Entwicklung und Herstellung eines planaren Vielfachthermokonverters für die Präzisionsmessung von elektrischen Wechselspannungen und Wechselströmen:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1994
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | Münster (Westfalen), Univ., Diss., 1995 |
| Beschreibung: | II, 80 Bl. Ill., graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV010334852 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 19951114 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 950801s1994 gw ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 944661769 |2 DE-101 | |
| 035 | |a (OCoLC)258225639 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV010334852 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-91 |a DE-355 |a DE-29T |a DE-11 | ||
| 084 | |a MSR 210d |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Weimann, Thomas |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Entwicklung und Herstellung eines planaren Vielfachthermokonverters für die Präzisionsmessung von elektrischen Wechselspannungen und Wechselströmen |c vorgelegt von Thomas Weimann |
| 264 | 1 | |c 1994 | |
| 300 | |a II, 80 Bl. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 500 | |a Münster (Westfalen), Univ., Diss., 1995 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Präzisionsmessung |0 (DE-588)4175566-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Thermoumformer |0 (DE-588)4218080-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Thermoumformer |0 (DE-588)4218080-6 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Präzisionsmessung |0 (DE-588)4175566-2 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006878007&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006878007 | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1812453834071474176 |
|---|---|
| adam_text |
I
1
EINLEITUNG.
1
2 UEBERBLICK UEBER DIE VERSCHIEDENEN BAUFORMEN VON
THERMOKONVERTERN.2
2.1 EINFACHTHERMOKONVERTER.2
2.2 VIELFACHTHERMOKONVERTER.2
2.3 PLANARER VIELFACHTHERMOKONVERTER.4
3
SIMULATIONSRECHNUNG.
6
3.1 ANFORDERUNGEN AN DEN PLANAREN V IELFACHKONVERTER.6
3.2 PARAMETER FUER DEN ENTWURF.6
3.3 PROGRAMMBESCHREIBUNG.7
3.4 UNTERSUCHUNG DER EMPFINDLICHKEIT.10
4 TECHNOLOGIE UND HERSTELLUNG._._. 16
4.1 STRUKTURIERUNG DURCH PHOTOLITHOGRAPHIE.16
4.2 AUFBAU DES KONVERTERS.17
4.3 HERSTELLUNG DER MEMBRANSCHICHTEN.19
4.3.1 SILIZIUMDIOXID MEMBRAN KONVERTER.19
4.3.2 MEHRSCHICHTSYSTEM MEMBRAN KONVERTER.20
4.4 ANISOTROPES AETZEN VON SILIZIUM.21
4.5 KONTAKTIERUNG DER THERMOKONVERTER.24
5 TRANSFER DIFFERENZEN.27
5.1 URSACHEN UND ABSCHAETZUNG VON TRANSFERDIFFERENZEN.27
5.1.1 TRANSFERDIFFERENZ AUFGMND THERMOELEKTRISCHER EFFEKTE.27
5.1.2 TRANSFERDIFFERENZ INFOLGE VON NIEDERFREQUENZEINFLUESSEN.37
5.1.3 TRANSFERDIFFERENZEN INFOLGE VON HOCHFREQUENZEINFLUSS.49
5.2 MESSAUFBAU ZUR BESTIMMUNG DER TRANSFERDIFFERENZEN.62
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
HTTP://D-NB.INFO/944661769
N
6 VERGLEICH DES DREIDIMENSIONALEN KONVERTERS MIT DEM
PLANAREN THERMOKONVERTER._.64
7 ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK_. 67
8 LITERATURVERZEICHNIS_ 70
A ANHANG.72
A. 1 MASKENDESIGN.72
A.2 VERWENDETE GROESSEN.78 |
| any_adam_object | 1 |
| author | Weimann, Thomas |
| author_facet | Weimann, Thomas |
| author_role | aut |
| author_sort | Weimann, Thomas |
| author_variant | t w tw |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV010334852 |
| classification_tum | MSR 210d |
| ctrlnum | (OCoLC)258225639 (DE-599)BVBBV010334852 |
| discipline | Mess-/Steuerungs-/Regelungs-/Automatisierungstechnik |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV010334852</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">19951114</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">950801s1994 gw ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">944661769</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)258225639</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV010334852</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-355</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-11</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">MSR 210d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Weimann, Thomas</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Entwicklung und Herstellung eines planaren Vielfachthermokonverters für die Präzisionsmessung von elektrischen Wechselspannungen und Wechselströmen</subfield><subfield code="c">vorgelegt von Thomas Weimann</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1994</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">II, 80 Bl.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Münster (Westfalen), Univ., Diss., 1995</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Präzisionsmessung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4175566-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Thermoumformer</subfield><subfield code="0">(DE-588)4218080-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Thermoumformer</subfield><subfield code="0">(DE-588)4218080-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Präzisionsmessung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4175566-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006878007&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006878007</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV010334852 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-10-09T16:17:49Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006878007 |
| oclc_num | 258225639 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM DE-355 DE-BY-UBR DE-29T DE-11 |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM DE-355 DE-BY-UBR DE-29T DE-11 |
| physical | II, 80 Bl. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1994 |
| publishDateSearch | 1994 |
| publishDateSort | 1994 |
| record_format | marc |
| spelling | Weimann, Thomas Verfasser aut Entwicklung und Herstellung eines planaren Vielfachthermokonverters für die Präzisionsmessung von elektrischen Wechselspannungen und Wechselströmen vorgelegt von Thomas Weimann 1994 II, 80 Bl. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Münster (Westfalen), Univ., Diss., 1995 Präzisionsmessung (DE-588)4175566-2 gnd rswk-swf Thermoumformer (DE-588)4218080-6 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Thermoumformer (DE-588)4218080-6 s Präzisionsmessung (DE-588)4175566-2 s DE-604 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006878007&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Weimann, Thomas Entwicklung und Herstellung eines planaren Vielfachthermokonverters für die Präzisionsmessung von elektrischen Wechselspannungen und Wechselströmen Präzisionsmessung (DE-588)4175566-2 gnd Thermoumformer (DE-588)4218080-6 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4175566-2 (DE-588)4218080-6 (DE-588)4113937-9 |
| title | Entwicklung und Herstellung eines planaren Vielfachthermokonverters für die Präzisionsmessung von elektrischen Wechselspannungen und Wechselströmen |
| title_auth | Entwicklung und Herstellung eines planaren Vielfachthermokonverters für die Präzisionsmessung von elektrischen Wechselspannungen und Wechselströmen |
| title_exact_search | Entwicklung und Herstellung eines planaren Vielfachthermokonverters für die Präzisionsmessung von elektrischen Wechselspannungen und Wechselströmen |
| title_full | Entwicklung und Herstellung eines planaren Vielfachthermokonverters für die Präzisionsmessung von elektrischen Wechselspannungen und Wechselströmen vorgelegt von Thomas Weimann |
| title_fullStr | Entwicklung und Herstellung eines planaren Vielfachthermokonverters für die Präzisionsmessung von elektrischen Wechselspannungen und Wechselströmen vorgelegt von Thomas Weimann |
| title_full_unstemmed | Entwicklung und Herstellung eines planaren Vielfachthermokonverters für die Präzisionsmessung von elektrischen Wechselspannungen und Wechselströmen vorgelegt von Thomas Weimann |
| title_short | Entwicklung und Herstellung eines planaren Vielfachthermokonverters für die Präzisionsmessung von elektrischen Wechselspannungen und Wechselströmen |
| title_sort | entwicklung und herstellung eines planaren vielfachthermokonverters fur die prazisionsmessung von elektrischen wechselspannungen und wechselstromen |
| topic | Präzisionsmessung (DE-588)4175566-2 gnd Thermoumformer (DE-588)4218080-6 gnd |
| topic_facet | Präzisionsmessung Thermoumformer Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006878007&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT weimannthomas entwicklungundherstellungeinesplanarenvielfachthermokonvertersfurdieprazisionsmessungvonelektrischenwechselspannungenundwechselstromen |