Entwicklung eines Prozesses zur monolithischen Integration piezoresistiver Beschleunigungssensoren in einem kommerziellen 2 Mikrometer CMOS Prozeß:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | Undetermined |
| Veröffentlicht: |
Düsseldorf
VDI-Verl.
1995
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| Ausgabe: | Als Ms. gedruckt |
| Schriftenreihe: | Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 9]
203 |
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