Raumladungskompensation driftender intensiver Strahlen niederenergetischer Ionen und Techniken zu ihrer Vermessung:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
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INHALT
1. UEBER DAS INTERESSE AN DER RAUMLADUNGSKOMPENSATION 1
INTENSIVER NIEDERENERGETISCHER IONENSTRAHLEN
UND DAS ZU IHRER UNTERSUCHUNG GEWAEHLTE VORGEHEN
2. THEORETISCHE ANSAETZE ZUR RAUMLADUNGSKOMPENSATION 5
2.1 DER GLEICHGEWICHTSZUSTAND DES KOMPENSIERTEN STRAHLS 6
2.2 DIE KOMPENSATIONSELEKTRONEN 7
I. TEILDEKOMPENSATION DES STRAHLS. BEZEICHNUNGEN 7
II. BILANZEN. ERZEUGUNG 8
III. TRANSPORT UND THERMALISIERUNG 13
IV. VERLUSTE 15
V. DIE HEIZUNG DER KOMPENSATIONSELEKTRONEN 18
V.I HEIZUNG DURCH STOESSE MIT DEN STNHLIONEN 19
V.II HEIZUNG DURCH KLEINRAEUMIGE DICHTESCHWANKUNGEN DER STRAHLIONEN 20
V.III HEIZUNG DURCH LANDAU-DAMPFUNG VON AXIALEN DICHTESCHWANKUNGEN DER
STRAHLIONEN 24
V.IV HEIZUNG DURCH AXIALE DICHTESCHWANKUNGEN DER STRAHLIONEN NACH DEM
FOERDETHANDPRINZIP 31
V.V HEIZUNG DURCH RADIUSSCHWANKUNGEN DES STRAHLS 33
V.V1 KUEHLUNG AM RESTGAS 34
V.VU WECHSELWIRKUNGEN MIT DEN RESTGASIONEN 35
V.V1II RESUEMEE 35
2.3 SEKUNDAERELEKTRONEN 36
2.4 RESTGASIONEN 40
2.5 SCHNELLE NEUTRALATOME 44
2.6 ZUSTAENDE DES DREI-KOMPONENTEN-SYSTEMS OHNE BERUECKSICHTIGUNG VON
TRANSPORTPROZESSEN 45
DER KOMPENSATIONSELEKTRONEN
2.7 KOMBINATION DER THEORETISCHEN ANSAETZE 61
2.8 EINORDNUNG VON MESSERGEBNISSEN 66
2.9 RESUEMEE 66
2.10 RAUMLADUNGSKOMPENSATION VON STRAHLEN NEGATIVER IONEN 67
3. DIE MESSSTRECKE 70
3.1 AUSLEGUNG, AUFBAU. PARAMETER 70
3.2 STRAHLSTROMSCHWANKUNGEN 77
4. MESSMETHODEN UND AUSWERTUNGSVERFAHREN 84
4.1 MESSUNG VON STRAHLPROFIL UND EMITTANZFIGUREN, RUECKRECHNUNG 85
I. DIE DREI EINSATZARTEN DES MESSKOPFS 86
II. ZURUECKRECHNUNG DER STRAHLIONENBEWEGUNG 90
4.2 ELEKTRONENSTRAHLSONDE 92
4.3 MESSUNG VON ENERGIEN DER DEN STRAHL VERLASSENDEN TEILCHEN 102
I. RESTGASIONENSPEKTROMETRIE AN ROTATIONSSYMMETRISCHEN IONENSTRAHLEN 102
II. RESTGASIONENSPEKTROMETRIE MIT ABLENKKONDENSATOR 119
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
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126
129
III. ZUSAETZLICHE GEZIELTE ERZEUGUNG VON RESTGASIONEN
IV. MESSUNG VON ELEKTRONENENERGIEN
BERECHNUNG DER LADUNGSDICHTEN DER STRAHLKOMPONENTEN
LANGMUIR-SONDEN
145
HOCHFREQUENZSONDE
MESSUNGEN ZUR RAUMLADUNGSKOMPENSATION
UND RUECKSCHLUESSE AUF DIE THEORETISCHEN ANSAETZE
MESSUNGEN AN EINEM STRAHL GERINGER PERVEANZ UND NAHEZU HOMOGENER
DICHTEVER
TEILUNG DER STRAHLIONEN
I. VERGLEICH DER ERGEBNISSE MEHRERER MESSMETHODEN IM RAHMEN DES MODELLS
DER SELBSTKONSISTENTEN ZUSTAENDE
II. UEBERPRUEFUNG DER BILANZGLEICHUNGEN
III. EINFLUSS DES RESTGASDRUCKS
IV. EINFLUSS EINER TEILDEKOMPENSATION DES STRAHLS
V. GEEIGNETE KOMBINATIONEN VON MESSMETHODEN ZUR BESTIMMUNG EINES
SELBSTKONSISTENTEN ZUSTANDS
VI. BERUECKSICHTIGUNG DER STARTENERGIE DER RESTGASIONEN
VII. EINFLUSS VON STRAHLSTROMSCHWANKUNGEN
VIII. EINFLUSS VERMEHRTER SEKUNDAERELEKTRONENPRODUKTION
MESSUNGEN AN EINEM HOCHPERVEANTEN STRAHL MIT NICHTHOMOGENER
DICHTEVERTEILUNE
DER STRAHLIONEN
165
165
166
170
174
180
182
182
185
186
ZUSAMMENFASSUNG
ANHAENGE
FOKKER-PLANCK-GLEICHUNG UND RELAXATIONSZEITEN
VERLUSTE UNTER DEM EINFLUSS EINES FELDTEILCHENENSEMBLES MIT MAXWELLSCHER
GESCHWINDIGKEITSVERTEILUNG
VERLUSTE UNTER DEM GLEICHZEITIGEN EINFLUSS MAXWELL-VERTEILTER UND
MONOENEREETISCHER
FELDTEILCHEN
205
210
210
213
216
LITERATURVERZEICHNIS
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