Grundlegende Untersuchungen zur Fertigung gestufter Mikrostrukturen aus fluorierten Polymeren nach dem LIGA-Verfahren:
Gespeichert in:
| Format: | Buch |
|---|---|
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Karlsruhe
Forschungszentrum Karlsruhe
1995
|
| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte
5576 |
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| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
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INHALT
1.
EINLEITUNG
.
1
2.
HERSTELLUNG
GESTUFTER
ABFORMWERKZEUGE
NACH
DEM
LIGA-VERFAHREN
.
4
2.1
GRUNDLAGEN
DER
HERSTELLUNG
VON
LIGA-ABFORMWERKZEUGEN
.
4
2.2
FERTIGUNG
GESTUFTER
ABFORMWERKZEUGE
.
5
2.2.1
FERTIGUNGSKONZEPT
.
5
2.2.2
AUSWAHL
DES
RESISTSYSTEMS
.
7
2.2.3
VORSTRUKTURIERUNG
VON
RESISTSCHICHTEN
.
17
2.2.4
LEITFAEHIGE
BESCHICHTUNG
DER
RESISTOBERFLAECHE
.
20
2.2.5
KOMPENSATION
VON
LAGEABWEICHUNGEN.
31
2.3
DISKUSSION
.
42
3.
VAKUUMWARMUMFORMEN
VON
MIKROSTRUKTUREN
AUS
FLUORIERTEN
POLYMEREN
.
45
3.1
EIGENSCHAFTEN
FLUORIERTER
POLYMERE
.
46
3.2
BESTIMMUNG
DER
FORMSTOFFEIGENSCHAFTEN.
49
3.2.1
MESSMETHODEN
.
50
3.2.1.1
THERMOANALYSE
.
50
3.2.1.2
ZUGPRUEFUNG
.
52
3.2.2
ERGEBNISSE
.
52
3.2.2.1
THERMOANALYSE
.
53
3.2.2.2
ZUGPRUEFUNG
.
59
3.2.3
DISKUSSION
.
62
3.3
BESTIMMUNG
DER
UMFORMBEDINGUNGEN
FUER
PVDF
.
64
3.3.1
GRUNDLAGEN
UND
VERSUCHSTECHNIK
.
64
3.3.2
ERGEBNISSE
.
67
3.3.3
DISKUSSION
.
71
3.4
VORUNTERSUCHUNGEN
ZUM
VAKUUMWARMUMFORMEN
VON
PFA
.
73
4.
ABFORMUNG
GESTUFTER
MIKROSTRUKTUREN
AUS
PVDF
AM
BEISPIEL
VON
VENTILSITZSTRUKTUREN
.
76
4.1
GRUNDLAGEN
.
76
4.2
FERTIGUNG
VON
MIKROVENTILSITZEN
.
77
4.3
MESSUNGEN
DER
VENTILSITZEIGENSCHAFTEN
.
79
5.
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
.
81
A.
LITERATURVERZEICHNIS
.
88
B.
ANHANG
.
93 |
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