APA (7th ed.) Citation

(1991). Mikromechanik: Mikrofertigung mit Methoden der Halbleitertechnologie (Unveränd. Nachdr. der 1. Aufl.). Springer.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Mikromechanik: Mikrofertigung Mit Methoden Der Halbleitertechnologie. Unveränd. Nachdr. der 1. Aufl. Berlin [u.a.]: Springer, 1991.

MLA (9th ed.) Citation

Mikromechanik: Mikrofertigung Mit Methoden Der Halbleitertechnologie. Unveränd. Nachdr. der 1. Aufl. Springer, 1991.