Anwendung der Finite-Differenzen- und der Finite-Elemente-Methode bei der Kristallzüchtung von Verbindungshalbleitern:
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1994
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INHALT
I
EINLEITUNG
1 UNTERSUCHUNG DER SYSTEME OFEN - AMPULLE 3
1.1
WIDERSTANDSOEFEN 3
1.1.1 2-ZONEN-OFEN
4
1.1.2 3-ZONEN-OFEN MIT BEWEGLICHER HEIZERZONE 5
1.1.3 10-ZONEN-OFEN ZONE MELTING FACILITY (ZMF)
6
1.1.4 ZONA 4
7
1.2 SPIEGELOEFEN
1.2.1 ELLIPSOID MIRROR FUMACE (ELLI)
9
1.2.2 AUTOMATIC MIRROR FUMACE (AMF) 10
1.3
ZUECHTUNGS- UND MESSAMPULLEN - 11
1.3.1 ZUECHTUNGSAMPULLEN H
1.3.2 MESSAMPULLEN I
4
2 MATHEMATISCH-NUMERISCHES MODELL 13
2.1 ANFORDERUNGEN AN EIN MATHEMATISCH-NUMERISCHES MODELL 15
2.2 BESCHREIBUNG DES MODELLS MIT DIFFERENTIALGLEICHUNGEN 15
2.3 METHODE DER FINITEN DIFFERENZEN 20
2.4 DIFFERENTIAL- UND DIFFERENZENGLEICHUNGEN 21
25
MODELL FUER NICHT-KONVEKTIVE WAERMELEITUNG 22
2.6 MODELL FUER KONVEKTIVE WAERMELEITUNG 29
2.7 MODELLIERUNG DER OFENSTRAHLUNG 30
2.7.1 MODELLIERUNG DER STRAHLUNG IN WIDERSTANDSOEFEN 30
2.7.2 MODELLIERUNG DER STRAHLUNG IN SPIEGELOEFEN 31
2.8 IDEALISIERUNGEN 33
2.9 FEHLERBETRACHTUNG 34
2.10 COMPUTERPROGRAMME 35
3 TESTRECHNUNGEN MIT TYPISCHEN HALBLEITERDATEN 37
3.1 EINFLUSS DER MATERIALKONSTANTEN 37
3.2 WAERMELEITFAEHIGKEIT
41
3.3 WAERMEKAPAZITAET
42
3.4 DICHTE
4^
3.5 EMISSIVITAET
43
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
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W OE O U
INHALT
N
BERECHNUNG VON TEMPERATURPROFILEN ZU WIDERSTANDSOEFEN
46
4.1
4.2
4.3
4.3.1
43.2
4.3.3
CDTE-LOESUNGSZONEN-ZUECHTUNG IM 1-ZONEN-WIDERSTANDSOFEN ZONA
4 46
CDTE-BRIDGMAN-ZUECHTIMGEN IN 2-ZONEN-WIDERSTANDSOEFEN 47
CDTE-LOESUNGSZONEN-ZUECHTUNGEN IM ZMF 53
FLACHES OFENTEMPERATURPROFIL
54
STEILES OFENTEMPERATUIPROFIL
55
VERGLEICH DER RADIALEN TEMPERATURPROFILE
56
BERECHNUNG VON TEMPERATURPROFILEN ZU SPIEGELOEFEN
58
5.1
5.1.1
5.1.2
5.1.3
5.2
53
5.4
53
CDTE-LOESUNGSZONEN-ZUECHTUNGEN IM AMF
CDTE-LOESUNGSZONEN-ZUECHTUNGEN IM AMF-LM
UNTERSCHIEDLICHE LAMPENLEISTUNGEN
CDTE-LOESUNGSZONEN-ZUECHTUNGEN MIT UND OHNE NICKELNETZ
CDTE-LOESUNGSZONEN-ZUECHTUNG IM AMF-EM
INP-LOESUNGSZONEN-ZUECHTUNG IM AMF
SI-SCHMELZZONEN-ZUECHTUNG IM ELU-SPIEGELOFEN
AGGASJ-LOESUNGSZONEN-ZUECHTUNG IM AMF MIT DOPPELAMPULLE
58
58
63
64
65
67
68
71
6
BERECHNUNGEN MIT DEM FEM-PROGRAMM-PAKET FIDAP 78
6
-L DAS PROGRAMMPAKET FIDAP 7G
6-2 KOMBINATION VON FDM- UND FEM-VERFAHREN
79
63 ERGEBNISSE DER BERECHNUNGEN
GL
ZUSAMMENFASSUNG
92
LITERATUR
94
ANHANG
99
OFENDATEN
STRAHLENGAENGE IN ELLI UND AMF
MATERIALDATEN
STARTFILE FUER FDM-PROGRAMM
STARTFILE FUER FIDAP
99
101
106
109
110 |
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