Untersuchungen zum Stofftransport bei der Galvanoformung von LIGA-Mikrostrukturen:
Gespeichert in:
| Format: | Buch |
|---|---|
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Karlsruhe
Forschungszentrum Karlsruhe
1995
|
| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte
5594 |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss. K. Leyendecker. - Zsfassung in engl. Sprache. - Reportnummer FZKA 5594 |
| Beschreibung: | 87 S. Ill., graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV010393962 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20120403 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 950925s1995 ad|| m||| 00||| gerod | ||
| 016 | 7 | |a 945384262 |2 DE-101 | |
| 035 | |a (OCoLC)75623659 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV010393962 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-12 |a DE-91 | ||
| 084 | |a ZN 4980 |0 (DE-625)157428: |2 rvk | ||
| 084 | |a FER 862d |2 stub | ||
| 084 | |a FER 792d |2 stub | ||
| 245 | 1 | 0 | |a Untersuchungen zum Stofftransport bei der Galvanoformung von LIGA-Mikrostrukturen |c K. Leyendecker ... |
| 246 | 1 | 3 | |a FZKA 5594 |
| 250 | |a Als Ms. gedr. | ||
| 264 | 1 | |a Karlsruhe |b Forschungszentrum Karlsruhe |c 1995 | |
| 300 | |a 87 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte |v 5594 | |
| 500 | |a Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss. K. Leyendecker. - Zsfassung in engl. Sprache. - Reportnummer FZKA 5594 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Stoffübertragung |0 (DE-588)4057696-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a LIGA-Verfahren |0 (DE-588)4274347-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a LIGA-Verfahren |0 (DE-588)4274347-3 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Stoffübertragung |0 (DE-588)4057696-6 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 700 | 1 | |a Leyendecker, Klaus |e Sonstige |4 oth | |
| 830 | 0 | |a Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte |v 5594 |w (DE-604)BV010181833 |9 5594 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006921435&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006921435 | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1808046600867545088 |
|---|---|
| adam_text |
INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
.
1
2
THEORETISCHE
GRUNDLAGEN
ZU
VORGAENGEN
AN
MIKROELEKTRODEN.
5
2.1
POTENTIALBILDUNG
AN
ELEKTRODEN
.
5
2.2
STROMBELASTETE
ZELLE
.
5
2.2.1
UEBERSPANNUNGSARTEN
.
6
2.2.2
STOFFTRANSPORT
UND
GRENZSTROMDICHTE
.
7
2.2.3
GRUNDLAGEN
DER
ELEKTROLYTISCHEN
METALLABSCHEIDUNG
.
9
2.3
ELEKTROCHEMISCHE
VERFAHREN
ZUR
UNTERSUCHUNG
DER
STOFFTRANSPORTBEDINGUNGEN
AN
ELEKTRODENSYSTEMEN
.
9
2.3.1
STROMDICHTE-POTENTIAL-BEZIEHUNG
.
9
2.3.2
GRENZSTROMDICHTEMESSUNGEN
.
11
2.3.3
CHRONOAMPEROMETRIE
.
11
2.3.4
ELEKTROCHEMISCHE
IMPEDANZSPEKTROSKOPIE
.
13
2.4
ELEKTRODENSYSTEME
MIT
DEFINIERTEN
STOFFTRANSPORTBEDINGUNGEN
.
18
2.4.1
ROTIERENDE
SCHEIBENELEKTRODE
(ROATATING
DISK
ELEKTRODE,
RDE)
.
19
2.4.2
MIKROELEKTRODEN
.
20
2.4.3
ZURUECKGESETZTE
MIKROELEKTRODEN
.
21
2.5
BEDEUTUNG
DES
PH-WERTES
BEI
DER
NICKELABSCHEIDUNG
.
23
2.6
PH-WERT-MESSUNG
MIT
SB/SB
2
O
3
-ELEKTRODEN
.
24
3
BESCHREIBUNG
DER
UNTERSUCHUNGEN
AN
ZURUECKGESETZTEN
MIKROELEKTRODEN
26
3.1
ELEKTROCHEMISCHE
UNTERSUCHUNGEN
AN
ROTIERENDEN
MIKROSTRUKTURELEKTRODEN
.
26
3.1.1
ENTWICKLUNG
UND
HERSTELLUNG
DER
ELEKTRODEN
.
26
3.1.2
APPARATUR
.
28
3.1.3
REDOXELEKTROLYT
.
30
3.1.4
UNTERSUCHUNGEN
MIT
DEM
REDOXELEKTROLYTEN
.
30
3.2
PH-WERT-MESSUNG
IN
ZURUECKGESETZTEN
MIKROELEKTRODEN
.
32
3.2.1
PRINZIP
.
32
3.2.2
VORVERSUCHE
.
33
3.2.3
HERSTELLUNG
DER
ELEKTRODEN
.
33
3.2.4
VERSUCHSDURCHFUEHRUNG
.
34
4
ERGEBNISSE
UND
DISKUSSION.
36
4.1
UNTERSUCHUNGEN
AN
ROTIERENDEN
MIKROSTRUKTURELEKTRODEN
.
36
4.1.1
STROMDICHTE-POTENTIAL-UNTERSUCHUNGEN
.
36
4.1.2
BESTIMMUNG
DER
DIFFUSIONSGRENZSTROMDICHTE
AN
RME
.
37
4.1.3
VERGLEICH
VON
EXPERIMENT
UND
FEM-SIMULATION
.
39
4.1.4
DIMENSIONSLOSE
BESCHREIBUNG
DER
STOFFTRANSPORTVORGAENGE
.
40
4.1.5
CHRONOAMPEROMETRIE
.
46
4.1.6
IMPEDANZSPEKTROSKOPIE
.
50
4.2
MESSUNG
DES
PH-WERTES
WAEHREND
DER
NICKELGALVANOFORMUNG
.
56
4.2.1
ERGEBNISSE
DER
VORVERSUCHE
.
57
4.2.2
KOMPENSATION
DES
OHMSCHEN
SPANNUNGSABFALLS
.
57
4.2.3
DARSTELLUNG
DER
ERGEBNISSE
AM
BEISPIEL
YYVARIATION
DER
STROMDICHTE
"
.
58
5
CHARAKTERISIERUNG
DER
VORGAENGE
BEI
DER
GALVANOFORMUNG
VON
MIKROSTRUKTURIERTEN
SUBSTRATEN
.
62
5.1
STOFFTRANSPORTVORGAENGE
WAEHREND
DER
MIKROGALVANOFORMUNG
.
62
5.2
TRANSFER
VON
ERGEBNISSEN
MIT
DEM
REDOXELEKTROLYTEN
AUF
METALLELEKTROLYTE
.
65
5.3
UEBERTRAGBARKEIT
DER
VERHAELTNISSE
BEI
DER
MAKROSKOPISCHEN
GALVANIK
AUF
DIE
M
IKROGALVANOFORMUNG
.
65
5.4
VERGLEICH
MIT
INDUSTRIELL
EINGESETZTEN
VERFAHREN
.
66
6
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
.
72
7
LITERATURVERZEICHNIS.
75
8
LISTE
DER
SYMBOLE
UND
ABKUERZUNGEN
.
80
ANHANG
.
83 |
| any_adam_object | 1 |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV010393962 |
| classification_rvk | ZN 4980 |
| classification_tum | FER 862d FER 792d |
| ctrlnum | (OCoLC)75623659 (DE-599)BVBBV010393962 |
| discipline | Fertigungstechnik Elektrotechnik / Elektronik / Nachrichtentechnik |
| edition | Als Ms. gedr. |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV010393962</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20120403</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">950925s1995 ad|| m||| 00||| gerod</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">945384262</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)75623659</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV010393962</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-12</subfield><subfield code="a">DE-91</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZN 4980</subfield><subfield code="0">(DE-625)157428:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">FER 862d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">FER 792d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Untersuchungen zum Stofftransport bei der Galvanoformung von LIGA-Mikrostrukturen</subfield><subfield code="c">K. Leyendecker ...</subfield></datafield><datafield tag="246" ind1="1" ind2="3"><subfield code="a">FZKA 5594</subfield></datafield><datafield tag="250" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Als Ms. gedr.</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Karlsruhe</subfield><subfield code="b">Forschungszentrum Karlsruhe</subfield><subfield code="c">1995</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">87 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte</subfield><subfield code="v">5594</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss. K. Leyendecker. - Zsfassung in engl. Sprache. - Reportnummer FZKA 5594</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Stoffübertragung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4057696-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">LIGA-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4274347-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">LIGA-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4274347-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Stoffübertragung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4057696-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="700" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Leyendecker, Klaus</subfield><subfield code="e">Sonstige</subfield><subfield code="4">oth</subfield></datafield><datafield tag="830" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte</subfield><subfield code="v">5594</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV010181833</subfield><subfield code="9">5594</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006921435&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006921435</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV010393962 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-08-22T00:46:43Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006921435 |
| oclc_num | 75623659 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-12 DE-91 DE-BY-TUM |
| owner_facet | DE-12 DE-91 DE-BY-TUM |
| physical | 87 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1995 |
| publishDateSearch | 1995 |
| publishDateSort | 1995 |
| publisher | Forschungszentrum Karlsruhe |
| record_format | marc |
| series | Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte |
| series2 | Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte |
| spelling | Untersuchungen zum Stofftransport bei der Galvanoformung von LIGA-Mikrostrukturen K. Leyendecker ... FZKA 5594 Als Ms. gedr. Karlsruhe Forschungszentrum Karlsruhe 1995 87 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte 5594 Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss. K. Leyendecker. - Zsfassung in engl. Sprache. - Reportnummer FZKA 5594 Stoffübertragung (DE-588)4057696-6 gnd rswk-swf LIGA-Verfahren (DE-588)4274347-3 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content LIGA-Verfahren (DE-588)4274347-3 s Stoffübertragung (DE-588)4057696-6 s DE-604 Leyendecker, Klaus Sonstige oth Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte 5594 (DE-604)BV010181833 5594 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006921435&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Untersuchungen zum Stofftransport bei der Galvanoformung von LIGA-Mikrostrukturen Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte Stoffübertragung (DE-588)4057696-6 gnd LIGA-Verfahren (DE-588)4274347-3 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4057696-6 (DE-588)4274347-3 (DE-588)4113937-9 |
| title | Untersuchungen zum Stofftransport bei der Galvanoformung von LIGA-Mikrostrukturen |
| title_alt | FZKA 5594 |
| title_auth | Untersuchungen zum Stofftransport bei der Galvanoformung von LIGA-Mikrostrukturen |
| title_exact_search | Untersuchungen zum Stofftransport bei der Galvanoformung von LIGA-Mikrostrukturen |
| title_full | Untersuchungen zum Stofftransport bei der Galvanoformung von LIGA-Mikrostrukturen K. Leyendecker ... |
| title_fullStr | Untersuchungen zum Stofftransport bei der Galvanoformung von LIGA-Mikrostrukturen K. Leyendecker ... |
| title_full_unstemmed | Untersuchungen zum Stofftransport bei der Galvanoformung von LIGA-Mikrostrukturen K. Leyendecker ... |
| title_short | Untersuchungen zum Stofftransport bei der Galvanoformung von LIGA-Mikrostrukturen |
| title_sort | untersuchungen zum stofftransport bei der galvanoformung von liga mikrostrukturen |
| topic | Stoffübertragung (DE-588)4057696-6 gnd LIGA-Verfahren (DE-588)4274347-3 gnd |
| topic_facet | Stoffübertragung LIGA-Verfahren Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006921435&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| volume_link | (DE-604)BV010181833 |
| work_keys_str_mv | AT leyendeckerklaus untersuchungenzumstofftransportbeidergalvanoformungvonligamikrostrukturen AT leyendeckerklaus fzka5594 |