Ein neuartiges Konzept von PVD-Beschichtungsanlagen für den industriellen Einsatz:
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1994
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1.
EINLEITUNG
.
3
2.
STAND
DER
TECHNIK
.
5
2.1.
VERFAHREN
DER
SUBSTRATTREINIGUNG
.
5
2.1.1.
VERFAHREN
DER
ENTFETTUNG
.
6
2.1.2.
VERFAHREN
DER
PLASMAAKTIVIERUNG
.
8
2.2.
VERFAHREN
DER
BAUTEILBESCHICHTUNG
.
10
2.3.
SCHICHT
UND
SUBSTRATMATERIALIEN,
APPLIKATIONEN
.
18
2.4.
ANLAGENTECHNIK
.
21
3.
AUFGABENSTELLUNG
.
27
3.1.
TENDENZEN
IN
DER
DUENNSCHICHTTECHNIK
.
27
3.2.
AUSWAHL
EINES
VERFAHRENS
.
29
3.3.
KONZEPTION
DER
LOESUNG
.
31
4.
WEITERENTWICKLUNG
DES
VERFAHRENS
.
36
4.1.
REINIGUNGSVERFAHREN
.
36
4.1.1.
ENTFETTUNG
UND
TROCKNUNG
.
36
4.1.2.
HOCHFREQUENZREINIGUNG
.
37
4.2.
BESCHICHTUNGSVERFAHREN "MODIFIZIERTES
KATHODENZERSTAEUBEN"
.40
4.2.1.
LONENDICHTE
.
40
4.2.2.
SCHICHTRATE
.
46
4.2.3.
SCHICHTQUALITAET
.
51
5.
DIE
BESCHICHTUNGSANLAGE
.
55
5.1.
GRUNDKONZEPT
.
55
5.2.
KOMPONENTEN
.
55
5.3.
PROZESSSTEUERUNG
.
61
6.
DER
PROZESSABLAUF
.
62
6.1.
REINIGUNGSSCHRITTE
.
62
6.2.
BESCHICHTUNGSSCHRITTE
.
64
KAPITEL
0
6.3.
SONSTIGE
PROZESSSCHRITTE
.
66
6.3
1
KOMPONENTENTEST
.
66
6.3.2.
KATHODENBEWEGUNG
.
68
6.3.3.
WARTUNGSCHARGE
.
69
7.
EXPERIMENTELLE
ARBEITEN
.
71
7.1.
TICN-BESCHICHTUNG
AUF
FRAESWERKZEUGEN
AUS
HSS
.
71
7.2.
TIAIN-BESCHICHTUNG
AUF
WENDESCHNEIDPLATTEN
AUS
HARTMETALL
.
74
7.3.
TIAI6V4-BESCHICHTUNG
AUF
SIC-FASERN
.
80
7.4.
PLATIN-BESCHICHTUNG
AUF
TURBINENSCHAUFELN
.
85
8.
UNTERSUCHUNGSERGEBNISSE
.
91
8.1.
HARTSTOFFSCHICHTEN
.
91
8
11.
SCHICHTDICKENMESSUNG
MIT
KALOTTENSCHLIFF
.
91
8.1
2.
BESTIMMUNG
DER
SCHICHTHAFTUNG
MITTELS
KALOTTENSCHLIFF
.
94
8.1.3.
BEWERTUNG
DER
SCHICHTHAFTUNG
MITTELS
ROCKWELLEINDRUCK.
95
8.2.
LEGIERUNGEN
.
98
8.3.
METALLISCHE
SCHICHTEN
.
102
9.
ZUSAMMENFASSUNG
.
105
10.
LITERATURVERZEICHNIS
.
107
11.
BILDVERZEICHNIS
.
117 |
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