Linder, C. (1993). Electromechanical polysilicon structures and micromachining processes for sensor and actuator applications.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Linder, Christian. Electromechanical Polysilicon Structures and Micromachining Processes for Sensor and Actuator Applications. 1993.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Linder, Christian. Electromechanical Polysilicon Structures and Micromachining Processes for Sensor and Actuator Applications. 1993.
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