Entwurf und Herstellung von Mikrosystemen auf Siliziumbasis für die mechanische Sensorik und chemische Analytik:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
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1994
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INHALTSVERZEICHNIS
EINLEITUNG
1
GEGENSTAND
DER
DISSERTATION
4
2
PHYSIKALISCHE
UND
TECHNOLOGISCHE
GRUNDLAGEN
6
2.1
SILIZIUM
ALS
BASISMATERIAL
DER
MIKROSYSTEMTECHNIK
.
6
2.1.1
ELEKTRONISCHE
EIGENSCHAFTEN
.
6
2.1.2
MECHANISCHE
EIGENSCHAFTEN
.
9
2.1.3
PIEZORESISTIVITAET
.
12
2.1.4
CHEMISCHE
EIGENSCHAFTEN
.
15
2.1.5
PIEZOELEKTRISCHE
SCHICHTEN
AUF
SI-SUBSTRATEN
.
16
2.2
TECHNOLOGISCHE
VERFAHREN
.
17
2.2.1
KONVENTIONELLE
TECHNOLOGIEN
.
18
2.2.2
TECHNOLOGIEN
FUER
DIE
MIKROSYSTEMTECHNIK
.
20
3
MIKROSYSTEME
IN
DER
MECHANISCHEN
SENSORIK
23
3.1
ELEKTROMECHANISCHE
TRANSDUCER
.
23
3.1.1
BERECHNUNG
DES
MECHANISCHEN
SPANNUNGSZUSTANDS
.
24
3.1.2
ENTWURF
DER
ELEKTROMECHANISCHEN
TRANSDUCER
.
33
3.2
HERSTELLUNG
DER
TRANSDUCER
.
48
3.2.1
PIEZORESISTIVE
SENSOREN
.
48
3.2.2
PIEZOELEKTRISCHE
CANTILEVER
.
52
3.3
CHARAKTERISIERUNG
DER
TRANSDUCER
.
55
3.3.1
PIEZORESISTIVE
SENSOREN
.
55
3.3.2
PIEZOELEKTRISCHE
SENSOREN
.
59
4
MIKROSYSTEME
IN
DER
CHEMISCHEN
ANALYTIK
61
4.1
GASCHROMATOGRAPHEN
ALS
MIKROSYSTEME
.
61
4.1.1
FUNKTIONSPRINZIP
EINES
GASCHROMATOGRAPHEN
.
61
4.1.2
BESCHREIBUNG
DES
TRENNVORGANGS
.
62
11
4.1.3
HERSTELLUNG
DER
TRENNSAEULEN
.
69
4.2
CHARAKTERISIERUNG
DER
TRENNSAEULEN
.
75
4.2.1
UEBERPRUEFUNG
DER
PRINZIPIELLEN
FUNKTIONSFAEHIGKEIT
.
75
4.2.2
MESSUNGEN
MIT
EINER
GC-MS-APPARATUR
.
75
4.2.3
MESSUNGEN
IN
EINEM
KONVENTIONELLEN
GC
.
87
4.2.4
PLASMAPOLYMERISATION
STATIONAERER
PHASEN
.
89
4.3
MINIATURISIERUNG
EINES
DETEKTIONSSYSTEMS
.
92
4.3.1
ENTWURF
EINES
WAERMELEITFAEHIGKEITSDETEKTORS
.
92
4.3.2
HERSTELLUNG
.
98
5
ZUSAMMENFASSUNG
101
ANHANG
103
LITERATURVERZEICHNIS
105
VEROEFFENTLICHTE
TEILE
DER
DISSERTATION
111
DANKSAGUNG
112
LEBENSLAUF
113
ERKLAERUNG
114 |
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