Zur Fehlerlokalisierung in integrierten Schaltungen mittels kontaktloser interner Signalmessungen:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
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1995
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INHALT
_
I
INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
.
1
1.1
MOTIVATION
.
3
1.2
GLIEDERUNG
DER
ARBEIT
.
3
2
STAND
DER
TECHNIK
.
3
2.1
AD
VICE
.
3
2.2
PESTICIDE
.
5
2.3
FINDER
.
6
2.4
KNIGHTS
MERLIN
/
ADVANCAV
.
7
2.5
IDA
.
8
2.6
ZUSAMMENFASSENDE
BEWERTUNG
.
9
3
GRUNDLAGEN
.
11
3.1
GERAETETECHNISCHE
GRUNDLAGEN
.
11
3.1.1
ELEKTRONENSTRAHLTESTSYSTEME
.
11
3.1.2
GRUNDLAGEN
DES
ELEKTRONENSTRAHLTESTENS
.
13
3.1.3
ELEKTROOPTISCHE
TESTSYSTEME
.
20
3.1.4
RASTERTUNNEL
UND
RASTERKRAFT-MIKROSKOPE
.
22
3.2
TECHNOLOGISCHE
GRUNDLAGEN
DER
TESTPUNKTAUSWAHL
.
24
3.2.1
EINFLUESSE
AUF
DIE
TESTPUNKTQUALITAET
.
24
3.2.2
REGELN
ZUR AUSWAHL
OPTIMALER
TESTPUNKTE
.
25
3.3
GRUNDLAGEN
FLAECHENBASIERTER
ALGORITHMEN
.
30
3.3.1
ALGORITHMEN
ZUR
GROESSENVERAENDERUNG
UND
ABSTANDSBESTIMMUNG
.
30
3.3.2
ALGORITHMEN
ZUR
AUSFUEHRUNG
LOGISCHER
OPERATIONEN
.
31
3.4
MATHEMATISCHE
GRUNDLAGEN
DES
BILDVERGLEICHS
.
36
3.4.1
DEFINITIONEN
UND
VORBEMERKUNGEN
.
36
3.4.2
VERFAHREN
ZUM
BILDVERGLEICH
.
37
4
KONZEPTION
EINES
CAD-INTEGRIERTEN
TEST
UND
CHARAKTERISIERUNGSSYSTEMS
.
45
4.1
ANFORDERUNGEN
UND
RANDBEDINGUNGEN
.
45
4.1.1
DESIGNVALIDIERUNG
DURCH
PROTOTYPENCHARAKTERISIERUNG
.
45
4.1.2
QUALITAETSSICHERUNG
.
46
4.2
SYSTEMUMGEBUNG
.
47
4.3
INTEGRATION
VON ENTWURFS
UND
TESTWERKZEUGEN
.
49
4.3.1
SCHNITTSTELLEN
.
49
4.3.2
DATENFORMATE
.
50
4.3.3
BENOETIGTE
ENTWURFSDATEN
.
50
4.3.4
NETZWERKFAEHIGKEIT
.
51
4.4
EXTERNE
STEUERBARKEIT
KOMMERZIELLER
ELEKTRONENSTRAHLTESTSYSTEME
.
52
4.5
AUTOMATISCHE
POSITIONIERUNG
DER
ELEKTRONENSTRAHLSONDE
.
53
4.6
STRATEGIEN
ZUR
FEHLERLOKALISIERUNG
MIT
HILFE
CHIPINTEMER
MESSUNGEN
.
54
4.6.1
FEHLERMODELLE
.
54
UE_
INHALT
4.6.2
ENTWURF
EINES
OBJEKTORIENTIERTEN
DATENMODELLS
MIT
ZUGRIFFSMECHANISMEN
ZUR
NAVIGATION
IN
HIERARCHISCHEN
NETZLISTEN
.
55
4.6.3
SUCHSTRATEGIEN
BEI
DER
FEHLERRUECKVERFOLGUNG
.
60
5
VERFAHREN
ZUR
AUTOMATISCHEN
OPTIMALPOSITIONIERUNG
DER
MESSSONDE
BEIM
ELEKTRONENSTRAHLTEST
.
63
5.1
VORBEMERKUNGEN
.
63
5.2
AUSWAHL
OPTIMALER
TESTPUNKTE
.
63
5.2.1
GEWICHTUNG
UND
BEWERTUNG
DER
REGELN
.
64
5.2.2
ZUORDNUNG
VON
LAYOUTSTRUKTUREN
ZU
NETZNAMEN,
.
65
5.2.3
ANWENDUNG
VON
TESTPUNKTAUSWAHLREGELN
.
68
5.3
BESTIMMUNG
EINES OPTIMAL
POSITIONIERBAREN
BILDAUSSCHNITTS
.
82
5.3.1
VORBEMERKUNGEN
.
82
5.3.2
PRINZIP
EINES
VERFAHRENS
ZUR
BILDAUSSCHNITTSOPTIMIERUNG
.
84
5.3.3
VERGLEICH
VON
LAYOUT
UND
TEILBEREICH
.
89
5.3.4
WAHRSCHEINLICHKEIT
EINER
FEHLPOSITIONIERUNG
.
89
5.4
PRAEZISE
PROBENPOSITIONIERUNG
.
97
5.4.1
MERKMALSEXTRAKTION
FUER
MANHATTAN-GEOMETRIEN
.
98
5.4.2
MERKMALSEXTRAKTION
FUER
BELIEBIGE
KANTENRICHTUNGEN
.
98
5.4.3
ANWENDUNG
DER
SCHNELLEN
LINIENKORRELATION
ZUR
FEINPOSITIONIERUNG
.
101
5.5
VERBESSERUNG
DER
BEOBACHTBARKEIT
INTEGRIERTER
SCHALTUNGEN
FUER
DEN
ELEKTRONENSTRAHLTEST
.
103
5.5.1
UNTERSUCHUNG
DER
ELEKTRONENOPTISCHEN
BEOBACHTBARKEIT
.
103
5.5.2
BESTIMMUNG
KRITISCHER
NETZE
.
104
5.5.3
ANSAETZE
ZUR
AUTOMATISCHEN
SCHALTUNGSMODIFIKATION
.
104
6
IMPLEMENTIERUNG
.
107
6.1
SYSTEMUMGEBUNG
.
107
6.1.1
SYSTEMSTRUKTUR
.
108
6.1.2
KOMMUNIKATIONSUMGEBUNG
.
109
6.1.3
SCHNITTSTELLEN
ZUR
ENTWURFSDATENBASIS
.
HO
6.2
DAS
MODUL
ZUR
NETZAUSWAHL
.
112
6.2.1
AUSWAHL
POTENTIELL FEHLERHAFTER
NETZE
UNTER
VERWENDUNG
VON
FEHLERSIMULATIONSERGEBNISSEN
.
112
6.2.2
RUECKVERFOLGUNG FEHLERHAFTER
SIGNALE
ANHAND
DER
NETZLISTE
.
112
6.3
DAS
MODUL
ZUR
TESTPUNKTAUSWAHL
.
114
6.3.1
ZUORDNUNG
VON
NETZNAMEN ZU LAYOUTSTRUKTUREN
.
114
6.3.2
SCHNELLE AUSWAHL
VON
TESTPUNKTEN
MIT
EINGESCHRAENKTEM
REGELSATZ
.
115
6.3.3
AUSWAHL OPTIMALER
TESTPUNKTE UNTER
VERWENDUNG
VON
DRC-
ALGORITHMEN
.
116
6.3.4
SCHNELLE
FLAECHENBASIERTE
TESTPUNKTAUSWAHL
.
118
6.3.5
AUSWAHL
OPTIMAL
POSITIONIERBARER
BILDAUSSCHNITTE
.
119
6.4
DAS
MODUL
ZUR
FEINPOSITIONIERUNG
.
120
6.5
STEUERUNG
DES
ELEKTRONENSTRAHLTESTSYSTEMS
.
124
6.5.1
DER
ADVANCE
CAD-LINK
.
124
OFFLALT
UEI
6.5.2
IMPLEMENTIERUNG
.
124
7
ERGEBNISSE
.
127
7.1
NETZAUSWAHL
.
127
7.2
TESTPUNKTAUSWAHL
.
129
7.3
AUSWAHL
OPTIMAL
POSITIONIERBARER
BILDAUSSCHNITTE
.
132
7.3.1
EIGNUNG
DER
KKF
DER
PROJEKTIONEN
.
136
7.4
FEINPOSITIONIERUNG
.
138
7.4.1
KANTENDETEKTION
.
138
7.4.2
MERKMALSEXTRAKTION
.
139
7.4.3
BILDVERGLEICH
.
141
8
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICKE
.
143
ANHANG
.
147
A
MATHEMATISCHE
HERLEITUNGEN
.
147
A.1
DISKRETE
KREUZKORRELATIONSFUNKTION
DER
PROJEKTIONEN
DIGITALER
BILDER
.
147
A.2
BERECHNUNG
DER
KKF
ZWEIER
KANTENMENGEN
.
150
B
FLAECHENBASIERTE
ALGORITHMEN
.
161
B.
1
POLYGONCLIPPING
.
161
B.2
TRAPEZOIDZERLEGUNG
.
170
B.3
EINHALTEN
VON
MINDESTABSTAENDEN
.
172
C
WWW-ANBINDUNG
EINES
ELEKTRONENSTRAHLTESTSYSTEMS
.
179
C.
1
GRUNDLAGEN
.
179
C.2
REALISIERUNG
.
180
C.3
ERGEBNISSE
.
181
C.4
SYSTEMEIGENSCHAFTEN
.
181
LITERATURVERZEICHNIS
.
183
VERZEICHNIS
ZITIERTER
PRODUKTINFORMATIONEN
.
191
VERZEICHNIS
EIGENER
VEROEFFENTLICHUNGEN
ZU
DEN
THEMEN
DIESER
ARBEIT
.
192
VERZEICHNIS
VON
STUDIEN
UND
DIPLOMARBEITEN ZU DEN
THEMEN
DIESER
ARBEIT
.
193 |
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