Entwicklung eines Prozesses zur monolithischen Integration piezoresistiver Beschleunigungssensoren in einem kommerziellen 2 Mikrometer CMOS Prozeß:
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| Language: | Undetermined |
| Published: |
Düsseldorf
VDI-Verl.
1995
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| Edition: | Als Ms. gedruckt |
| Series: | Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 9]
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