Electrons, ions and dust in a radio-frequency discharge:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Stoffels-Adamowicz, Eva (VerfasserIn), Stoffels, Winfred W. (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:Undetermined
Veröffentlicht: 1994
Schlagworte:
Beschreibung:Eindhoven, Techn. Univ., Diss., 1994
Beschreibung:X, 246 S. graph. Darst.
ISBN:9038603541

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