Zur Defekterzeugung in Siliziumeinkristallen durch energiereiche Ionen unter besonderer Berücksichtigung des Channelings:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1994
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | 110 S. graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV010173734 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 19970120 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 950503s1994 gw d||| m||| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 943784182 |2 DE-101 | |
| 035 | |a (OCoLC)258394672 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV010173734 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-91 |a DE-355 |a DE-706 |a DE-634 |a DE-11 |a DE-188 | ||
| 084 | |a UP 3100 |0 (DE-625)146372: |2 rvk | ||
| 084 | |a UQ 2400 |0 (DE-625)146493: |2 rvk | ||
| 084 | |a PHY 622d |2 stub | ||
| 084 | |a PHY 649d |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Röhrich, Jörg |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Zur Defekterzeugung in Siliziumeinkristallen durch energiereiche Ionen unter besonderer Berücksichtigung des Channelings |c eingereicht von Jörg Röhrich |
| 264 | 1 | |c 1994 | |
| 300 | |a 110 S. |b graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 502 | |a Berlin, Humboldt-Univ., Diss., 1994 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Strahlenschaden |0 (DE-588)4057825-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Einkristall |0 (DE-588)4013901-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Channeling |0 (DE-588)4147560-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Ionenstrahl |0 (DE-588)4162347-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Einkristall |0 (DE-588)4013901-3 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Ionenstrahl |0 (DE-588)4162347-2 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Strahlenschaden |0 (DE-588)4057825-2 |D s |
| 689 | 0 | 4 | |a Channeling |0 (DE-588)4147560-4 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006757356&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006757356 | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1812453863381270528 |
|---|---|
| adam_text |
INHALTSVERZEICHNIS
SEITE
VERZEICHNIS DER VERWENDETEN SYMBOLE
1. EINLEITUNG 1
2. ZUR BEWEGUNG VON IONEN IN FESTKOERPERN 4
2.1 ABBREMSMECHANISMEN 4
2.1.1 AMORPHE TARGETS 4
2.1.2 KRISTALLINE TARGETS 10
2.2 DEFEKTERZEUGUNG 12
3. DEFEKTE IN HALBLEITERN 14
3.1 KLASSIFIKATION 14
3.2 STRAHLUNGSDEFEKTE 15
3.3 BESTIMMUNG DER DEFEKTSTRUKTUR 15
3.4 LADUNGSTRAEGERUEBERGANGSMECHANISMEN 16
3.5 SHOCKLEY-READ-HALL MODELL 17
3.5.1 BESETZUNGSSTATISTIK 17
3.5.2 PHYSIKALISCHE INTERPRETATION DER PARAMETER 19
4. MESSMETHODEN 21
4.1 KAPAZITAETSSPEKTROSKOPIE 21
4.1.1 KAPAZITAETS-SPANNUNGS-KENNLINIENANALYSE 21
4.1.2 DEEP-LEVEL TRANSIENT SPECTROSCOPY (DLTS) 25
4.1.3 EINFANGMESSUNGEN 29
4.1.4 DOPPELKORRELATIONS-DLTS 30
4.2 MESSUNG DES AUSBREITUNGSWIDERSTANDES 32
4.3 SEKUNDAERIONEN-MASSENSPEKTROMETRIE 37
5. EXPERIMENTDURCHFUEHRUNG 38
5.1 IMPLANTATIONEN 38
5.1.1 BESTRAHLUNG MIT IONEN NIEDRIGER UND MITTLERER ENERGIE 38
5.1.2 BESTRAHLUNG MIT IONEN HOHER ENERGIE 38
5.2 PROBENPRAEPARATION 39
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
HTTP://D-NB.INFO/943784182
6. EXPERIMENTELLE ERGEBNISSE
6.1 STRAHLUNGSDEFEKTE
6.1.1 AUSGANGSMATERIAL
6.1.2 BESTRAHLTE PROBEN
6.1.2.1 IMPLANTATIONEN MIT NIEDRIGER ENERGIE
6.1.2.1.1 SILIZIUMIMPLANTATIONEN
6.1.2.1.2 GERMANIUMIMPLANTATIONEN
6.1.2.2 IMPLANTATIONEN MIT MITTLERER ENERGIE
6.1.2.2.1 SILIZIUMIMPLANTATIONEN
6.1.2.2.2 KOHLENSTOFFIMPLANTATIONEN
6.1.2.2.3 KALZIUMIMPLANTATIONEN
6.1.2.3 IMPLANTATIONEN MIT HOHER ENERGIE
6.1.2.3.1 SILIZIUMIMPLANTATIONEN
6.1.2.3.2 NEONIMPLANTATIONEN
6.1.3 DEFEKTIDENTIFIKATION
6.2 ELEMENTKORRELIERTE DEFEKTE
6.2.1 LITHIUMIMPLANTATIONEN
6.2.2 MAGNESIUMIMPLANTATIONEN
6.2.3 DISKUSSION
6.3 KANALLEITUNGSEFFEKTE
6.3.1 NIEDERENERGETISCHE IMPLANTATIONEN
6.3.2 HOCHENERGETISCHE IMPLANTATIONEN
6.4 STROM-SPANNUNGS-VERHALTEN IMPLANTIERTER SCHOTTKYKONTAKTE
6.5 KAPAZITAETS-SPANNUNGS-VERHALTEN IMPLANTIERTER SCHOTTKYKONTAKTE
40
40
40
41
41
41
43
44
44
45
46
46
46
47
47
54
55
57
59
61
61
74
78
81
7. MODELLIERUNG 88
7.1 DEFEKTERZEUGUNGSRATEN 88
7.1.1 VERGLEICH DER KONZENTRATIONEN TIEFER STOERSTELLEN
MIT DER NUKLEAR DEPONIERTEN ENERGIE 88
'.1.2 DEFEKTKINETIK 92
"\2 KANAL LEITUNG 98
YY
'.2.1 MONTE-CARLO-SIMULATION 98
'.2.2 VERGLEICH MIT DEN EXPERIMENTEN 100
$ / USAM MEN T ASSUN
08
L ITERATURX ERREICHMS |
| any_adam_object | 1 |
| author | Röhrich, Jörg |
| author_facet | Röhrich, Jörg |
| author_role | aut |
| author_sort | Röhrich, Jörg |
| author_variant | j r jr |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV010173734 |
| classification_rvk | UP 3100 UQ 2400 |
| classification_tum | PHY 622d PHY 649d |
| ctrlnum | (OCoLC)258394672 (DE-599)BVBBV010173734 |
| discipline | Physik |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV010173734</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">19970120</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">950503s1994 gw d||| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">943784182</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)258394672</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV010173734</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-355</subfield><subfield code="a">DE-706</subfield><subfield code="a">DE-634</subfield><subfield code="a">DE-11</subfield><subfield code="a">DE-188</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">UP 3100</subfield><subfield code="0">(DE-625)146372:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">UQ 2400</subfield><subfield code="0">(DE-625)146493:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">PHY 622d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">PHY 649d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Röhrich, Jörg</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Zur Defekterzeugung in Siliziumeinkristallen durch energiereiche Ionen unter besonderer Berücksichtigung des Channelings</subfield><subfield code="c">eingereicht von Jörg Röhrich</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1994</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">110 S.</subfield><subfield code="b">graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Berlin, Humboldt-Univ., Diss., 1994</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Strahlenschaden</subfield><subfield code="0">(DE-588)4057825-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Einkristall</subfield><subfield code="0">(DE-588)4013901-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Channeling</subfield><subfield code="0">(DE-588)4147560-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Ionenstrahl</subfield><subfield code="0">(DE-588)4162347-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Einkristall</subfield><subfield code="0">(DE-588)4013901-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Ionenstrahl</subfield><subfield code="0">(DE-588)4162347-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Strahlenschaden</subfield><subfield code="0">(DE-588)4057825-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="4"><subfield code="a">Channeling</subfield><subfield code="0">(DE-588)4147560-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006757356&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006757356</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV010173734 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-10-09T16:18:18Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006757356 |
| oclc_num | 258394672 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM DE-355 DE-BY-UBR DE-706 DE-634 DE-11 DE-188 |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM DE-355 DE-BY-UBR DE-706 DE-634 DE-11 DE-188 |
| physical | 110 S. graph. Darst. |
| publishDate | 1994 |
| publishDateSearch | 1994 |
| publishDateSort | 1994 |
| record_format | marc |
| spelling | Röhrich, Jörg Verfasser aut Zur Defekterzeugung in Siliziumeinkristallen durch energiereiche Ionen unter besonderer Berücksichtigung des Channelings eingereicht von Jörg Röhrich 1994 110 S. graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Berlin, Humboldt-Univ., Diss., 1994 Silicium (DE-588)4077445-4 gnd rswk-swf Strahlenschaden (DE-588)4057825-2 gnd rswk-swf Einkristall (DE-588)4013901-3 gnd rswk-swf Channeling (DE-588)4147560-4 gnd rswk-swf Ionenstrahl (DE-588)4162347-2 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Silicium (DE-588)4077445-4 s Einkristall (DE-588)4013901-3 s Ionenstrahl (DE-588)4162347-2 s Strahlenschaden (DE-588)4057825-2 s Channeling (DE-588)4147560-4 s DE-604 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006757356&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Röhrich, Jörg Zur Defekterzeugung in Siliziumeinkristallen durch energiereiche Ionen unter besonderer Berücksichtigung des Channelings Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Strahlenschaden (DE-588)4057825-2 gnd Einkristall (DE-588)4013901-3 gnd Channeling (DE-588)4147560-4 gnd Ionenstrahl (DE-588)4162347-2 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4077445-4 (DE-588)4057825-2 (DE-588)4013901-3 (DE-588)4147560-4 (DE-588)4162347-2 (DE-588)4113937-9 |
| title | Zur Defekterzeugung in Siliziumeinkristallen durch energiereiche Ionen unter besonderer Berücksichtigung des Channelings |
| title_auth | Zur Defekterzeugung in Siliziumeinkristallen durch energiereiche Ionen unter besonderer Berücksichtigung des Channelings |
| title_exact_search | Zur Defekterzeugung in Siliziumeinkristallen durch energiereiche Ionen unter besonderer Berücksichtigung des Channelings |
| title_full | Zur Defekterzeugung in Siliziumeinkristallen durch energiereiche Ionen unter besonderer Berücksichtigung des Channelings eingereicht von Jörg Röhrich |
| title_fullStr | Zur Defekterzeugung in Siliziumeinkristallen durch energiereiche Ionen unter besonderer Berücksichtigung des Channelings eingereicht von Jörg Röhrich |
| title_full_unstemmed | Zur Defekterzeugung in Siliziumeinkristallen durch energiereiche Ionen unter besonderer Berücksichtigung des Channelings eingereicht von Jörg Röhrich |
| title_short | Zur Defekterzeugung in Siliziumeinkristallen durch energiereiche Ionen unter besonderer Berücksichtigung des Channelings |
| title_sort | zur defekterzeugung in siliziumeinkristallen durch energiereiche ionen unter besonderer berucksichtigung des channelings |
| topic | Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Strahlenschaden (DE-588)4057825-2 gnd Einkristall (DE-588)4013901-3 gnd Channeling (DE-588)4147560-4 gnd Ionenstrahl (DE-588)4162347-2 gnd |
| topic_facet | Silicium Strahlenschaden Einkristall Channeling Ionenstrahl Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=006757356&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT rohrichjorg zurdefekterzeugunginsiliziumeinkristallendurchenergiereicheionenunterbesondererberucksichtigungdeschannelings |