Untersuchungen zum Stofftransport bei der Galvanoformung von LIGA-Mikrostrukturen:
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Karlsruhe
Forschungszentrum Karlsruhe
1995
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| Edition: | Als Ms. gedr. |
| Series: | Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte
5594 |
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INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
.
1
2
THEORETISCHE
GRUNDLAGEN
ZU
VORGAENGEN
AN
MIKROELEKTRODEN.
5
2.1
POTENTIALBILDUNG
AN
ELEKTRODEN
.
5
2.2
STROMBELASTETE
ZELLE
.
5
2.2.1
UEBERSPANNUNGSARTEN
.
6
2.2.2
STOFFTRANSPORT
UND
GRENZSTROMDICHTE
.
7
2.2.3
GRUNDLAGEN
DER
ELEKTROLYTISCHEN
METALLABSCHEIDUNG
.
9
2.3
ELEKTROCHEMISCHE
VERFAHREN
ZUR
UNTERSUCHUNG
DER
STOFFTRANSPORTBEDINGUNGEN
AN
ELEKTRODENSYSTEMEN
.
9
2.3.1
STROMDICHTE-POTENTIAL-BEZIEHUNG
.
9
2.3.2
GRENZSTROMDICHTEMESSUNGEN
.
11
2.3.3
CHRONOAMPEROMETRIE
.
11
2.3.4
ELEKTROCHEMISCHE
IMPEDANZSPEKTROSKOPIE
.
13
2.4
ELEKTRODENSYSTEME
MIT
DEFINIERTEN
STOFFTRANSPORTBEDINGUNGEN
.
18
2.4.1
ROTIERENDE
SCHEIBENELEKTRODE
(ROATATING
DISK
ELEKTRODE,
RDE)
.
19
2.4.2
MIKROELEKTRODEN
.
20
2.4.3
ZURUECKGESETZTE
MIKROELEKTRODEN
.
21
2.5
BEDEUTUNG
DES
PH-WERTES
BEI
DER
NICKELABSCHEIDUNG
.
23
2.6
PH-WERT-MESSUNG
MIT
SB/SB
2
O
3
-ELEKTRODEN
.
24
3
BESCHREIBUNG
DER
UNTERSUCHUNGEN
AN
ZURUECKGESETZTEN
MIKROELEKTRODEN
26
3.1
ELEKTROCHEMISCHE
UNTERSUCHUNGEN
AN
ROTIERENDEN
MIKROSTRUKTURELEKTRODEN
.
26
3.1.1
ENTWICKLUNG
UND
HERSTELLUNG
DER
ELEKTRODEN
.
26
3.1.2
APPARATUR
.
28
3.1.3
REDOXELEKTROLYT
.
30
3.1.4
UNTERSUCHUNGEN
MIT
DEM
REDOXELEKTROLYTEN
.
30
3.2
PH-WERT-MESSUNG
IN
ZURUECKGESETZTEN
MIKROELEKTRODEN
.
32
3.2.1
PRINZIP
.
32
3.2.2
VORVERSUCHE
.
33
3.2.3
HERSTELLUNG
DER
ELEKTRODEN
.
33
3.2.4
VERSUCHSDURCHFUEHRUNG
.
34
4
ERGEBNISSE
UND
DISKUSSION.
36
4.1
UNTERSUCHUNGEN
AN
ROTIERENDEN
MIKROSTRUKTURELEKTRODEN
.
36
4.1.1
STROMDICHTE-POTENTIAL-UNTERSUCHUNGEN
.
36
4.1.2
BESTIMMUNG
DER
DIFFUSIONSGRENZSTROMDICHTE
AN
RME
.
37
4.1.3
VERGLEICH
VON
EXPERIMENT
UND
FEM-SIMULATION
.
39
4.1.4
DIMENSIONSLOSE
BESCHREIBUNG
DER
STOFFTRANSPORTVORGAENGE
.
40
4.1.5
CHRONOAMPEROMETRIE
.
46
4.1.6
IMPEDANZSPEKTROSKOPIE
.
50
4.2
MESSUNG
DES
PH-WERTES
WAEHREND
DER
NICKELGALVANOFORMUNG
.
56
4.2.1
ERGEBNISSE
DER
VORVERSUCHE
.
57
4.2.2
KOMPENSATION
DES
OHMSCHEN
SPANNUNGSABFALLS
.
57
4.2.3
DARSTELLUNG
DER
ERGEBNISSE
AM
BEISPIEL
YYVARIATION
DER
STROMDICHTE
"
.
58
5
CHARAKTERISIERUNG
DER
VORGAENGE
BEI
DER
GALVANOFORMUNG
VON
MIKROSTRUKTURIERTEN
SUBSTRATEN
.
62
5.1
STOFFTRANSPORTVORGAENGE
WAEHREND
DER
MIKROGALVANOFORMUNG
.
62
5.2
TRANSFER
VON
ERGEBNISSEN
MIT
DEM
REDOXELEKTROLYTEN
AUF
METALLELEKTROLYTE
.
65
5.3
UEBERTRAGBARKEIT
DER
VERHAELTNISSE
BEI
DER
MAKROSKOPISCHEN
GALVANIK
AUF
DIE
M
IKROGALVANOFORMUNG
.
65
5.4
VERGLEICH
MIT
INDUSTRIELL
EINGESETZTEN
VERFAHREN
.
66
6
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
.
72
7
LITERATURVERZEICHNIS.
75
8
LISTE
DER
SYMBOLE
UND
ABKUERZUNGEN
.
80
ANHANG
.
83 |
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