Plasmaloses und laserinduziertes Ätzen von Silicium mit den Halogenen Fluor, Chlor und Brom:
Gespeichert in:
| Hauptverfasser: | , , |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Karlsruhe
FZKA
1995
|
| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte
5574 |
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | Teilw. zugl.: U. Köhler, Karlsruhe, Univ., Diss. |
| Beschreibung: | 52 S. Ill., graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV010325197 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 19950807 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 950803s1995 ad|| m||| 00||| gerod | ||
| 035 | |a (OCoLC)75591141 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV010325197 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-12 | ||
| 088 | |a FZKA 5574 | ||
| 100 | 1 | |a Köhler, U. |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Plasmaloses und laserinduziertes Ätzen von Silicium mit den Halogenen Fluor, Chlor und Brom |c U. Köhler, A. Guber, W. Bier |
| 250 | |a Als Ms. gedr. | ||
| 264 | 1 | |a Karlsruhe |b FZKA |c 1995 | |
| 300 | |a 52 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte |v 5574 | |
| 500 | |a Teilw. zugl.: U. Köhler, Karlsruhe, Univ., Diss. | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Halogene |0 (DE-588)4158874-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Ätzen |0 (DE-588)4000648-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Ätzen |0 (DE-588)4000648-7 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Halogene |0 (DE-588)4158874-5 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 700 | 1 | |a Guber, A. |e Verfasser |4 aut | |
| 700 | 1 | |a Bier, W. |e Verfasser |4 aut | |
| 830 | 0 | |a Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte |v 5574 |w (DE-604)BV010181833 |9 5574 | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006871247 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804124745348677632 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Köhler, U. Guber, A. Bier, W. |
| author_facet | Köhler, U. Guber, A. Bier, W. |
| author_role | aut aut aut |
| author_sort | Köhler, U. |
| author_variant | u k uk a g ag w b wb |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV010325197 |
| ctrlnum | (OCoLC)75591141 (DE-599)BVBBV010325197 |
| edition | Als Ms. gedr. |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01517nam a2200421 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV010325197</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">19950807 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">950803s1995 ad|| m||| 00||| gerod</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)75591141</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV010325197</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-12</subfield></datafield><datafield tag="088" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">FZKA 5574</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Köhler, U.</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Plasmaloses und laserinduziertes Ätzen von Silicium mit den Halogenen Fluor, Chlor und Brom</subfield><subfield code="c">U. Köhler, A. Guber, W. Bier</subfield></datafield><datafield tag="250" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Als Ms. gedr.</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Karlsruhe</subfield><subfield code="b">FZKA</subfield><subfield code="c">1995</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">52 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte</subfield><subfield code="v">5574</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Teilw. zugl.: U. Köhler, Karlsruhe, Univ., Diss.</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Halogene</subfield><subfield code="0">(DE-588)4158874-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Ätzen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4000648-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Ätzen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4000648-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Halogene</subfield><subfield code="0">(DE-588)4158874-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="700" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Guber, A.</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="700" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Bier, W.</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="830" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte</subfield><subfield code="v">5574</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV010181833</subfield><subfield code="9">5574</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006871247</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV010325197 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T17:50:33Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006871247 |
| oclc_num | 75591141 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-12 |
| owner_facet | DE-12 |
| physical | 52 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1995 |
| publishDateSearch | 1995 |
| publishDateSort | 1995 |
| publisher | FZKA |
| record_format | marc |
| series | Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte |
| series2 | Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte |
| spelling | Köhler, U. Verfasser aut Plasmaloses und laserinduziertes Ätzen von Silicium mit den Halogenen Fluor, Chlor und Brom U. Köhler, A. Guber, W. Bier Als Ms. gedr. Karlsruhe FZKA 1995 52 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte 5574 Teilw. zugl.: U. Köhler, Karlsruhe, Univ., Diss. Silicium (DE-588)4077445-4 gnd rswk-swf Halogene (DE-588)4158874-5 gnd rswk-swf Ätzen (DE-588)4000648-7 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Silicium (DE-588)4077445-4 s Ätzen (DE-588)4000648-7 s Halogene (DE-588)4158874-5 s DE-604 Guber, A. Verfasser aut Bier, W. Verfasser aut Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte 5574 (DE-604)BV010181833 5574 |
| spellingShingle | Köhler, U. Guber, A. Bier, W. Plasmaloses und laserinduziertes Ätzen von Silicium mit den Halogenen Fluor, Chlor und Brom Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Halogene (DE-588)4158874-5 gnd Ätzen (DE-588)4000648-7 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4077445-4 (DE-588)4158874-5 (DE-588)4000648-7 (DE-588)4113937-9 |
| title | Plasmaloses und laserinduziertes Ätzen von Silicium mit den Halogenen Fluor, Chlor und Brom |
| title_auth | Plasmaloses und laserinduziertes Ätzen von Silicium mit den Halogenen Fluor, Chlor und Brom |
| title_exact_search | Plasmaloses und laserinduziertes Ätzen von Silicium mit den Halogenen Fluor, Chlor und Brom |
| title_full | Plasmaloses und laserinduziertes Ätzen von Silicium mit den Halogenen Fluor, Chlor und Brom U. Köhler, A. Guber, W. Bier |
| title_fullStr | Plasmaloses und laserinduziertes Ätzen von Silicium mit den Halogenen Fluor, Chlor und Brom U. Köhler, A. Guber, W. Bier |
| title_full_unstemmed | Plasmaloses und laserinduziertes Ätzen von Silicium mit den Halogenen Fluor, Chlor und Brom U. Köhler, A. Guber, W. Bier |
| title_short | Plasmaloses und laserinduziertes Ätzen von Silicium mit den Halogenen Fluor, Chlor und Brom |
| title_sort | plasmaloses und laserinduziertes atzen von silicium mit den halogenen fluor chlor und brom |
| topic | Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Halogene (DE-588)4158874-5 gnd Ätzen (DE-588)4000648-7 gnd |
| topic_facet | Silicium Halogene Ätzen Hochschulschrift |
| volume_link | (DE-604)BV010181833 |
| work_keys_str_mv | AT kohleru plasmalosesundlaserinduziertesatzenvonsiliciummitdenhalogenenfluorchlorundbrom AT gubera plasmalosesundlaserinduziertesatzenvonsiliciummitdenhalogenenfluorchlorundbrom AT bierw plasmalosesundlaserinduziertesatzenvonsiliciummitdenhalogenenfluorchlorundbrom |