Kalibrierung von Halbleiter-Drucksonden:
Gespeichert in:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Köln
DLR, Abt. Operative Planung
1995
|
| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Deutsche Forschungsanstalt für Luft- und Raumfahrt <Köln>: Mitteilung
1995,3 |
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| Beschreibung: | Zsfassung in engl. Sprache |
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INHALTSVERZEICHNIS
EINLEITUNG
.
6
1.
AUFBAU
EINES
PIEZORESISTIVEN
DRUCKAUFNEHMERS
.
7
2.
KALIBRIERUNG
UEBER
DRUCK
UND
TEMPERATUR
.
11
2.1
HERKOEMMLICHE
KOMPENSATION
.
12
2.2
ANGEWENDETE
KOMPENSATIONSMETHODE
.
13
3.
HYSTERESE-EINFLUSS
.
19
4.
WINKELKALIBRIERUNG
.
22
5.
ZUSAMMENFASSUNG
.
24
LITERATUR
.
25 |
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