Materialtransfer beim LPVD-Verfahren (Laserstrahlungsunterstütztes Physical-Vapour-Deposition-Verfahren):
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Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
1995
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Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
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Beschreibung: | Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1995 |
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