Massenspektrometrische Pyrolyseuntersuchungen an neuartigen Arsen-, Phosphor- und Stickstoffverbindungen für die metallorganische Gasphasenepitaxie (MOVPE):
Gespeichert in:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Marburg
Görich & Weiershäuser
1995
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| Schriftenreihe: | Wissenschaft in Dissertationen
17 |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | Zugl.:Marburg, Univ., Diss., 1995 |
| Beschreibung: | 82 S. graph. Darst. |
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INHALTSVERZEICHNIS
ZUSAMMENFASSUNG
1.
EINLEITUNG
.
1
2.
GRUNDLAGEN
.
5
2.1
ANFORDERUNGEN
AN
ALTERNATIVE
AUSGANGSVERBINDUNGEN
FUER
DIE
MOVPE
.
5
2.2
PRINZIP
DER
SS-ELIMINIERUNG
.
7
2.3
SYNTHESE
DER
VERBINDUNGEN
.
7
2.4
PHYSIKALISCHE
UND
CHEMISCHE
DATEN
DER
TRIALKYLARSANE
UND
-PHOSPHANE
.
8
3.
EXPERIMENTELLES
.
10
3.1
PYROLYSEUNTERSUCHUNGEN
AM
ERSATZREAKTOR
.
10
3.1
1
VORRATSKAMMER
.
10
3.1
2
ERSATZREAKTOR
.
12
3
I
3
UHV-APPARATUR
.
12
3.1
4
QUADRUPOLMASSENSPEKTROMETER
.
12
3.1.5
MESSDATENVERARBEITUNG
.
14
3.1.6
VERSUCHSABLAUF
.
14
3.2
IN
SITU-PYROLYSEUNTERSUCHUNGEN
AN
DER
MOVPE-ANLAGE
.
15
3.2
1
AUFBAU
DER
MOVPE-ANLAGE
.
15
3.2.2
MODIFIZIERTE
MOVPE-ANLAGE
.
716
3.2
3
VERSUCHSABLAUF
.
17
4.
ERGEBNISSE
UND
DISKUSSION
.
18
4.
1
FLUORIERTE
ALKYLARSANE
.
18
4.1.1
3,3,3-TRIFLUORPROPYLARSAN
.
18
4.1.2
TRIS(3,3,3-TRIFLUORPROPYL)ARSAN
.
19
4.1.3
DIETHYLPERFLUORPROPYLARSAN
.
19
4
1.4
DIETHYLPERFLUOR-N-BUTYLARSAN
.
19
4.1.5
EINSATZ
FLUORIERTER
ALKYLARSANE
IN
DER
MOVPE
.
20
4.2
AMINOARSANE
.
20
4.2.1
DIETHYL(DIMETHYLAMINO)ARSAN
.
21
4.3
AMINE
.
21
4.3.1
TRIALLYLAMIN
.
22
4.3.2
DIISOPROPYLAMIN
.
22
4.3.3
DIISOBUTYLAMIN
.
23
4.3.4
ETHYLDIISOPROPYLAMIN
.
23
4.4
MONOALKYLARSANE
.
24
4.4.1
N-BUTYLARSAN
.
24
4.4.2
NEOPENTYLARSAN
.
25
4.5
TRIALKYLARSANE
MIT
SS-ELIMINIERUNGSFUENKTION
.
26
4.5.1
DIETHYLTERTIAERBUTYLARSAN
(DETBAS)
.
27
4.5.1.1
PYROLYSESTUDIEN
AM
ERSATZREAKTOR
.
27
4.5.1.2
IN
SITU-PYROLYSESTUDIEN
AN
DER
MOVPE-ANLAGE
.
32
4.5.1.3
VERGLEICH
DER
ERGEBNISSE
.
35
4.5.2
DIETHYLISOPROPYLARSAN
(DEIPRAS)
.
37
4.5.2
1
PYROLYSESTUDIEN
AM
ERSATZREAKTOR
.
37
4.5.2.2
IN
SITU-PYROLYSESTUDIEN
AN
DER
MOVPE-ANLAGE
.
40
4.5.2.3
VERGLEICH
DER
ERGEBNISSE
.
43
4.5.3
TRIISOPROPYLARSAN
(TIPRAS)
.
44
4
5.3
1
PYROLYSESTUDIEN
AM
ERSATZREAKTOR
.
44
4.5.3.2
IN
SITU-PYROLYSESTUDIEN
AN
DER
MOVPE-ANLAGE
.
47
4.5
3.3
VERGLEICH
DER
ERGEBNISSE
.
50
4.5.4
MONOETHYLDIIPROPYLARSAN
(MEDIPRAS)
.
51
4.5.5
DIETHYL-N-PROPYLARSAN
(DENPRAS)
.
53
4.5
6
DIETHYLISOBUTYLARSAN
(DEIBAS)
.
56
4.5.7
MONOETHYLDIISOBUTYLARSAN
(MEDIBAS)
.
57
4.5.8
ISOBUTYLARSOLAN
.
58
4.5.9
VERGLEICH
DER
TRIALKYLARSANE
.
60
4.6
TRIALKYLPHOSPHANE
.
62
4.6.1
DIETHYLTERTIAERBUTYLARSAN
(DETBUP)
.
62
4.6.2
DIETHYLISOPROPYLARSAN
(DEIPROP)
.
63
4.6.3
TRIISOPROPYLARSAN
(TIPROP)
.
65
4.7
PHOSPHOLANE
.
67
4.7.1
PHOSPHOLAN
.
68
4.7.2
TERTIAERBUTYLPHOPHOLAN
.
70
4.7.3
ISOPROPYLPHOSPHOLAN
.
71
4.8
DIPHOSPHANE
.
74
4.8
1
TETRAISOBUTYLDIPHOSPHAN
.
74
4.8.2
TETRA-N-BUTYLDIPHOSPHAN
.
74
4.8.3
TETRAISOPROPYLDIPHOSPHAN
.
76
4.8.4
TETRAETHYLDIPHOSPHAN
.
77
5.
AUSBLICK
.
79
LITERATUR
.
80
DANKSAGUNG
.
82 |
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| spelling | Thalmann, Christel Verfasser aut Massenspektrometrische Pyrolyseuntersuchungen an neuartigen Arsen-, Phosphor- und Stickstoffverbindungen für die metallorganische Gasphasenepitaxie (MOVPE) vorgelegt von Christel Thalmann Marburg Görich & Weiershäuser 1995 82 S. graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Wissenschaft in Dissertationen 17 Zugl.:Marburg, Univ., Diss., 1995 Ausgangsmaterial (DE-588)4143518-7 gnd rswk-swf Phosphorverbindungen (DE-588)4174454-8 gnd rswk-swf Arsenorganische Verbindungen (DE-588)4139859-2 gnd rswk-swf Phosphororganische Verbindungen (DE-588)4076094-7 gnd rswk-swf Stickstoffverbindungen (DE-588)4183288-7 gnd rswk-swf Arsenverbindungen (DE-588)4143104-2 gnd rswk-swf MOCVD-Verfahren (DE-588)4314628-4 gnd rswk-swf Massenspektrometrie (DE-588)4037882-2 gnd rswk-swf Stickstofforganische Verbindungen (DE-588)4043811-9 gnd rswk-swf Pyrolyse (DE-588)4047925-0 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content MOCVD-Verfahren (DE-588)4314628-4 s Ausgangsmaterial (DE-588)4143518-7 s Arsenverbindungen (DE-588)4143104-2 s Phosphorverbindungen (DE-588)4174454-8 s Stickstoffverbindungen (DE-588)4183288-7 s Massenspektrometrie (DE-588)4037882-2 s DE-604 Arsenorganische Verbindungen (DE-588)4139859-2 s Pyrolyse (DE-588)4047925-0 s Phosphororganische Verbindungen (DE-588)4076094-7 s Stickstofforganische Verbindungen (DE-588)4043811-9 s Wissenschaft in Dissertationen 17 (DE-604)BV009979353 17 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006865301&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
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