Charakterisierung von Schichtsystemen mittels spektroskopischer Ellipsometrie im fernen Infrarot:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Verl. der Augustinus-Buchh.
1994
|
| Ausgabe: | 1. Aufl. |
| Schriftenreihe: | Aachener Beiträge zur Physik der kondensierten Materie
13 |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1994 |
| Beschreibung: | 179 S. graph. Darst. |
| ISBN: | 3860732722 |
Internformat
MARC
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INHALTSVERZEICHNIS
EINFUEHRUNG
5
1
SPEKTROSKOPIE
AN
FESTKOERPERN
IM
INFRAROTEN
SPEKTRALBEREICH
7
1.1
WECHSELWIRKUNG
VON
LICHT
MIT
FESTKOERPERN
.
7
1.1.1
MAXWELLGLEICHUNGEN
.
7
1.1.2
WELLENAUSBREITUNG
IN
HOMOGENEN
MEDIEN
.
8
1.1.3
DIE
DIELEKTRISCHE
FUNKTION
UND
DER
KOMPLEXE
BRECHUNGSINDEX
.
8
1.1.4
BEITRAEGE
ZUR
SUSZEPTIBILITAET
IM
INFRAROTEN
.
9
1.1.5
DIE
SUSZEPTIBILITAET
DER
GEBUNDENEN
LADUNGEN
.
9
1.1.6
DIE
SUSZEPTIBILITAET
DER
FREIEN
LADUNGEN
.
10
1.2
OPTISCHE
MODELLIERUNG
VON
MEHRSCHICHTSYSTEMEN
.
10
1.2.1
MATRIXMETHODE
FUER
MEHRSCHICHTSYSTEM
.
11
1.2.2
PHASEN
BEI
DER
REFLEXION
.
13
1.2.3
PHASEN
BEI
REFLEXION
AM
HALBRAUM
MIT
REELLEM
E
.
14
1.2.4
PHASEN
BEI
REFLEXION
AM
HALBRAUM
MIT
KOMPLEXEM
E
.
14
1.2.5
PHASEN
BEI
REFLEXION
AN
DER
PLANPARALLELEN
PLATTE
.
17
1.2.6
PHASEN
BEI
REFLEXION
AN
EINER
SCHICHT
AUF
EINEM
HALBRAUM-SUBSTRAT
.
19
1.2.7
PHASEN
BEI
REFLEXION
AN
EINER
SCHICHT
AUF
EINEM
SPIEGEL
.
21
1.2.8
FITVERFAHREN
ZUR
DATENINTERPRETATION
.
24
2
LICHTAUSBREITUNG
DURCH
OPTISCHE
SYSTEME
29
2.1
POLARISIERTES
LICHT
.
29
2.2
JONES-MATRIX-FORMALISMUS
.
31
2.2.1
JONES-VEKTOREN
.
31
2.2.2
JONES-MATRIZEN
.
31
2.3
STOKES-MUELLER-FORMALISMUS
.
33
2
2.3.1
STOKES-VEKTOREN
.
33
2.3.2
POLARISATIONSGRAD
.
34
2.3.3
INKOHAERENTE
UEBERLAGERUNG
VON
PARTIALWELLEN
.
35
VARIABLE
SCHICHTDICKE
.
36
STRAHLDIVERGENZ
.
37
NICHTAUFGELOESTE
INTERFERENZEN
DICKER
PLATTEN
.
37
2.3.4
POINCARE-KUGEL
.
38
2.3.5
MUELLER-MATRIZEN
.
39
3
SPEKTROSKOPISCHE
ELLIPSOMETRIE
IM
FIR.
41
3.1
EINORDNUNG
DER
METHODE
.
41
3.2
GRUNDAUFBAU
EINES
ELLIPSOMETERS
.
42
3.3
BERECHNUNG
DER
DETEKTIERTEN
INTENSITAET
.
43
3.4
MESSUNG
BEI
DREI
ANALYSATORWINKELN
.
43
3.5
MESSUNG
BEI
DREI
ANALYSATORWINKELN
MIT
REFERENZ
.
45
3.6
MESSUNG
DES
STOKES-PARAMETERS
33/33
.
46
3.7
VERGLEICH
MIT
REFLEXIONSMESSUNGEN
.
48
4
AUFBAU
DES
KOMPAKTEN
ELLIPSOMETRIE-HLUMINATORS
51
4.1
KONSTRUKTIVE
ANFORDERUNGEN
AN
DIE
STRAHLFUEHRUNG
EINES
MODULAREN
ELLIPSO
METERS
.
51
4.2
UEBERSICHT
UEBER
MOEGLICHE
OPTISCHE
ANORDNUNGEN
.
54
4.2.1
ANORDNUNG
MIT
I^-2 /3-DREHTISCH
.
54
4.2.2
ANORDNUNG
FUER
SENKRECHTEN
REFLEXIONSILLUMINATOR
.
56
4.2.3
ANORDNUNG
MIT
ZWEI
UMLENKSPIEGELN
.
57
4.2.4
ANORDNUNG
MIT
GONIOMETERARMEN
.
57
4.2.5
ANORDNUNG
MIT
UMLENKPRISMA
.
58
4.2.6
ANORDNUNG
MIT
ZWEI
ELLIPSOIDEN
.
58
4.3
AUFBAU
DES
DOPPELELLIPSOID
-
ILLUMINATORS
.
58
4.3.1
STRAHLENGANG
IM
ILLUMINATOR
.
58
4.3.2
ENTWURF
MITTELS
EINES
STRAHLVERFOLGUNGSPROGRAMMS
.
60
4.3.3
HALTERUNG
DER
PROBEN
.
63
4.3.4
HERSTELLUNG
DER
SPIEGEL
.
64
4.3.5
PHASENVERSCHIEBUNGEN
AN
DEN
SPIEGELN
.
66
3
4.3.6
EINSTELLUNG
DER
POLARISATORWINKEL
.
67
4.3.7
EINSTELLUNG
DES
EINFALLSWINKELS
.
69
4.3.8
BESTIMMUNG
DER
STRAHLGEOMETRIE
AUF
DER
PROBE
.
70
4.4
POLARISATOR
.
72
4.4.1
BESTIMMUNG
DES
POLARISATIONSGRADES
.
73
4.4.2
WIRE-GRID-POLARISATOREN
.
75
4.4.3
WIRE-GRIDS
AUF
FOLIEN
.
79
4.4.4
THEORETISCHE
BERECHNUNGEN
.
80
4.4.5
EINFLUSS
DER
SPIEGEL
IM
ILLUMINATOR
.
84
4.5
RETARDER
.
84
4.5.1
RETARDER
MIT
SPANNUNGSOPTISCHER
DOPPELBRECHUNG
.
84
4.5.2
SCHICHTSYSTEMRETARDER
.
85
4.5.3
RETARDER
MIT
INTERNER
TOTALREFLEXION
.
85
5
ELLIPSOMETRIE
MIT
EINEM
RAPID-SCAN
INTERFEROMETER
91
5.1
POLARISATIONSOPTISCHE
EIGENSCHAFTEN
DES
FOURIERSPEKTROMETERS
.
91
5.2
VORTEILE
DER
FOURIERSPEKTROSKOPIE
.
93
5.3
RAPID-SCAN-INTERFEROMETER
BRUKER
IFS
113
.
94
5.4
DETEKTOR
.
94
5.5
HARDWARE-SEITIGE
REALISIERUNG
DER
DATENAUFNAHME
.
96
5.6
KALIBRIERUNG
DES
ELLIPSOMETERS
.
96
5.7
KORREKTUREN
FUER
AZIMUTFEHLER
.
98
5.8
FOURIER-ANALYSE-METHODE
.
99
5.9
FOURIERKOMPONENTEN
HOEHERER
ORDNUNG
.
101
6
ELLIPSOMETRIE
MIT
EINEM
SLOW-SCAN
INTERFEROMETER
103
6.1
SLOW-SCAN-INTERFEROMETER
BECKMAN
FS720
.
103
6.2
INTENSITAET
UND
SIGNALSPANNUNGEN
AM
BOLOMETER
.
105
6.3
PRINZIP
DER
DOPPELMODULATION
MIT
CHOPPER
UND
ANALYSATOR
.
108
6.4
MATHEMATISCHE
BESCHREIBUNG
DER
DOPPELMODULATION
.
109
6.5
MODULIERTE
WAERMESTRAHLUNG
ALS
STOERSIGNAL
.
111
6.6
DOPPELMODULATION
MIT
STOERSIGNAL
.
112
6.7
KALIBRIERUNG
DES
ELLIPSOMETERS
.
113
6.7.1
BESTIMMUNG
DES
POLARISATORAZIMUTS
.
114
4
6.7.2
ZUORDNUNG
DER
KANAELE
.
114
6.7.3
BESTIMMUNG
DER
PHASE
.
116
6.7.4
BESTIMMUNG
DES
FAKTORS
G
.
116
6.8
CHOPPFREQUENZEN
UND
SIGNALVERLAEUFE
.
116
6.9
NEGATIVE
INTERFEROGRAMME
UND
POWERSPEKTRUM
.
122
6.10
FOURIERKOMPONENTEN
ANDERER
ORDNUNGEN
.
122
7
MESSUNGEN
UND
AUSWERTUNGEN
AN
HALBRAUMPROBEN
125
7.1
ISO-LINIEN
.
125
7.2
MESSUNGEN
AN
OBJEKTTRAEGERGLAS
.
128
7.2.1
SLOW-SCAN-METHODE
.
128
7.2.2
RAPID-SCAN-METHODE
MIT
FOURIER-ANALYSE
.
130
7.3
MESSUNGEN
AM
RETARDERPRISMA
.
130
7.4
MESSUNGEN
AN
KBR
.
133
8
MESSUNGEN
UND
AUSWERTUNGEN
AN
SCHICHTSYSTEMEN
137
8.1
MESSUNGEN
AN
ELEKTROPHOTOGRAPHISCHEN
REZEPTOREN
AUS
AMORPHEM
SILICIUM
.
137
8.2
MESSUNGEN
AN
GESPUTTERTEN
CUJO-FILMEN
.
143
8.3
MESSUNGEN
AN
IN,GAI-,P-FILMEN
AUF
GAAS
.
150
8.4
MESSUNGEN
AN
POROESEN
SILICIUM-SCHICHTEN
.
155
8.5
MESSUNGEN
AN
CSO-CRO-FILMEN
.
158
8.6
MESSUNGEN
AN
ZNSE-FILMEN
AUF
GAAS
.
163
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
166
LITERATURVERZEICHNIS
168
LISTE
DER
ABBILDUNGEN
173
LISTE
DER
TABELLEN
177
DANKSAGUNG
178
LEBENSLAUF
180 |
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