APA (7th ed.) Citation

Riethmüller, W. (1995). Entwicklung eines Prozesses zur monolithischen Integration piezoresistiver Beschleunigungssensoren in einem kommerziellen 2 Mikrometer CMOS Prozeß (Als Ms. gedruckt.). VDI-Verl.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Riethmüller, Werner. Entwicklung Eines Prozesses Zur Monolithischen Integration Piezoresistiver Beschleunigungssensoren in Einem Kommerziellen 2 Mikrometer CMOS Prozeß. Als Ms. gedruckt. Düsseldorf: VDI-Verl, 1995.

MLA (9th ed.) Citation

Riethmüller, Werner. Entwicklung Eines Prozesses Zur Monolithischen Integration Piezoresistiver Beschleunigungssensoren in Einem Kommerziellen 2 Mikrometer CMOS Prozeß. Als Ms. gedruckt. VDI-Verl, 1995.