Hochauflösendes RBS zur Untersuchung von Vielfachschichten-Röntgenspiegeln:
Gespeichert in:
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|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1994
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INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
1
2
LONENSTREUUNG
AN
FESTKOERPERN
6
2.1
KINEMATISCHER
FAKTOR
.
6
2.2
STREUQUERSCHNITT
.
8
2.3
BREMSVERMOEGEN
.
9
2.4
FLAECHE
UND
HOEHE
EINES
RBS-SIGNALS
.
11
2.5
ENERGY
STRAGGLING
.
12
2.6
MEHR
UND
VIELFACHSTREUUNG
.
13
2.7
CHANNELING
.
14
2.8
AUSWERTUNG
DER
RBS-SPEKTREN
.
15
3
EXPERIMENTELLER
AUFBAU
18
3.1
350
KEV
LONENBESCHLEUNIGER
.
18
3.2
STRAHLROHR
.
18
3.3
STREUKAMMER
.
20
3.3.1
MANIPULATOR
.
20
3.3.2
PROBENHEIZUNG
.
20
3.3.3
PROBENLADESCHLEUSE
.
21
3.3.4
HALBLEITERDETEKTOR
(HLD)
.
21
3.4
TOROIDALER
ELEKTROSTATISCHER
ANALYSATOR
(ESA)
.
21
3.4.1
AUFBAU
DES
ELEKTROSTATISCHEN
ANALYSATORS
.
21
3.4.2
ORTSEMPFINDLICHER
DETEKTOR
UND
NACHWEISELEKTRONIK
.
26
3.4.3
MESSDATENERFASSUNG
.
26
4
CHARAKTERISIERUNG
DES
ESA
29
4.1
HOCHSPANNUNGSFESTIGKEIT
.
29
4.2
ENERGIEBANDBREITE
DES
LONENSTRAHLS
UND
ENERGIEAUFLOESUNG
DES
ESA
.
30
4.3
PASSENERGIE
IN
ABHAENGIGKEIT
VOM
ELEKTRODENPOTENTIAL
.
31
4.4
PASSENERGIE
IN
ABHAENGIGKEIT
VOM
ANALYSATORWINKEL
.
32
II
INHALTSVERZEICHNIS
4.5
WINKELAUFLOESUNG
DES
ORTSEMPFINDLICHEN
DETEKTORS
.
33
4.6
BEZIEHUNG
ZWISCHEN
STREUWINKEL
UND
KANALNUMMER
DES
MCA
.
34
5
FEHLERBETRACHTUNG
UND
VORUNTERSUCHUNGEN
36
5.1
FEHLERBETRACHTUNG
.
36
5.1.1
APPARATIVER
ANTEIL
DES
FEHLERS
.
36
5.1.2
FEHLER
DURCH
DEN
STREUPROZESS
SELBST
.
38
5.2
VORUNTERSUCHUNGEN
.
39
5.2.1
UNTERSUCHUNG
DER
SCHICHTSYSTEME
AUF
EINKRISTALLINE
EIGENSCHAF
TEN
.
39
5.2.2
LADUNGSZUSTAND
DER
GESTREUTEN
HELIUMTEILCHEN
.
40
5.2.3
STRAHLENSCHAEDIGUNG
.
42
5.3
WAHL
DER
STREUPARAMETER
.
46
5.3.1
WAHL
DES
PROJEKTILS
.
47
5.3.2
WAHL
DER
STREUENERGIE
.
47
5.3.3
WAHL
DER
STREUGEOMETRIE
.
48
6
ERGEBNISSE
UND
DISKUSSION
49
6.1
MO/SI-SCHICHTSYSTEME,
D
~7,5
NM
.
49
6.1.1
MULTISCHICHTEN
DER
HERSTELLUNGSTEMPERATUR
150C
.
49
6.1.2
MULTISCHICHTEN
DER
HERSTELLUNGSTEMPERATUREN
30
C
UND
200
C
.
58
6.1.3
THERMISCHE
STABILITAET
DER
MO/SI-SCHICHTSYSTEME
.
62
6.1.3.1
MULTISCHICHTEN
DER
HERSTELLUNGSTEMPERATUREN
30
C,
150C
UND
200C
.
62
6.1.3.2
MO/SI-ZWEISCHICHTSYSTEME,
TD
CP
=
150C,
D
~
8
NM
.
.
67
6.2
MO
I
SI
V
/SI-SCHICHTSYSTEME,
D
~
7,5
NM
.
76
6.2.1
VERGLEICH
VERSCHIEDENER
MISCHUNGEN
(SI/MO)^,
IM
ABSORBER
76
6.2.2
THERMISCHE
STABILITAET
DER
MO^SIJ/SI-SCHICHTSYSTEME
.
81
6.2.2.1
MULTISCHICHTEN
MIT
GEMISCHTEM
ABSORBER
.
81
6.2.2.2
MOO.SSIO.S/SI-ZWEISCHICHTSYSTEME,
D
~
8
NM
.
85
6.3
MO/SI-MULTISCHICHTEN,
D~2,6
NM
.
93
7
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
98
A
SIMULATION
DER
RBS-SPEKTREN
102
B
BEMERKUNGEN
ZUR
MESSGROESSE
NT
BEI
RBS
106
INHALTSVERZEICHNIS
III
C
ABBILDUNG
DER
IONEN
IM
ESA
108
C.L
LONENTRAJEKTORIEN
IM
ESA
.
108
C.2
EINFLUSS
DER
KORREKTURELEKTRODE
.
108
D
FEHLERBETRACHTUNG
110
D.L
UBER
DEN
STAPEL
GEMITTELTES
SI/MO-VERHAELTNIS
.
110
D.2
ABSOLUTE
MATERIALMENGE
IN
DEN
SCHICHTSYSTEMEN
.
111
D.3
MATERIALMENGENVARIATION
IN
EINZELNEN
SCHICHTEN
12-PERIODIGER
MO/SI
UND
MOJSIJ/SI-MULTISCHICHTEN
.
111
D.4
VERGLEICH
DER
MATERIALMENGEN
VERSCHIEDENER
SCHICHTSYSTEME
.
112
D.5
LAGE
DER MO-NIEDERENERGIEKANTE
BEIM
VERGLEICH
VON
RBS-SPEKTREN
DER
SELBEN
PROBE
.
112
D.6
ERWARTETE
STABILITAET
DER
ENERGETISCHEN
LAGE
DER
MO-HOCHENERGIEKANTE
.
113
D.7
ABSORBERMISCHUNGSVERHAELTNIS
IN
DEN
MO
X
SI
V
/SI-MULTISCHICHTEN
.
114
D.8
ABSORBERMISCHUNGSVERHAELTNIS
IN
DEN
MOO.SSIO.S/SI-ZWEISCHICHTSYSTEMEN
115
LISTE
HAEUTIG
VERWENDETER
SYMBOLE
117
LITERATURVERZEICHNIS
118
DANKSAGUNG
UND
EIDESSTATTLICHE
ERKLAERUNG
129
LEBENSLAUF
131 |
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