Mikromechanik: Mikrofertigung mit Methoden der Halbleitertechnologie
Gespeichert in:
| Format: | Buch |
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| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Berlin [u.a.]
Springer
1991
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| Ausgabe: | Unveränd. Nachdr. der 1. Aufl. |
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