Tiefenaufgelöste Röntgenuntersuchungen an epitaktischen Nanometer-Schichten in Silizium:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1995
|
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | München, Univ. der Bundeswehr, Diss., 1995 |
| Beschreibung: | 4, 124 S. Ill., graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV010423787 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 19960229 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 951011s1995 gw ad|| m||| 00||| gerod | ||
| 016 | 7 | |a 94594814X |2 DE-101 | |
| 035 | |a (OCoLC)75654597 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV010423787 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-91 |a DE-12 |a DE-355 |a DE-703 |a DE-706 | ||
| 084 | |a PHY 606d |2 stub | ||
| 084 | |a PHY 696d |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Keimel, Josef |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Tiefenaufgelöste Röntgenuntersuchungen an epitaktischen Nanometer-Schichten in Silizium |c von Josef Keimel |
| 264 | 1 | |c 1995 | |
| 300 | |a 4, 124 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 500 | |a München, Univ. der Bundeswehr, Diss., 1995 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Deltadotierung |0 (DE-588)4290571-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Röntgenstrukturanalyse |0 (DE-588)4137203-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Röntgenstrahlung |0 (DE-588)4129728-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Tiefenprofilmessung |0 (DE-588)4185422-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Vergrabene Schicht |0 (DE-588)4271267-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Deltadotierung |0 (DE-588)4290571-0 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Tiefenprofilmessung |0 (DE-588)4185422-6 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Röntgenstrahlung |0 (DE-588)4129728-3 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 689 | 1 | 0 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |D s |
| 689 | 1 | 1 | |a Vergrabene Schicht |0 (DE-588)4271267-1 |D s |
| 689 | 1 | 2 | |a Deltadotierung |0 (DE-588)4290571-0 |D s |
| 689 | 1 | 3 | |a Röntgenstrukturanalyse |0 (DE-588)4137203-7 |D s |
| 689 | 1 | |5 DE-604 | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006944651 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804124854354444288 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Keimel, Josef |
| author_facet | Keimel, Josef |
| author_role | aut |
| author_sort | Keimel, Josef |
| author_variant | j k jk |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV010423787 |
| classification_tum | PHY 606d PHY 696d |
| ctrlnum | (OCoLC)75654597 (DE-599)BVBBV010423787 |
| discipline | Physik |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01855nam a2200505 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV010423787</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">19960229 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">951011s1995 gw ad|| m||| 00||| gerod</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">94594814X</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)75654597</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV010423787</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-12</subfield><subfield code="a">DE-355</subfield><subfield code="a">DE-703</subfield><subfield code="a">DE-706</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">PHY 606d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">PHY 696d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Keimel, Josef</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Tiefenaufgelöste Röntgenuntersuchungen an epitaktischen Nanometer-Schichten in Silizium</subfield><subfield code="c">von Josef Keimel</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1995</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">4, 124 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">München, Univ. der Bundeswehr, Diss., 1995</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Deltadotierung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4290571-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Röntgenstrukturanalyse</subfield><subfield code="0">(DE-588)4137203-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Röntgenstrahlung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4129728-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Tiefenprofilmessung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4185422-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Vergrabene Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4271267-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Deltadotierung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4290571-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Tiefenprofilmessung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4185422-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Röntgenstrahlung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4129728-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">Vergrabene Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4271267-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="2"><subfield code="a">Deltadotierung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4290571-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="3"><subfield code="a">Röntgenstrukturanalyse</subfield><subfield code="0">(DE-588)4137203-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006944651</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV010423787 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T17:52:17Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006944651 |
| oclc_num | 75654597 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM DE-12 DE-355 DE-BY-UBR DE-703 DE-706 |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM DE-12 DE-355 DE-BY-UBR DE-703 DE-706 |
| physical | 4, 124 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1995 |
| publishDateSearch | 1995 |
| publishDateSort | 1995 |
| record_format | marc |
| spelling | Keimel, Josef Verfasser aut Tiefenaufgelöste Röntgenuntersuchungen an epitaktischen Nanometer-Schichten in Silizium von Josef Keimel 1995 4, 124 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier München, Univ. der Bundeswehr, Diss., 1995 Deltadotierung (DE-588)4290571-0 gnd rswk-swf Silicium (DE-588)4077445-4 gnd rswk-swf Röntgenstrukturanalyse (DE-588)4137203-7 gnd rswk-swf Röntgenstrahlung (DE-588)4129728-3 gnd rswk-swf Tiefenprofilmessung (DE-588)4185422-6 gnd rswk-swf Vergrabene Schicht (DE-588)4271267-1 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Silicium (DE-588)4077445-4 s Deltadotierung (DE-588)4290571-0 s Tiefenprofilmessung (DE-588)4185422-6 s Röntgenstrahlung (DE-588)4129728-3 s DE-604 Vergrabene Schicht (DE-588)4271267-1 s Röntgenstrukturanalyse (DE-588)4137203-7 s |
| spellingShingle | Keimel, Josef Tiefenaufgelöste Röntgenuntersuchungen an epitaktischen Nanometer-Schichten in Silizium Deltadotierung (DE-588)4290571-0 gnd Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Röntgenstrukturanalyse (DE-588)4137203-7 gnd Röntgenstrahlung (DE-588)4129728-3 gnd Tiefenprofilmessung (DE-588)4185422-6 gnd Vergrabene Schicht (DE-588)4271267-1 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4290571-0 (DE-588)4077445-4 (DE-588)4137203-7 (DE-588)4129728-3 (DE-588)4185422-6 (DE-588)4271267-1 (DE-588)4113937-9 |
| title | Tiefenaufgelöste Röntgenuntersuchungen an epitaktischen Nanometer-Schichten in Silizium |
| title_auth | Tiefenaufgelöste Röntgenuntersuchungen an epitaktischen Nanometer-Schichten in Silizium |
| title_exact_search | Tiefenaufgelöste Röntgenuntersuchungen an epitaktischen Nanometer-Schichten in Silizium |
| title_full | Tiefenaufgelöste Röntgenuntersuchungen an epitaktischen Nanometer-Schichten in Silizium von Josef Keimel |
| title_fullStr | Tiefenaufgelöste Röntgenuntersuchungen an epitaktischen Nanometer-Schichten in Silizium von Josef Keimel |
| title_full_unstemmed | Tiefenaufgelöste Röntgenuntersuchungen an epitaktischen Nanometer-Schichten in Silizium von Josef Keimel |
| title_short | Tiefenaufgelöste Röntgenuntersuchungen an epitaktischen Nanometer-Schichten in Silizium |
| title_sort | tiefenaufgeloste rontgenuntersuchungen an epitaktischen nanometer schichten in silizium |
| topic | Deltadotierung (DE-588)4290571-0 gnd Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Röntgenstrukturanalyse (DE-588)4137203-7 gnd Röntgenstrahlung (DE-588)4129728-3 gnd Tiefenprofilmessung (DE-588)4185422-6 gnd Vergrabene Schicht (DE-588)4271267-1 gnd |
| topic_facet | Deltadotierung Silicium Röntgenstrukturanalyse Röntgenstrahlung Tiefenprofilmessung Vergrabene Schicht Hochschulschrift |
| work_keys_str_mv | AT keimeljosef tiefenaufgelosterontgenuntersuchungenanepitaktischennanometerschichteninsilizium |