Heteroepitaktische Abscheidung von Diamant auf Silizium:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
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1995
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INHALT:
1
ZUSAMMENFASSUNG
1
2
EINLEITUNG
UND
AUFGABENSTELLUNG
5
3
GRUNDLAGEN
8
3.1
STRUKTURELLE
UND
THERMODYNAMISCHE
EIGENSCHAFTEN
VON
KOHLENSTOFF
8
3.2
ENTWICKLUNG
DER
CVD
DIAMANTABSCHEIDUNG
DUENNER
SCHICHTEN
11
3.3
HISTORISCHE
ENTWICKLUNG
DER
HETEROEPITAKTISCHEN
ABSCHEIDUNG
VON
DIAMANT
16
3.4
MECHANISMUS
DER
DIAMANTDEPOSITION
19
3.5
KEIMBILDUNG
VON
DIAMANT
AUF
HETEROSUBSTRATEN
27
3
5.1
GRUNDLAGEN
DER
HOMOGENEN
UND
HETEROGENEN
KEIMBILDUNG
3.5.2
MECHANISCHE
VORBEHANDLUNG
MIT
SCHLEIFPULVERN
(EX
SITU)
3
5
3
VORBEHANDLUNG
UND
BEKEIMUNG
MITTELS
DC-BIAS
(IN
SITU)
3.6
STRUKTURELLE
VORAUSSETZUNG
DER
HETEROEPITAKTISCHEN
ABSCHEIDUNG
33
3.7
MODELL
FUER
TEXTURIERTES
SCHICHTWACHSTUM
37
4
DIAMANTABSCHEIDUNG
AUS
DER
GASPHASE
43
4.1
APPARATIVER
AUFBAU
UND
ABSCHEIDEPARAMETER
43
4.2
HERSTELLUNG
DER
DIAMANTSCHICHTEN
46
4.2.1
BEKEIMUNG
DER
SUBSTRATOBERFLAECHE
4.2.2
WACHSTUM
TEXTURIERTER
DIAMANTSCHICHTEN
4.2.3
WACHSTUM
HETEROEPITAKTISCHER
DIAMANTSCHICHTEN
5
CHARAKTERISIERUNGSMETHODEN
52
5.1
GEFUEGEUNTERSUCHUNGEN
53
5.1
1
RASTERELEKTRONENMIKROSKOPIE
(REM)
5.1
2
ROENTGENOGRAPHISCHE
TEXTURANALYSE
5
1.3
TRANSMISSIONSELEKTRONENMIKROSKOPIE
(TEM)
5.1
4
LICHTMIKROSKOPISCHE
UNTERSUCHUNGEN
5.2
PHASENANALYSE
55
5.2
1
ROENTGENOGRAPHISCHE
PHASENANALYSE
(XRD)
5.2.2
RAMANSPEKTROSKOPIE
5.3
CHEMISCHE
ANALYSE
57
5
3
1
AUGERELEKTRONENSPEKTROSKOPIE
(AES)
5.3.2
PHOTOELEKTRONENSPEKTROSKOPIE
(XPS)
5.3.3
ELASTIC
RECOIL
DETECTION
(ERD)
6
ERGEBNISSE
DER
KEIMBILDUNGSUNTERSUCHUNGEN
61
6.1
BEKEIMUNG
DER
SUBSTRATOBERFLAECHE
DURCH
MECHANISCHE
VORBEHANDLUNG
61
6.2
BEKEIMUNG
DER
SUBSTRATOBERFLAECHE
MITTELS
DC-BIAS;
63
EPITAKTISCHE
KEIMBILDUNG
6.3
DISKUSSION
DER
ERGEBNISSE
70
7
ERGEBNISSE
DER
GRENZFLAECHENUNTERSUCHUNGEN
AN
SUBSTRAT
74
UND
SCHICHT
7.1
AETZPROZESSE
IM
WASSERSTOFFPLASMA
74
7
1
1
PHOTOELEKTRONEN
(XPS)
UND
AUGERELEKTRONENSPEKTROSKOPISCHE
(AES)
UNTERSUCHUNGEN
AM
UNVORBEHANDELTEN
SILIZIUMSUBSTRAT
7
1
2
ATZEN
DER
SUBSTRATOBERFLAECHE
7.2
VERAENDERUNG
DER
SUBSTRATOBERFLAECHE
UNTER
CHJ-EINFLUD
82
7
2.1
AUSBILDUNG
EINER
SI-C
SCHICHT
OHNE
BIAS
7.2.2
EINFLUSS
DES
SUBSTRATBIAS
7
2
3
ATZRESISTENZ
DER
GEBILDETEN
SI-C
SCHICHT
7.3
GRENZSCHICHT
EINER
HETEROEPITAKTISCHEN
PROBE
93
7.4
DISKUSSION
DER
ERGEBNISSE
98
8
ERGEBNISSE
ZUM
WACHSTUM
TEXTURIERTER
UND
HETEROEPITAKTISCHER
102
SCHICHTEN
8.1
PHASENANALYSE
102
8.1
1
ROENTGENOGRAPHISCHE
PHASENANALYSE
(XRD)
8
1.2
RAMANSPEKTROSKOPIE
8
1
3
ELASTIC
RECOIL
DETECTION
ZUR
CHEMISCHEN
ANALYSE
(ERD)
8.2
GEFTIGEANALYSE
112
8
2
1
AUSBILDUNG
DER
[100]-TEXTUR
8
2.2
EPITAKTISCHE
SCHICHTEN
8.2
3
NACHWEIS
DER
TEXTUR
MIT
DER
ROENTGENDIFFRAKTOMETRIE
8
2.4
ZWILLINGSBILDUNG
8.3
NACHWEIS
DER
EPITAXIE
133
8.3
1
ROENTGENOGRAPHISCHE
ANALYSE,
POLFIGUREN
8
3.2
RAMANSPEKTROSKOPIE
8.4
DISKUSSION
DER
ERGEBNISSE
140
9
MODELL
DER
HETEROEPITAXIE
VON
DIAMANT
AUF
SILIZIUM
144
10
LITERATUR
UND
ANHANG
148 |
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