Gassensitive elektrische Leitfähigkeitseigenschaften von WO3-Dünnschichten:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1994
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| Beschreibung: | München, Techn. Univ., Diss., 1994 |
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ZUSAMMENFASSUNG
1.
EINLEITUNG
2.
THEORIE
2.1 ALLGEMEINES
2.2 CHEMISORPTION
2.3 EIGENSCHAFTEN VON AMMONIAK
2.4 WECHSELWIRKUNG VON AMMONIAK MIT UEBERGANGSMETALLOXIDEN
2.5 EINFLUSS VON SAUERSTOFF UND AMMONIAK AUF DIE ELEKTRISCHEN
EIGENSCHAFTEN
2.6 MODELL FUER DIE KINETIK VOM WO3-NH3-SYSTEM
2.7 EINFLUSS DER SCHICHTMORPHOLOGIE
3.
EIGENSCHAFTEN VON WFL^
3.1 KRISTALLOGRAPHIE
3.2 ELEKTRONISCHE EIGENSCHAFTEN
3.3 ELEKTROCHROMIE IN WO3
3.4 ELEKTRISCHE LEITFAEHIGKEIT IN LUFT
3.5 GASSENSITIVE EIGENSCHAFTEN VON WO3
3.6 WECHSELWIRKUNG VON WO3 MIT AMMONIAK
4. PRAEPARATION DER WF
^ -PUENNSCHICHTPRNHMI
4.1 SUBSTRAT UND ELEKTRODEN
4.2 W03-DUENFTSCHICHTEN
4.2.1 HERSTELLUNGSMETHODE
4.2.2 EINFLUSS DER SPUTTER-PARAMETER AUF DIE WO3-DUENNSCHICHTEN
4.3 NACHBEHANDLUNG DER PROBEN
5. C
HARAKTERISIERUNG DER WO^UENNSCHICHTPRNHPN
5.1 ROENTGEN-DIFFRAKTOMETRIE
5.2 ROENTGEN-FLUORESZENZ-ANALYSE
5.3 AFM-UNTERSUCHUNGEN
5.3.1 PRINZIP DES ATOMIC FORCE MICROSCOPE (AFM)
5.3.2 MORPHOLOGIE DER PROBEN
6. MESSTECHNIK
6.1 GASMISCHSYSTEM ZUR CHARAKTERISIERUNG VON DUENNSCHICHTEN
6.2 MESSPLATZ ZUR BESTIMMUNG DES ANSPRECHVERHALTENS
7
* LEITFAEHIGKEIT VON WQRIN STICKSTOFF/SAUERSTOFF-CPMKRHPN
7.1 TEMPERATURABHAENGIGKEIT
7.2 EINFLUSS DER SCHICHTMORPHOLOGIE
7.3 LEITFAEHIGKEIT IN N2/02-GEMISCHEN
7.4 DISKUSSION
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
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8
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8.1 EINFLUSS DER TEMPERATUR
8.2 EINFLUSS DER AMMONIAK-KONZENTRATION
8.3 EINFLUSS DER SCHICHTDICKE
8.4 EINFLUSS DER MORPHOLOGIE
8.5 AMMONIAK-SAUERSTOFF-MISCHUNGEN
8.6 DISKUSSION
9. Q
UEREMPFINDLICHKEIT UND BINAERE
9.1 EINFLUSS VON FEUCHTE
9.2 EINFLUSS VON STICKSTOFFMONOXID
9.3 EINFLUSS VON WASSERSTOFF
10. ANSPRECHVERHALTEN IN AMMNNIAK
-SAUERSFNFF-MISCHNNGPN
10.1 MESSERGEBNISSE
10.2 DISKUSSION
65
66
67
69
71
73
77
78
79
82
86
11.
AUSBLICK
87
LITERATUR
89
92
LISTE DE
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