelektronik (DE-588)4229622-5 s DE-604 9] Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI 209 (DE-604)BV047505631 209 HBZ Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006967586&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Klockenbrink, Ralf InGaAs-Photodetektoren für die Integration mit wellenleitenden Polymersubstraten Galliumarsenid (DE-588)4019155-2 gnd Photodetektor (DE-588)4136941-5 gnd Substrat Mikroelektronik (DE-588)4229622-5 gnd Indiumarsenid (DE-588)4249718-8 gnd Polymere (DE-588)4046699-1 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4019155-2 (DE-588)4136941-5 (DE-588)4229622-5 (DE-588)4249718-8 (DE-588)4046699-1 (DE-588)4113937-9 |
| title | InGaAs-Photodetektoren für die Integration mit wellenleitenden Polymersubstraten |
| title_auth | InGaAs-Photodetektoren für die Integration mit wellenleitenden Polymersubstraten |
| title_exact_search | InGaAs-Photodetektoren für die Integration mit wellenleitenden Polymersubstraten |
| title_full | InGaAs-Photodetektoren für die Integration mit wellenleitenden Polymersubstraten Ralf Klockenbrink |
| title_fullStr | InGaAs-Photodetektoren für die Integration mit wellenleitenden Polymersubstraten Ralf Klockenbrink |
| title_full_unstemmed | InGaAs-Photodetektoren für die Integration mit wellenleitenden Polymersubstraten Ralf Klockenbrink |
| title_short | InGaAs-Photodetektoren für die Integration mit wellenleitenden Polymersubstraten |
| title_sort | ingaas photodetektoren fur die integration mit wellenleitenden polymersubstraten |
| topic | Galliumarsenid (DE-588)4019155-2 gnd Photodetektor (DE-588)4136941-5 gnd Substrat Mikroelektronik (DE-588)4229622-5 gnd Indiumarsenid (DE-588)4249718-8 gnd Polymere (DE-588)4046699-1 gnd |
| topic_facet | Galliumarsenid Photodetektor Substrat Mikroelektronik Indiumarsenid Polymere Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006967586&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| volume_link | (DE-604)BV047505631 |
| work_keys_str_mv | AT klockenbrinkralf ingaasphotodetektorenfurdieintegrationmitwellenleitendenpolymersubstraten |