Optische Nahfeldmikroskopie an Photodetektoren mit hoher Ortsauflösung:
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| Format: | Buch |
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| Veröffentlicht: |
1994
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INHALTSVERZEICHNIS
ZUSAMMENFASSUNG
.
1
1
EINLEITUNG
.4
2
EXPERIMENTELLE
UND TECHNOLOGISCHE
GRUNDLAGEN
2.1
SPALTFLAECHEN-PHOTODETEKTOREN
2.1.1
PROBENMATERIAL
.
6
2.1.2 HERSTELLUNG
DER
PHOTODETEKTOREN
.
14
2.1.3
MESSMETHODEN
AN
PHOTODETEKTOREN
.
24
2.2
NAHFELDMIKROSKOPIE
2.2.1
EINFUEHRUNG
IN
DIE
NAHFELDMIKROSKOPIE
.
27
2.2.2
HERSTELLUNG
DER
GLASFASERSPITZEN
.
35
2.2.3
RUECKKOPPLUNG
.
45
3
MODELL
ZUR
SIMULATION
VON
PHOTOSTROEMEN
.
61
4
EXPERIMENTELLER
AUFBAU
MIT
BEUGUNGSBEGRENZTER
OPTIK
.
69
5
EXPERIMENTELLER
AUFBAU
MIT
NAHFELDOPTIK
5.1
MESSAUFBAU
.75
5.2
MESSUNGEN
AN
TESTSTRUKTUREN
.77
6
MESSERGEBNISSE
UND SIMULATIONEN VON SPALTFLAECHENDETEKTOREN
6.1
FEMFELDMESSUNGEN
.89
6.2
NAHFELDMESSUNGEN
.
103
6.3
VARIATION
DES
ABSTANDES
ZWISCHEN
PROBE
UND
SPITZE
.
116
6.4
SIMULATIONSERGEBNISSE
.
123
7
NAHFELDMESSUNGEN
AN
PHOTOSENSITIVEN
PROBEN
MIT
INTERDIGITALGATES
.
129
8
AUSBLICK
.
137
LITERATURVERZEICHNIS
.
139
DANKSAGUNG
.
143 |
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