Optische Untersuchungen zur implantationsinduzierten Defektverteilung in III-V-Verbindungshalbleitern:
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Thesis Book |
| Language: | German |
| Published: |
1995
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Inhaltsverzeichnis |
| Physical Description: | 144 S. Ill., graph. Darst. |
Staff View
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV010396559 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 19960603 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 950926s1995 gw ad|| m||| 00||| gerod | ||
| 016 | 7 | |a 945641575 |2 DE-101 | |
| 035 | |a (OCoLC)64528788 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV010396559 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-20 |a DE-29T |a DE-12 |a DE-355 |a DE-703 |a DE-83 |a DE-11 |a DE-188 | ||
| 100 | 1 | |a Kieslich, Albrecht |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Optische Untersuchungen zur implantationsinduzierten Defektverteilung in III-V-Verbindungshalbleitern |c vorgelegt von Albrecht Kieslich |
| 264 | 1 | |c 1995 | |
| 300 | |a 144 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 502 | |a Würzburg, Univ., Diss., 1995 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Photolumineszenz |0 (DE-588)4174517-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Drei-Fünf-Halbleiter |0 (DE-588)4150649-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Lumineszenzspektroskopie |0 (DE-588)4168304-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Ionenimplantation |0 (DE-588)4027606-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Heterostruktur |0 (DE-588)4123378-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Gitterbaufehler |0 (DE-588)4125030-8 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Drei-Fünf-Halbleiter |0 (DE-588)4150649-2 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Heterostruktur |0 (DE-588)4123378-5 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 689 | 1 | 0 | |a Drei-Fünf-Halbleiter |0 (DE-588)4150649-2 |D s |
| 689 | 1 | 1 | |a Ionenimplantation |0 (DE-588)4027606-5 |D s |
| 689 | 1 | |5 DE-604 | |
| 689 | 2 | 0 | |a Drei-Fünf-Halbleiter |0 (DE-588)4150649-2 |D s |
| 689 | 2 | 1 | |a Gitterbaufehler |0 (DE-588)4125030-8 |D s |
| 689 | 2 | |5 DE-604 | |
| 689 | 3 | 0 | |a Drei-Fünf-Halbleiter |0 (DE-588)4150649-2 |D s |
| 689 | 3 | 1 | |a Lumineszenzspektroskopie |0 (DE-588)4168304-3 |D s |
| 689 | 3 | |5 DE-604 | |
| 689 | 4 | 0 | |a Drei-Fünf-Halbleiter |0 (DE-588)4150649-2 |D s |
| 689 | 4 | 1 | |a Ionenimplantation |0 (DE-588)4027606-5 |D s |
| 689 | 4 | 2 | |a Gitterbaufehler |0 (DE-588)4125030-8 |D s |
| 689 | 4 | 3 | |a Photolumineszenz |0 (DE-588)4174517-6 |D s |
| 689 | 4 | |5 DE-604 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006923621&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006923621 | |
Record in the Search Index
| _version_ | 1807323851262001152 |
|---|---|
| adam_text |
INHALTSVERZEICHNIS
1.
ZUSAMMENFASSUNG
3
2.
EINLEITUNG
7
3.
THEORETISCHE
GRUNDLAGEN
IS
3.1
WECHSELWIRKUNG
VON
IONEN
MIT
AMORPHEN
FESTKOERPERN
15
3.1.1
ABBREMSMECHANISMUS
15
3.1.2
DEFEKTGENERATION
22
3.1.3
LONGITUDINALE
UND
LATERALE
IONEN
UND
DEFEKTVERTEILUNG
25
3.2
IMPLANTATION
IN
KRISTALLINEN
FESTKOERPERN
29
3.2.1
KRISTALLSTRUKTUR
29
3.2.2
LONENCHANNELING
31
3.2.3
SIMULATION
DER
SCHAEDIGUNGSREICHWEITE
IN
EINEM
KRISTALLINEN
FESTKOERPER
34
3.2.4
AMORPHISIERUNG
38
4.
EXPERIMENTELLES
39
4.1
DER
LONENIMPLANTER
EXTRION
200-20
A2F
39
4.2
DIE
FOKUSSIERTE
LONENSTRAHLANLAGE
E-100
41
4.2.1
DIE
LONENQUELLE
43
4.2.2.
DER
BESCHLEUNIGUNGSMECHANISMUS
44
4.2.3
SCHREIB
UND
POSITIONIERGENAUIGKEIT
45
4.2.4
DAS
UHV-SYSTEM
48
S.
UNTERSUCHUNG
ZUR
TIEFENVERTEILUNG
IMPLANTATIONSINDUZIERTER
DEFEKTE
50
5.1
ALLGEMEINE
CHARAKTERISIERUNGSMETHODEN
50
5.1.1
LONENVERTEILUNG
50
5.1.2
DEFEKTVERTEILUNG
51
5.2
OPTISCHE
CHARAKTERISIERUNG
53
5.2.1
PROBENAUFBAU
53
5.2.2
PHOTOLUMINESZENZMESSPLATZ
54
5.2.3
EINZELQUANTENFILME
ALS
TIEFENAUFLOESENDE
SONDEN
55
5.2.4
EINFLUSS
VON
ANREGUNGSENERGIE
UND
-LEISTUNG
AUF
DIE
QUANTENAUSBEUTE
59
5.2.5
MODELL
ZUR
BESTIMMUNG
DES
TIEFENPROFILS
61
5.2.6
AMORPHISIERUNGSDOSIS
69
5.3
ABHAENGIGKEIT
DER
SCHAEDIGUNGSVERTEILUNG
VOM
IMPLANTATIONSWINKEL
71
5.3.1
PROBENORIENTIENMG
71
5.3.2
REKONSTRUKTION
DES
TIEFENPROFILS
72
5.3.3
ENERGIEABHAENGIGKEIT
UND
KRITISCHER
WINKEL
79
5.3.4
LONENCHANNELING
IN
GAAS,
ALGAAS
UND
INP
83
5.4
ZUSAMMENFASSUNG
DER
BISHERIGEN
ERGEBNISSE
87
6.
UNTERSUCHUNGEN
ZUR
LATERALEN
DEFEKTVERTEILUNG
88
6.1
IMPLANTATION
IN
MASKIERTE
PROBEN
88
6.1.1
MASKENPRAEPARATION
88
6.1.2
OPTISCHE
CHARAKTERISIERUNG
92
6.2
BESTIMMUNG
DER
LATERALEN
UNTERSTREUUNG
94
6.2.1
MODELLRECHNUNG
94
6.2.1
MESSUNG
DER
DIFFUSSIONSKONSTANTEN
98
6.2.3
ERGEBNISSE
100
6.3
SIMULATIONSRECHNUNG
103
7.
MASKENLOSE
IMPLANTATION
MITTELS
FOKUSSIERTER
LONENSTRAHLTECHNOLOGIE
105
7.1
GRUNDLAGEN
105
7.2
UNTERSUCHUNGEN
ZUR
HOCHAUFLOESUNG
108
7.2.1.
LONEN-SPUTTER
EXPERIMENTE
109
7.2.2.
LONENSTRAHLLITHOGRAPHIE
111
7.2.3.
BESTIMMUNG
DES
PROFILS
EINES
FOKUSSIERTEN
LONENSTRAHLS
113
7.3
MASKENLOSE
IMPLANTATION
IN
ALGAAS/GAAS-QUANTENFILMSTRUKTUREN
118
7.3.1.
IMPLANTATIONSINDUZIERTE
DURCHMISCHUNG
118
7.3.2.
LATERALES
AUFLOESUNGSVERMOEGEN
119
7.3.3.
MODELLRECHNUNG
122
7.4
AUSBLICK
128
8.
ANWENDUNGEN
131
8.1
HERSTELLUNG
VON
GALNAS/GAAS/ALGAAS-RUECKKOPPLUNGSGITTEM
131
8.2
EINSATZ
DER
LONENSTRAHLLITHOGRAPHIE
ZUR
DEFINITION
VON
MSM-DIODEN
136
LITERATUR
139 |
| any_adam_object | 1 |
| author | Kieslich, Albrecht |
| author_facet | Kieslich, Albrecht |
| author_role | aut |
| author_sort | Kieslich, Albrecht |
| author_variant | a k ak |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV010396559 |
| ctrlnum | (OCoLC)64528788 (DE-599)BVBBV010396559 |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV010396559</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">19960603</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">950926s1995 gw ad|| m||| 00||| gerod</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">945641575</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)64528788</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV010396559</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-20</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-12</subfield><subfield code="a">DE-355</subfield><subfield code="a">DE-703</subfield><subfield code="a">DE-83</subfield><subfield code="a">DE-11</subfield><subfield code="a">DE-188</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Kieslich, Albrecht</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Optische Untersuchungen zur implantationsinduzierten Defektverteilung in III-V-Verbindungshalbleitern</subfield><subfield code="c">vorgelegt von Albrecht Kieslich</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1995</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">144 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Würzburg, Univ., Diss., 1995</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Photolumineszenz</subfield><subfield code="0">(DE-588)4174517-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Drei-Fünf-Halbleiter</subfield><subfield code="0">(DE-588)4150649-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Lumineszenzspektroskopie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4168304-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Ionenimplantation</subfield><subfield code="0">(DE-588)4027606-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Heterostruktur</subfield><subfield code="0">(DE-588)4123378-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Gitterbaufehler</subfield><subfield code="0">(DE-588)4125030-8</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Drei-Fünf-Halbleiter</subfield><subfield code="0">(DE-588)4150649-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Heterostruktur</subfield><subfield code="0">(DE-588)4123378-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Drei-Fünf-Halbleiter</subfield><subfield code="0">(DE-588)4150649-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">Ionenimplantation</subfield><subfield code="0">(DE-588)4027606-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2="0"><subfield code="a">Drei-Fünf-Halbleiter</subfield><subfield code="0">(DE-588)4150649-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2="1"><subfield code="a">Gitterbaufehler</subfield><subfield code="0">(DE-588)4125030-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="3" ind2="0"><subfield code="a">Drei-Fünf-Halbleiter</subfield><subfield code="0">(DE-588)4150649-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="3" ind2="1"><subfield code="a">Lumineszenzspektroskopie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4168304-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="3" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="4" ind2="0"><subfield code="a">Drei-Fünf-Halbleiter</subfield><subfield code="0">(DE-588)4150649-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="4" ind2="1"><subfield code="a">Ionenimplantation</subfield><subfield code="0">(DE-588)4027606-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="4" ind2="2"><subfield code="a">Gitterbaufehler</subfield><subfield code="0">(DE-588)4125030-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="4" ind2="3"><subfield code="a">Photolumineszenz</subfield><subfield code="0">(DE-588)4174517-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="4" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006923621&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006923621</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV010396559 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-08-14T01:18:56Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006923621 |
| oclc_num | 64528788 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-20 DE-29T DE-12 DE-355 DE-BY-UBR DE-703 DE-83 DE-11 DE-188 |
| owner_facet | DE-20 DE-29T DE-12 DE-355 DE-BY-UBR DE-703 DE-83 DE-11 DE-188 |
| physical | 144 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1995 |
| publishDateSearch | 1995 |
| publishDateSort | 1995 |
| record_format | marc |
| spelling | Kieslich, Albrecht Verfasser aut Optische Untersuchungen zur implantationsinduzierten Defektverteilung in III-V-Verbindungshalbleitern vorgelegt von Albrecht Kieslich 1995 144 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Würzburg, Univ., Diss., 1995 Photolumineszenz (DE-588)4174517-6 gnd rswk-swf Drei-Fünf-Halbleiter (DE-588)4150649-2 gnd rswk-swf Lumineszenzspektroskopie (DE-588)4168304-3 gnd rswk-swf Ionenimplantation (DE-588)4027606-5 gnd rswk-swf Heterostruktur (DE-588)4123378-5 gnd rswk-swf Gitterbaufehler (DE-588)4125030-8 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Drei-Fünf-Halbleiter (DE-588)4150649-2 s Heterostruktur (DE-588)4123378-5 s DE-604 Ionenimplantation (DE-588)4027606-5 s Gitterbaufehler (DE-588)4125030-8 s Lumineszenzspektroskopie (DE-588)4168304-3 s Photolumineszenz (DE-588)4174517-6 s DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006923621&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Kieslich, Albrecht Optische Untersuchungen zur implantationsinduzierten Defektverteilung in III-V-Verbindungshalbleitern Photolumineszenz (DE-588)4174517-6 gnd Drei-Fünf-Halbleiter (DE-588)4150649-2 gnd Lumineszenzspektroskopie (DE-588)4168304-3 gnd Ionenimplantation (DE-588)4027606-5 gnd Heterostruktur (DE-588)4123378-5 gnd Gitterbaufehler (DE-588)4125030-8 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4174517-6 (DE-588)4150649-2 (DE-588)4168304-3 (DE-588)4027606-5 (DE-588)4123378-5 (DE-588)4125030-8 (DE-588)4113937-9 |
| title | Optische Untersuchungen zur implantationsinduzierten Defektverteilung in III-V-Verbindungshalbleitern |
| title_auth | Optische Untersuchungen zur implantationsinduzierten Defektverteilung in III-V-Verbindungshalbleitern |
| title_exact_search | Optische Untersuchungen zur implantationsinduzierten Defektverteilung in III-V-Verbindungshalbleitern |
| title_full | Optische Untersuchungen zur implantationsinduzierten Defektverteilung in III-V-Verbindungshalbleitern vorgelegt von Albrecht Kieslich |
| title_fullStr | Optische Untersuchungen zur implantationsinduzierten Defektverteilung in III-V-Verbindungshalbleitern vorgelegt von Albrecht Kieslich |
| title_full_unstemmed | Optische Untersuchungen zur implantationsinduzierten Defektverteilung in III-V-Verbindungshalbleitern vorgelegt von Albrecht Kieslich |
| title_short | Optische Untersuchungen zur implantationsinduzierten Defektverteilung in III-V-Verbindungshalbleitern |
| title_sort | optische untersuchungen zur implantationsinduzierten defektverteilung in iii v verbindungshalbleitern |
| topic | Photolumineszenz (DE-588)4174517-6 gnd Drei-Fünf-Halbleiter (DE-588)4150649-2 gnd Lumineszenzspektroskopie (DE-588)4168304-3 gnd Ionenimplantation (DE-588)4027606-5 gnd Heterostruktur (DE-588)4123378-5 gnd Gitterbaufehler (DE-588)4125030-8 gnd |
| topic_facet | Photolumineszenz Drei-Fünf-Halbleiter Lumineszenzspektroskopie Ionenimplantation Heterostruktur Gitterbaufehler Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006923621&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT kieslichalbrecht optischeuntersuchungenzurimplantationsinduziertendefektverteilunginiiivverbindungshalbleitern |