Molekularstrahlepitaxie von Eisensilizidschichten aus gasförmigen Quellen auf Si(100) und Si(111):
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1994
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INHALTSVERZEICHNIS
1
INHALT
1 ZUSAMMENFASSUNG
2 EINLEITUNG
3
DAS BINAERE SYSTEM EISEN/SILIZIUM
3.1 GLEICHGEWICHTSPHASEN UND STRUKTUREN . .
3.2 PSEUDOMORPHE PHASEN.
3.3 HERSTELLUNGSVERFAHREN VON SS-FES\2 . . .
3.4 EPITAXIEBEZIEHUNGEN ZUM SILIZIUMSUKSTRAT
3.4.1 /?-FESI
2AUFSI(LLL).
3.4.2 /?-FESI2 AUF SI(100).
11
11
15
17
20
20
21
4
MESSMETHODEN
4.1 HOCHAUFLOESENDE ELEKTRONENENERGIEVERLUST-SPEKTROSKOPIE (HREELS)
4.1.1 PRINZIP.
4.1.2 KINEMATIK DER ELEKTRONENSTREUUNG.
4.1.3 DIE KLASSISCHE DIELEKTRISCHE THEORIE.
4.1.4 DIE DIELEKTRISCHE FUNKTION.
4.2 PHOTOEMISSIONSSPEKTROSKOPIE (XPS, UPS) .
4.2.1 PRINZIP.
4.2.2 ANWENDUNG.
4.3 BEUGUNG LANGSAMER ELEKTRONEN (LEED) .
4.3.1 PRINZIP.
4.3.2 ANWENDUNG.
4.4 RUTHERFORD RUECKSTREUUNG (RBS).
4.4.1 PRINZIP.
4.4.2 THEORIE.
4.4.3 CHANNELING.
4.5 PHOTOTHERMISCHE DEFLEKTIONSSPEKTROSKOPIE (PDS)
4.5.1 PRINZIP.
4.5.2 THEORIE .
4.6 HALL-MESSUNGEN.
23
. 23
. 23
. 24
. 26
. 29
. 32
. 32
. 36
. 40
. 40
. 41
. 43
. 43
. 43
. 44
. 46
- 46
. 46
. 49
5 EXPERIMENTELLES
5.1 ULTRAHOCHVAKUUM-APPARATUR .
5.1.1 PRAEPARATIONSKAMMER .
51
51
51
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
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2
INHALTSVERZEICHNIS
5.1.2 ANALYSEKAMMER 1.
54
5.1.3 ANALYSEKAMMER 2.57
5.2 SUBSTRATMATERIAL .58
5.2.1 PROBENVORBEREITUNG.58
5.2.2 SCHICHTHERSTELLUNG.59
6 GSMBE MIT SIH
4 UND FE(CO)S 61
6.1 SCHICHTWACHSTUM.61
6.1.1 OBERFLAECHENMORPHOLOGIE.61
6.1.2 SCHICHTMORPHOLOGIE. YY 63
6.1.3 WACHSTUMSRATEN UND KRISTALLQUALITAET.66
6.1.4 DISKUSSION.69
6.2 EPITAXIEBEZIEHUNGEN. 72
6.2.1 EPITAXIE VON /3-FESI2 AUF SI(100).72
6.2.2 EPITAXIE VON SS-FESI2 AUF SI(LLL).76
6.3 GRENZFLAECHENBEREICH. 78
6.3.1 IN-SITU CHARAKTERISIERUNG.78
6.3.2 EX-SITU CHARAKTERISIERUNG.82
6.3.3 DISKUSSION.83
6.4 OBERFLAECHENBEREICH.86
6.4.1 WASSERSTOFF-ADSORPTION.88
6.4.2 DISKUSSION.90
6.5 OPTISCHE CHARAKTERISIERUNG.92
6.5.1 ABSORPTIONSMESSUNGEN.92
6.5.2 DISKUSSION.94
6.6 ELEKTRISCHE CHARAKTERISIERUNG.96
6.6.1 HALL-MESSUNGEN.96
6.6.2 DISKUSSION.98
6.7 SELEKTIVES WACHSTUM.100
7 GSMBE MIT SI
2H6 UND FE(CO)5 103
7.1 SCHICHTWACHSTUM.103
7.1.1 OBERFLAECHENMORPHOLOGIE.103
7.1.2 SCHICHTMORPHOLOGIE.105
7.1.3 WACHSTUMSRATEN UND KRISTALLQUALITAET.108
7.1.4 DISKUSSION.HO
7.2 ZWEI-SCHRITT-HERSTELLUNG.112
7.2.1 ABSCHEIDUNG BEI NIEDRIGEN TEMPERATUREN UND TEMPERN . . . .112
7.2.2 ABSCHEIDUNG AUF EINER SS-FESI2-TEMPLATESCHICHT .114
LITERATURVERZEICHNIS
219
DANKSAGUNG
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