Entwicklung interner Testmethoden für zeitaufgelöste Untersuchungen an Hochgeschwindigkeitsschaltkreisen auf der Grundlage der Laser-Scanning-Mikroskopie:
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1994
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EINLEITUNG
PHYSIKALISCHE GRUNDLAGEN VON OBIC-MESSUNGEN HOHER ZEITAUFLOESUNG
ZEITABHAENGIGER OBIC-STROM
EINFLUFI TRANSIENTER FELDER UND HOHER LADUNGSTRAEGERKONZENTRATIONEN
AUF DAS OBIC-SIGNAL
ZUSAMMENFASSUNG
SYNCHRONISATION DER OPTISCHEN TESTIMPUL MIT DEN ELEKTRISCHEN IM
PULSEN - OPTISCHES SCHALTEN
REALISIERUNGSMOEGLICHKEITEN FUER DAS OPTISCHE SCHALTEN
EINFLUSS DES SUBSTRATSTROMS
TEMPERATUREINFLUSS
ZUSAMMENFASSUNG
EXPERIMENTELLE REALISIERUNG
ANFORDERUNGEN AN DIE OPTISCHEN IMPULSE
EXPERIMENTELLER AUFBAU
BESTIMMUNG DER OPTISCHEN VERLUSTE
DURCHFUEHRUNG DER MESSUNGEN
AUSWERTUNG DER MESSUNGEN
EXPERIMENTELLE ERGEBNISSE UND DISKUSSION
ZEITAUFGELOESTES OBIC AN NMOS-INVERTEM
ABHAENGIGKEIT DES OBIC-SIGNALS VON DER LASERLEISTUNG
UNTERSUCHUNGEN ZUR SCHALTDYNAMIK UND ZUR IMPULSAUSBREITUNG
OPTISCHES SCHALTEN EINES GESPERRTEN INVERTERS
ELEKTRISCHE IMPULSAUSBREITUNG IN DER INVERTERKETTE
DYNAMIK DER LATERALEN ABHAENGIGKEIT DES OBIC-SIGNALS
ZUSAMMENFASSUNG
ZEITAUFGELOESTE OBIC-MESSUNGEN AN EINER ECL-SCHALTUNG
SPEZIFIK DER OBIC-MESSUNGEN AN ECL-SCHALTUNGEN
EXPERIMENTELLE ERGEBNISSE UND DISKUSSION
ZUSAMMENFASSUNG
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
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6. DIE METHODE DER KAPAZITIVEN KOPPLUNG
6.1. DAS OBERFLAECHENPOTENTIAL IM DOTIERTEN HALBLEITER 73
6.1.1. LADUNGSTRAEGERVERARMUNG AN DER HALBLEITEROBERFLAECHE,
ENTSTEHUNG DES OBERFLAECHENPOTENTIALS 74
6.1.2. EINFLUSS DER STRAHLUNGSABSOIPTION AUF DAS OBERFLAECHENPOTENTIAL 77
6.1.3. KAPAZITIVE KOPPLUNG 79
6.1.4. DIE ZEITABHAENGIGKEIT DER AENDERUNG DES OBERFLAECHENPOTENTIALS 83
6.1.3. ZUSAMMENFASSUNG 85
6.2. EXPERIMENTELLE REALISIERUNG 86
6.3. EXPERIMENTELLE ERGEBNISSE UND DISKUSSION
6.3.1. BEISPIELE FUER DIE UNTERSCHIEDLICHEN VARIANTEN DER BILDERZEUGUNG
88
6.3.2. CCM-MESSUNGEN AN ELEKTRISCH SCHALTENDEN INVERTERN 91
6.3.3. ZEITAUFGELOESTE CCM-UNTERSUCHUNGEN AN NMOS-INVERTEM 97
6.4. ZUSAMMENFASSUNG 103
7. RESUEMEE 104
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