Modifikation von CCD-Bildsensoroberflächen zur Steigerung des Höhenauflösungsvermögens von Moiré-Topographiemeßplätzen:
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| Veröffentlicht: |
Düsseldorf
VDI-Verl.
1995
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| Schriftenreihe: | Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 8]
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Autor: Seib, Michael
Jahr: 1995
V Inhaltsverzeichnis Seite I Bezeichnungen VI 1 Einleitung und Motivation 1 2 Grundlagen des Moiré-Effektes 3 2.1 Geschichte des Moiré-Effektes 3 2.2 Theoretische Herleitung der Form und des Kontrastes von Moiré- 4 Streifen 2.3 Ein- und zweistufige Beobachtungsweise von Projektionsmoiré- 10 Streifen 2.4 Räumliche Grenzen des Meßvolumens 16 2.5 Herleitung des Höhenauflösungsvermögens von Projektionsmoiré- 19 Meßplätzen 3 Experimenteller Meßaufbau 23 3.1 Experimentelle Vergleichsanordnung 23 3.2 Scheimpflug-Konfiguration 26 4 Die CCD-Kamera 30 4.1 Aufbau von CCD-Bildsensoren 30 4.2 Arbeitsweise von CCD-Bildsensoren 32 4.3 Eignung von CCD-Bildsensoren zu Moiré-MeBzwecken 41 5 Modifikation der CCD-Bildsensoren 45 5.1 Vorbemerkung 45 5.2 Prozeßschritte zur Modifikation der CCD-Sensoroberfläche 47 5.3 Bewertung und Möglichkeiten der photolithographischen 60 Sensoroberflächenstrukturierung 6 Messungen 62 6.1 Vorbemerkung 62 6.2 Vergleich des Höhenauflösungsvermögens Az 65 6.3 Vergleich des Sensorrauschens 70 6.4 Vergleich von Gittern konstanter Liniendichte mit homographi- 81 sehen Gittern 7 Zusammenfassung und Ausblick 88 8 Literatur 91
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