Oxidwachstum auf Silizium bei hoher Arsen- und Phosphordotierung:
Gespeichert in:
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| Sprache: | German |
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1994
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INHALTSVERZEICHNIS
DANKSAGUNGEN
.
III
SYMBOLLISTE
.IV
0.
EINLEITUNG
.
1
1.
THERMISCHE
OXIDATION
.
3
1.1
ALLGEMEINES
.
3
1.1.1
TROCKENE
OXIDATION
.
3
1.1.2
FEUCHTE
OXIDATION
.
4
1.1.3
OXIDATIONSKINETIK
.
4
1.2
DAS
DEAL-GROVE-MODELL
.
5
1.2.1
DISKUSSION
DES
DEAL-GROVE-MODELLS
.
7
1.3
EINFLUSSFAKTOREN
AUF
DIE
OXIDATION
.
8
1.3.1
DIE
TEMPERATUR
.
8
1.3.2
DER
DRUCK
.
9
1.3.3
DIE
ORIENTIERUNG
.
9
1.3.4
DIE
DOTIERUNG
.
10
1.3.4.1
SEGREGATION
.
10
1.3.4.2
DOTIERSTOFFUMVERTEILUNG
BEI
DER
OXIDATION
.
11
1.3.4.2.1
UMVERTEILUNGSMODELL
FUER
KONSTANTE
DOTIERSTOFFVERTEILUNG
.
12
1.3.4.3
DIFFUSION
.
14
1.3.4.4
DAS
HO-PLUMMER-MODELL
.
15
1.3.4.4.1
DISKUSSION
EXPERIMENTELLER
ERGEBNISSE
ZUM
HO-PLUMMER
MODELL
(NACH
BIERMANN)
.
19
1.5
ZUSAMMENFASSUNG
.
21
2.
VERSUCHE
ZUR
ZEITLICHEN
ENTWICKLUNG
DER
OXIDATIONSRATE
.
22
2.1
ZIEL
UND
DURCHFUEHRUNG
.
22
2.2
ERGEBNISSE
.
23
2.2.1
VERGLEICH
ARSEN
-
PHOSPHOR
600C
.
23
2.2.2
VERGLEICH
ARSEN
-
PHOSPHOR
700C
.
24
2.2.3
VERGLEICH
ARSEN
-
PHOSPHOR
800C
.
25
2.2.4
VERGLEICH
ARSEN
-
PHOSPHOR
700C/800C
.
26
2.2.5
VERGLEICH
DER
CHEMISCHEN
DOTIERSTOFFVERTEILUNG
.
26
2.3
ZUSAMMENFASSUNG
.
27
3.
VERGLEICH
100
UND
111 -SILIZIUM
.
28
3.1
ZIEL
DES
VERSUCHES
.
28
3.2
VESUCHSDURCHFUEHRUNG
.
28
3.3
ERGEBNISSE
.
29
3.3.1
VERGLEICH
VON
11
1 -ZU
100 -OXIDDICKEN
.
29
3.3.2
VERGLEICH
DER
OXIDATIONSRATEN
.
30
3.3.3
VERGLEICH
DOTIERT
ZU
UNDOTIERT
.
32
3.4
ZUSAMMENFASSUNG
.
32
4.
SCHICHTWIDERSTANDSVERSUCHE
(VAN-DER-PAUW-METHODE)
ZUR
BESTIMMUNG
DER
ABHAENGIGKEIT
DER
OXIDATIONSRATE
VON
DER
ELEKTRISCHEN
AKTIVITAET
.
33
4.1
ZIEL
DER
VERSUCHE
.
33
4.2
VORVERSUCH
MIT
PHOSPHOR
.
34
4.2.1
RTA-PROBEN
.
36
4.2.2
VERGLEICH
VON
RTA
UND
OFENTEMPERUNG
.
39
4.2.3
ZUSAMMENFASSUNG
.
41
4.3
VORVERSUCH
MIT
ARSEN
(RTA-TEMPERUNG
)
.
42
4.3.1
VERSUCHSDURCHFUEHRUNG
.
42
4.3.2
ERGEBNISSE
.
43
4.3.2.1
SCHICHTWIDERSTANDSVERTEILUNG
.
43
4.3.2.2
OXIDATIONSERGEBNISSE
.
45
4.3.2.3
DEAKTIVIERUNG
.
46
4.3.3
ZUSAMMENFASSUNG
.
48
4.4
HAUPTVERSUCH
MIT
ARSEN
UND
PHOSPHOR
.
49
4.4.1
ZIEL
UND
DURCHFUEHRUNG
DES
VERSUCHES
.
49
4.4.2
PHOSPHOR
.
50
4.4.2.1
ZEITLICHE
ENTWICKLUNG
.
50
4.4.2.2
LOKALE
UNTERSCHIEDE
.
53
4.4.2.3
ZURUECKGEAETZTE
TESTSTRUKTUREN
.
55
4.4.3
ARSEN
.
56
4.4.3.1
ZEITLICHE
ENTWICKLUNG
.
56
4.4.3.2
LOKALE
UNTERSCHIEDE
.
59
4.4.3.3
ZURUECKGEAETZTE
TESTSTRUKTUREN
.
61
4.4.4
ZUSAMMENFASSUNG
.
62
5.
UNTERSUCHUNG
DER
GRENZSCHICHT
.
63
5.1
ZUSAMMENFASSUNG
.
73
6.
BEEINFLUSSUNG
DER
PROBENOBERFLAECHEN
DURCH
DIE
BEHANDLUNG
VOR
DER
OXIDATION
.
74
6.1
ERGEBNISSE
DER
GRUPPE
1
.
76
6.2
ERGEBNISSE
DER
GRUPPE
2
.
77
6.3
ZUSAMMENFASSUNG
.
82
7.
MODEB
.
83
7.1
ZUSAMMENFASSUNG
.
88
8.
ZUSAMMENFASSUNG
.
89
8.1
FAZIT
UND
AUSBLICK
.
92
9.
ANHANG
.
93
A.L
TIEFENABHAENGIGE
DOTIERSTOFFVERTEILUNG
.
93
A.2
LITERATURHINWEISE
.
96
A.3
LEBENSLAUF.
.
100 |
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