Abscheidung amorpher Kohlenstoffschichten mit dem Arc-Ion-Plating-Verfahren:
Gespeichert in:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Düsseldorf
VDI-Verl.
1995
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| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Fortschritt-Berichte VDI / 5
390 |
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| Beschreibung: | VII, 89 S. Ill., graph. Darst. |
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| adam_text | Titel: Abscheidung amorpher Kohlenstoffschichten mit dem Arc-Ion-Plating-Verfahren
Autor: Brand, Peter Jochen
Jahr: 1995
V Inhaltsverzeichnis Seite 1. Einleitung 1 2. Industrielle Anwendungsmöglichkeiten und wirtschaftliche Bedeutung von Kohlenstof fschichten 2 2.1 Industrielle Anwendungen 2 2.2 Wirtschaftliche Bedeutung 3 3. Die Modifikationen des Kohlenstoffs 5 3.1 Graphit 7 3.2 Diamant 10 3.3 Amorpher diamantähnlicher Kohlenstoff 15 4. Analytische Untersuchungsmethoden zur Charakterisierung von Kohlenstoffschichten 19 4.1 Strukturanalyseverfahren 19 4.2 Verfahren zur Bestimmung physikalischer Eigenschaften 24 5. Prozeßeinflüsse bei der Abscheidung amorpher Kohlenstoffschichten mit dem Arc-Ion-Plating-Verfahren 27 5.1 Das Arc-Ion-Plating-Verfahren 27 5.2 Auswirkungen der Teilchenquelle 29 5.3 Das Plasma im Transportraum 33 5.3.1 Argon und Stickstoff als Prozeßgase 36 5.3.2 Kohlenwasserstoffe als Prozeßgase 37 5.4 Das Plasma bei der Schichtbildung 38 6. Versuchsbeschreibung 45 7. Charakterisierung von Arc-Kohlenstoffschichten 47
VI Seite 7.1 Mikrostrukturanalyse der Schichten 47 7.2 Raman-Analyse 49 7.3 Oberflächenmodifikation durch Glimmprozesse 50 7.4 Interface-Schichten 52 7.5 Gradierte Kohlenstoff schichten 54 7.6 Schichtrate 55 7.7 Schichthaftung 58 7.8 Schichthärte 61 7.9 Rauhigkeit 63 7.10 Elektrischer Widerstand 67 7.11 Verschleißverhalten 69 7.12Thermische Stabilität 71 8. Praktische Anwendungsbeispiele von Arc-Kohlenstoffschichten 74 8.1 Reibmindernde, verschleißfeste Schichten auf Tassenstößeln 74 8.2 Bioverträgliche Schichten auf künstlichen Herzklappen 76 9. Zusammenfassung 78 10. Literatur 80
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