Tiefenabhängige Messung von Diffusionslängen mit dem Photostrom-Messverfahren Elymat:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
1995
|
| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Erlanger Berichte Mikroelektronik
1995,1 |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 1995 |
| Beschreibung: | III, 99 S. graph. Darst. |
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INHALTSVERZEICHNIS
1.
EINLEITUNG
.
1
2.
THEORETISCHE
GRUNDLAGEN
.
4
2.1
GENERATION
UND
REKOMBINATION
VON
LADUNGSTRAEGERN
.
4
2.1.1
GENERATION
VON
LADUNGSTRAEGERN
DURCH
LICHT
.
4
2.1.2
REKOMBINATION
VON
LADUNGSTRAEGERN
IM
VOLUMEN
.
6
2.1.3
REKOMBINATION
VON
LADUNGSTRAEGERN
AN
OBERFLAECHEN
.
9
2.2
LADUNGSTRAEGER
IM
ELEKTROLYT,
HALBLEITER
UND
METALL
.
9
2.3
ELEKTROCHEMISCHES
POTENTIAL
IM
ELEKTROLYT
UND
FERMINIVEAU
IM
HALBLEITER
UND
IM
METALL
.
13
2.4
METALL
UND
HALBLEITERELEKTRODEN
.
17
2.4.1
METALL-ELEKTROLYTKONTAKT
.
17
2.4.2
HALBLEITER-ELEKTROLYTKONTAKT
.
18
2.4.3
LADUNGSTRAEGERTRANSPORT
AN
ELEKTRODEN
.
19
2.4.4
RAUMLADUNGSZONENWEITE
UND
SPERRSCHICHTKAPAZITAET
DES
HALBLEITER
ELEKTROLYTKONTAKTES
.
20
3.
BESCHREIBUNG
DES
ELYMAT-MESSVERFAHRENS
.
22
3.1
MESSPRINZIP
.
22
3.2
GLEICHSTROMERSATZSCHALTBILD
.
24
3.3
BESCHREIBUNG
DER
REAKTIONEN
DES
LADUNGSTRAEGERTRANSFERS
.
25
3.4
ERMITTLUNG
DER
PARAMETER
ZUR
REPRODUZIERBAREN
MESSUNG
VON
PHOTOSTROEMEN
.
27
3.5
REDUZIERUNG
DER
OBERFLAECHENREKOMBINATION
DURCH
EINE
ZUSAETZLICHE
VORSPANNUNG
29
4.
MODELLE
ZUR
AUSWERTUNG
VON
MESSUNGEN
NACH
DEM
ELYMAT-VERFAHREN
.
.
38
4.1
EINSCHICHT-MODELL
.
38
4.1.1
BESCHREIBUNG
DES
EINSCHICHT-MODELLS
.
38
4.1.2
VORDERSEITENPHOTOSTROMMESSUNG
.
40
4.1.2.1
ABLEITUNG
DER
PHOTOSTROMDICHTE
.
40
4.1.2.2
ERMITTLUNG
DER
DIFFUSIONSLAENGE
.
43
4.1.3
RUECKSEITENPHOTOSTROMMESSUNG
.
46
4.1.3.1
ABLEITUNG
DER
PHOTOSTROMDICHTE
.
46
4.1.3.2
ERMITTLUNG
DER
DIFFUSIONSLAENGE
.
48
4.1.3.3
BERECHNUNG
DER
OBERFLAECHENREKOMBINATIONSGESCHWINDIGKEIT
.
51
4.2
ZWEISCHICHT-MODELL
.
52
4.2.1
BESCHREIBUNG
DES
ZWEISCHICHT-MODELLS
.
52
4.2.2
VORDERSEITENPHOTOSTROMMESSUNG
.
53
4.2.2.1
ABLEITUNG
DER
PHOTOSTROMDICHTE
.
53
4.2.2.2
ERMITTLUNG
DER
DIFFUSIONSLAENGE
UND
GRENZFLAECHENTIEFE
.
55
4.2.3
RUECKSEITENPHOTOSTROMMESSUNG
.
62
4.2.3.1
ABLEITUNG
DER
PHOTOSTROMDICHTE
.
62
4.2.3.2
ERMITTLUNG
DER
DIFFUSIONSLAENGE
UND
GRENZFLAECHENTIEFE
.
63
5.
VERIFIKATION
DER
MODELLE
DURCH
EXPERIMENTELLE
ERGEBNISSE
.
65
5.1
UNTERSUCHUNG
VON
PROTONENIMPLANTIERTEM
SILICIUM
.
65
5.1.1
HERSTELLUNG
UND
PRAEPARATION
DER
PROBEN
.
65
5.1.2
CHARAKTERISIERUNG
DER
PROBEN
.
66
5.1.2.1
DICKENMESSUNG
.
66
5.1.2.2
KAPAZITAETS-SPANNUNGSMESSUNG
.
66
5.1.2.3
MESSUNG
DES
AUSBREITUNGSWIDERSTANDES
.
70
5.1.3
ELYMAT-PHOTOSTROMMESSUNG
.
71
5.1.4
AUSWERTUNG
DER
ELYMAT-VORDERSEITENSTROMMESSUNG
.
72
5.1.4.1
BESTIMMUNG
DER
RAUMLADUNGSZONENWEITE
UND
DER
DOTIERATOMKONZENTRATION
.
72
5.1.4.2
BESTIMMUNG
DER
DIFFUSIONSLAENGE
UND
DER
GRENZFLAECHENTIEFE
.
76
5.1.4.3
DUNKELSTROMMESSUNG
.
83
5.1.5
AUSWERTUNG
DER
ELYMAT-RUECKSEITENSTROMMESSUNG
.
84
5.1.6
VERGLEICH
DER
MESSERGEBNISSE
.
86
5.1.7
DISKUSSION
DER
DIFFUSIONSLAENGENERGEBNISSE
.
88
N
5.2
BESTIMMUNG
DER
OBERFLAECHENREKOMBINATIONSGESCHWINDIGKEIT
.
89
6.
ZUSAMMENFASSUNG
.
93
7.
LITERATURVERZEICHNIS
.
95
8.
ABKUERZUNGEN
UND
SYMBOLE
.
97
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